Генератор потока отрицательных ионов водорода
Генератор потока отрицательных ионов водорода, содержащий резонатор с системой патрубков для ввода молекулярного газа, магнитную систему с постоянным магнитом и электромагнитными катушками запуска, электронный эмиттер, расположенный на выходе из резонатора, и систему извлечения ионов, выполненную в виде двух металлических сеток, отличающийся тем, что, с целью увеличения интенсивности потока отрицательных ионов водорода, в резонаторе размещена кварцевая камера, соединенная с вводом молекулярного газа, электронный эмиттер расположен в металлическом цилиндре, торцевая поверхность которого закрыта металлической сеткой, подключенной к отрицательному полюсу дополнительного источника питания, при этом вторая сетка системы извлечения ионов заземлена и расположена за электронным эмиттером вдоль потока ионов.
Похожие патенты:
Высокочастотный источник ионов // 1570549
Изобретение относится к области получения пучков ионов и может быть использовано для обработки материалов в вакууме при производстве изделий микроэлектроники
Ускоритель плазмы // 1210604
Изобретение относится к плазменным ускорителям и может быть использовано при разработке устройств для получения плазменных потоков в различных областях техники
Высокочастотный источник ионов // 1138853
Источник многозарядных ионов // 1136669
Камера нейтрализации мощных пучков ионов // 219705
Высокочастотный ионный источник // 161817
Патент 160550 // 160550
Газоразрядное устройство // 2121729
Изобретение относится к плазменной технике и может использоваться для генерации потоков заряженных частиц, например ионов, в технологических целях и в космических двигательных установках
Пучково-плазменный свч-комплекс // 2285975
Изобретение относится к электронно-лучевым и пучково-плазменным приборам СВЧ и предназначено для использования в качестве усилителя или генератора мощного излучения в аппаратуре научного и прикладного назначения
Пучково-плазменный свч-прибор (варианты) // 2330347
Изобретение относится к электронике, в частности к электронно-лучевым СВЧ-приборам, предназначенным для усиления или генерации мощного излучения, и может быть использовано в аппаратуре научного и прикладного назначения
Магнитоуправляемый детектор свч излучения // 2347296
Изобретение относится к технике СВЧ и может использоваться при создании радиоаппаратуры для связи, радиолокации, в измерительной технике, в научном приборостроении
Изобретение относится к области плазменной обработки при изготовлении полупроводников
Изобретение относится к области создания пучков многозарядных ионов (МЗИ) путем их экстракции из плотной плазмы, создаваемой в открытой магнитной ловушке мощным излучением миллиметрового диапазона длин волн, которые необходимы для формирования сильноточных пучков многозарядных ионов, востребованных в ряде приложений (ускорительной технике, медицине, ионной имплантации, фундаментальных исследованиях и пр.)
Плазменный генератор и способ управления им // 2525442
Изобретение относится к плазменной технике, в частности к плазменным генераторам. Технический результат - сокращение потерь мощности, вызванных рекомбинацией ионов/электронов на стенках.
В заявке описан плазменный генератор, имеющий корпус, который охватывает ионизационную камеру с по меньшей мере одним имеющимся у нее выходным отверстием, по меньшей мере один входящий в ионизационную камеру подвод для подачи рабочего газа и по меньшей мере одну электрическую катушечную систему, охватывающую по меньшей мере часть ионизационной камеры и электрически соединенную с источником переменного тока высокой частоты, от которого к по меньшей мере одной катушке катушечной системы подводится переменный электрический ток высокой частоты, при этом предусмотрен еще один источник тока, от которого к по меньшей мере одной катушке катушечной системы подводится постоянный ток или переменный ток меньшей частоты, чем у переменного тока высокой частоты от его источника. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 11 ил.
Изобретение относится к области плазменной техники, в частности к плазменным источникам для генерирования пучка заряженных частиц. Источник содержит: плазменную камеру, оборудованную впускным патрубком для впуска газа и отверстием для вывода заряженных частиц из плазменной камеры; радиочастотный модуль генерирования плазмы для генерирования плазмы внутри плазменной камеры, причем радиочастотный модуль генерирования плазмы содержит первый и второй резонансные контуры, каждый из которых настроен на, по существу, одну и ту же резонансную частоту, причем первый резонансный контур содержит первую антенну и первый, радиочастотный, источник питания, выполненный с возможностью приведения первого резонансного контура в действие на частоте, по существу, равной его резонансной частоте, а второй резонансный контур содержит вторую антенну, причем в рабочем режиме первый резонансный контур индуцирует во второй антенне радиочастотный сигнал благодаря наличию между ними резонансной связи, причем второй резонансный контур выполнен с возможностью подачи индуцированного радиочастотного сигнала в плазменную камеру для генерирования в ней плазмы; и модуль ускорения частиц для вывода заряженных частиц из плазмы и ускорения заряженных частиц для формирования пучка, причем модуль ускорения частиц содержит второй источник питания, выполненный с возможностью создания разности потенциалов между плазменной камерой и ускоряющим электродом, причем область, расположенная между плазменной камерой и ускоряющим электродом, образует ускорительную колонну. Второй источник питания выполнен с возможностью вывода напряжения, высокого по сравнению с выходным сигналом первого, радиочастотного, источника питания. 5 н. и 67 з.п. ф-лы, 3 ил.
