Устройство для поверки толщиномеров покрытий

 

Изобретение относится к измерительной технике и может найти применение при поверке и градуировке любых типов толщиномеров . Целью изобретения является повышен . 16 точности за счет исключения влияния разницы твердости .материалов покрытий и оснований образцовых мер на результаты поверки. К стойке 1 прикреплена с возможностью вертикального перемещения гильза 7. Гильза 7 имеет прозрачное дно 8. В гильзе размещена подвижная вдоль оси подпружиненная оправка 10. На верхнем торце оправки 10 закреплена упругая с выпуклой зеркальной поверхностью плита 10. Плита 12 взаимодействует с дном 8. Датчик 14 поверяемого толщиномера 15 расположен в нижнем конце оправки 10, а образцовая мера 4 размещена на основании 3. При взаимодействии датчика 14 с образцовой мерой 4 на прозрачном дне 8 появляется интерференционная картина. При таком выполнении исключено влияние твердости материалов образцовых мер на точность поверки. 1 ил. (Л С

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5l)5 6 01 В 7/06

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4832923/28 (22) 18.06.90 (46) 15,06,92. Бюл. М 22 (71) Таллиннский технический университет (72) P.À,Ëààíåoòñ (53) 531.717(088.8) (56) Лаанеотс P.À. Методы и средства для поверки толщиномеров покрытий, Таллинн.

Валгус, 1989, с. 160.

Авторское свидетельство СССР

N 1147926, кл. G 01 В 7/06. 1985. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОВЕРКИ ТОЛЩИНОМЕРОВ ПОКРЫТИЙ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может найти применение при поверке и градуировке любых типов толщиномеров. Целью изобретения является повышен;1е точности за счет исключения

Изобретение относится к измерительной технике и может найти применение при поверке и градуировке любых типов толщиномеров для неразрушающего измерения толщин покрытий в любой отрасли машиностроения и приборостроения.

Известны устройства для поверки толщиномеров покрытий, на которых поверка толщиномеров покрытий ведется путем непосредственного измерения толщины покрытия образцовой меры, помещаемой под измерительный датчик толщиномера, помещенный в стойке. О погрешности судят по разности между показанием толщиномера покрытий и значением толщины покрытия образцовой меры. которое принимается за действительное значение измеряемой толщины покрытий, При поверке толщиномера в нулевой точке датчик устанавливается за непокрытый участок образцовой меры. а

„„SUÄÄ 1740985 А1 влияния разницы твердости, материалов покрытий и оснований образцовых мер на результаты поверки. К стойке 1 прикреплена с возможностью вертикального перемещения гильза 7. Гильза- 7 имеет прозрачное дно 8. В гильзе размещена подвижная вдоль оси подпру>киненная оправка 10. На верхнем торце оправки 10 закреплена упругая с выпуклой зеркальной поверхностью плита

10. Плита 12 взаимодействует с дном 8. Датчик 14 поверяемого толщиномера 15 расположен в нижнем конце оправки 10, а образцовая мера 4 размещена на основании 3. При взаимодействии датчика 14 с образцовой мерой 4 на прозрачном дне 8 появляется интерференционная картина.

При таком выполнении исключено влияние твердости материалов образцовых мер на точность поверки. 1 ил. при поверке в следующей точке шкалы датчик устанавливается на,покрытие следующей образцовой меры с другим значением толщины покрытия, Однако поверка толщиномеров покрытий на известных устройствах производится контактным способом.. В результате этого имеет место неизбежное давление датчика поверяемого толщиномера на верхнюю поверхность покрытия и основания образцовой меры, вследствие чего происходит деформирование этих поверхностей. По причине разной твердости материала покрытия и основания образцовой меры контактная деформация покрытия датчиком поверяемого толщиномера не равна деформации рабочей поверхности основания от этого же датчика. Поэтому в результат поверки всегда вводится погрешность из-за разницы твердости материалов основания и

1740985 покрытия образцовой меры и из-за непостоянства измерительного усилия при проверке толщиномеров покрытий, Наиболее близкий к предлагаемому является устройство для поверки толщиноме- 5 ров покрытий, содержащее стойку, датчик поверяемого толщиномера, закрепленный в кронштейне стойки, и образцовую меру толщины покрытия.

Однако и это известное устройство не 10 свободно от- погрешности поверки из-за твердости материалов покрытия и основания применяемой при проверке образцовой меры.

Цель изобретения — повышение точно- 15 сти за счет исключения влияния разницы твердости материалов покрытий и оснований образцовых мер на результаты поверки.

Цель изобретения достигается тем, что 20 устройство для поверки толщиномеров покрытий, содержащее основание, закрепленную на основании стойку, установленный на стойке с возможностью перемещения вдоль нее кронштейна с держателем на свобод- 25 ном конце, и размещенную на основании образцовую меру, снабжено гильзой с прозрачным дном, закрепленной в держателе, оправкой для закрепления в ней датчика поверяемого толщиномера, подпружинен- 30 ной вдоль оси гильзы, и закрепленной на торце оправки, размещенной в гильзе, упругой выпуклой плитой с выпуклой зеркальной поверхностью, взаимодействующей с дном гильзы, 35

На чертеже представлена принципиальная схема устройства для поверки толщиномеров покрытий, Устройство для поверки толщиномеров 40 покрытий содержит стойку 1, снабженную кронштейном 2 и основанием 3, На основании 3 устанавливается образцовая мера 4, состоящая из основания 5 и покрытия 6. В кронштейне 2 размещена гильза 7 с про- 45 зрачным дном 8, например с плоской стеклянной пластиной типа ПИ60 или с плоскопараллельной стеклянной пластиной типа ПМ вЂ” 12: Гильза 7 имеет направляющие

9, в которых с возможностью перемещения 50 установлена оправка 10. На одном конце оправки 10 имеет гнездо 11 со своей выпуклой зеркальной поверхностью с прозрачным дном 8. Для поддержания плиты 12 в контакте с прозрачным дном 8 гильзы 7 on- 55 равкэ 10 установлена с возможностью перемещения по оси гильзы 7 с помощью пружины 13. Другой конец оправки 10 выполнен с отверстием для посадки в нем датчика 14 поверяемого толщиномера 15, Поверка толщиномеров покрытий с помощью устройства осуществляется следующим образом.

На основании 3 стойки 1 устанавливают образцовую меру 4, состоящую из основания 5 и аттестованной по толщине покрытия

6. Датчик 14 поверяемого толщиномера 15 закрепляют в посадочном отверстии оправки 10. Далее датчик 14 поверяемого толщиномера 15 приводят в соприкосновение с поверхностью основания 5 образцовой меры 4 и в атом случае на табло тол щиномера

15 должно быть показание нуль, Датчик 14 приводится в контакт с поверхностью основания 5 с определенным измерительным усилием, создаваемым с помощью перемещения кронштейна 2 вниз и совместного действия на оправку 10 пружины 13, Наконечник датчика 14 из-за измерительного усилия вдавливается в поверхность основания 5 образцовой меры 4. Глубина вдавливания соответствует в данном случае смещению оправки 10 вниз по отношению дна 8 гильзы 7. Положение оправки 10 относительно неподвижного прозрачного дна 8 при поверке толщиномера в нулевой точке зафиксируется интерференционной картиной, наблюдаемой в воздушном клине между поверхностями прозрачного дна S гильзы

7 и выпуклой плиты 12, Далее датчик 14 совместно с оправкой 10 поднимается вверх из-за поднятия гильзы 7 совместно с кронштейном 2. На основании 3 стойки 1 под датчик помещается поверхность покрытия 6 образцовой меры 4 и. регулировкой кронштейна 2 вниз датчик 14 опять вводят в контакт, в данном случае с покрытием 6 образцовой меры 4, Опусканием гильзы 7 еще вниз датчик 14 совместно с оправкой 10 перемещается в направляющие 9 гильзы 7 и регулировкой смещения гильзы 7 добивается получение в воздушном зазоре между прозрачным дном 8 и плитой 12 такой же интерференционной картины, котррая была характерна при поверке толщиномера 15 в нулевой точке. Это значит, что в данном случае наконечник датчика 14 вдавливается в материал покрытия 6 на такую же величину, что и в материал основания 5 образцовой меры 4. Сравнивают показание поверяемого толщиномера с действительным значением толщины покрытия образцовой меры.

Далее берут для поверки другую образцовую меру и повторяют вышеуказанные операции и так по всем образцовым мерам толщины покрытий, предназначенных для поверки толщиномера, Таким образом производят поверку во всех поверяемых точках шкалы толщиномера и по наибольшей разнице показаний толщиномера и действи1740985

45

Составитель Р,Лаанеотс

Техред М,Моргентал Корректор М.Демчик

Редактор А,Долинич

Заказ 2078 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета no изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35. Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина. 101 тельных значений толщины образцовых мер судят о погрешности поверяемого толщиномера и о пригодности его к применению, С помощью изменения воздушного зазора между прозрачным дном 8 гильзы. 7 и упругой плитой 12 можно измерять глубину вдавливания наконечника датчика толщиномера из-за измерительного усилия в материал образцовой меры в пределах до 2 мкм с высокой точностью. Поэтому при поверке во всех точках шкалы толщиномера можно выдерживать постоянную глубину вдавливания наконечника датчика в материал образцовых мер толщины покрытий и тем самым можно исключить из результатов поверки погрешность из-за разницы твердости материалов основания и покрытия образцовых мер толщины покрытий.

Формула изобретения

Устройство для поверки толщиномеров покрытий, содержащее основание, закрепленную на основании стойку, 5 установленный на стойке с возможностью перемещения вдоль нее кронштейн с держателем на свободном конце, и размещенную на основании образцовую меру, о т л и:ч а ю щ е е с я тем, что, с целью noBbllUBHNsl

10 точности, оно снабжено гильзой с прозрачным дном, закрепленной в держателе, оправкой для закрепления в ней датчика поверяемого толщиномера, .подпружиненной вдоль оси гильзы и закрепленной на

15 торце оправки, размещенной в гильзе, упругой выпуклой плитой с выпуклой зеркальной поверхностью, взаимодействующей с дном гильзы.

Устройство для поверки толщиномеров покрытий Устройство для поверки толщиномеров покрытий Устройство для поверки толщиномеров покрытий 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к способам измерения и контроля толщины пленочных покрытий бесконтактными, в частности термометрическими методами

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения и контроля толщины ферромагнитных лент и листов

Изобретение относится к средствам неразрушающего контроля и может быть использовано для измерения толщины защитных покрытий различных изделий, выполненных из ферромагнитных материалов

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения линейных размеров изделий и малых изменений этих размеров

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины тонких диэлектрических пленок

Изобретение относится к способам переработки пластмасс и может быть использовано при производстве рукавных пленок методом зкструзии

Изобретение относится к измерительной технике и может найти широкое применение в системах неразрушающего контроля и измерений толщины пленочных покрытий

Изобретение относится к области измерительной техники, в частности к области измерения геометрических размеров плоских изделий, и может быть использовано при измерении толщины плоских изделий из диэлектриков, полупроводников и металлов, в том числе полупроводниковых пластин, пластических пленок, листов и пластин

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля толщины металлических покрытий в процессе их образования, например, на металлических деталях, в частности, при нанесении покрытий из паровой фазы пиролитическим способом

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения деформирующей способности технологических остаточных напряжений в поверхностном слое изделий из металлов и сплавов с различными электромагнитными свойствами

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля качества и геометрических размеров изделий и может быть использовано для измерения толщины проводящих покрытий
Изобретение относится к электронной технике и электротехнике и может быть использовано, в частности, в качестве датчиков магнитного поля или тензодатчиков

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины различных покрытий на цилиндрических металлических основах

Изобретение относится к измерительной технике, а более конкретно к методам и техническим средствам для контроля толщины твердых и полутвердых защитных покрытий, изоляционных слоев, жировых отложений, смазочных и лакокрасочных пленок на электропроводящей, в частности, металлической основе
Наверх