Чувствительный элемент кондуктометрического газоанализатора

Авторы патента:

G01N27/02 - измерением полного сопротивления материалов

Использование: полупроводниковый газовый анализ. Сущность изобретения: анализ производят с помощью чувствительного элемента, изготовленного в виде тонкой полупроводниковой пленки оксида металла, нанесенной на непроводящую огнеупорную подложку с контактными площадками для измерения электропроводности. Полупроводниковую пленку помещают в атмосферу закиси азота. Для расширения функциональных возможностей сенсора применяют легирование поверхности полупроводниковой пленки серебром или медью, оптимальное количество которого лежит в диапазоне 1013-1014 атм/см2 . Количественный анализ закиси азота в вакууме и газах проводят с учетом предварительной калибровки сенсора .

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (51)5 G 01 N 27/02

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4819044/25 (22) 26.02.90 (46) 15.06.92, Бюл. N. 22 (71) Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л. Я. Карпова (72) Э. Е. Гутман, И. А, Мясников и С. В.

Рябцев (53) 543.25(088.8) (56) Catalysis reviews, 6(1); 133-219, 1972. (54) ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ КОНДУКТОМЕТРИЧЕСКОГО ГАЗОАНАЛИЗАТОРА (57) Использование: полупроводниковый газовый анализ. Сущность изобретения: анализ производят с помощью чувствительного

Изобретение относится к полупроводниковому газовому анализу и может быть использовано для определения концентрации закиси азота в вакууме и атмосфере неизмеряемого компонента (инертные газы, азот и т.д.).

Известен способ определения концентрации закиси азота по изменению электрофизических параметров (например, электропроводности, работы выхода электрона) полупроводникового оксида при повышенных температурах.

Однако устройство, реализующее данный способ, не обеспечивает достаточной чувствительности и, кроме того, требует работы сенсора при высоких температурах.

Цель изобретения вЂ” повышение чувствительности и понижение рабочей температуры за счет поверхностных добавок на полупроводниковую пленку.

Сущность предлагаемого технического решения заключается в регистрации измеэлемента, изготовленного в виде тонкой полупроводниковой пленки оксида металла, нанесенной на непроводящую огнеупорную подложку с контактными площадками для измерения электропроводности, Полупроводниковую пленку помещают в атмосферу закиси азота. Для расширения функциональных возможностей сенсора применяют легирование поверхности полупроводниковой пленки серебром или медью, оптимальное количество которого лежит в диапазоне

10 -10 атм/см . Количественный анализ закиси азота в вакууме и газах проводят с учетом предварительной калибровки сенсора. нения электропроводности полупроводниковой пленки, на поверхность которой наносится Ag или Си путем контролируемого термического испарения в вакууме до уровня 10 вЂ” 10 атм/см, обеспечивающего

13 14 2 наибольшую чувствительность сенсора.

Предлагаемое устройство для анализа концентрации закиси азота обеспечивает высокую чувствительность и понижение рабочей температуры сенсора.

Пример, Определение концентрации закиси азота с помощью чувствительного элемента на окиси цинка.

Полупроводниковую пленку ZnO наносят на огнеупорную изолированную подложку из кварца, снабженную платиновыми контактами для измерения электропроводности. Подготовленную таким образом пленку вакуумируют, прогреваютдо 350 С в течение 6 и легируют до уровня 10 - 10" атм/см, затем в вакуумную камеру напускают закись азота или ее смесь с другим

1741041

Составитель В.Екаев

Техред M.Ìîðãåíòàë Корректор С.Черни

Редактор М.Циткина

Заказ 2081 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 неизмеряемым газом, При температуре

20 С и парциальном давлении 10 Торр электропроводность сенсора составляет десятки процентов от первоначального значения. Для количественного анализа закиси азота предварительно проводят калибровку сигналов сенсора.

Формула изобретения

Чувствительный элемент кондуктометрического газоанализатора, представляющий собой полупроводниковую пленку окиси цинка, нанесенную на огнеупорную изолирующую подложку, о тл и ч а ю щи и с я тем, что, с целью повышения чувствительно5 сти и снижения рабочих температур при определении содержания эакиси азота, на поверхность полупроводниковой пленки нанесено металлическое серебро или медь в количестве 10 -10 атм/см, 10

Кондуктометр // 1741039

Устройство для исследования двухфазных потоков // 1741038

Устройство для измерения электропроводности жидкости // 1736936

Измеритель влажности // 1735753

Устройство для контроля протока жидкости // 1733990

Изобретение относится к аналитическому приборостроению и предназначено для контроля протока жидкости через отдельные секции устройств сложных технологических установок

Способ определения солености морской воды и устройство для его осуществления // 1733989

Устройство экспресс-контроля активности извести // 1728760

Датчик локальной объемной концентрации дисперсной фазы в дисперсионной жидкой среде // 1728759

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может применяться в различных процессах промышленности, где требуется измерение локальной объемной концентрации газовой или твердой среды в двухфазных средах жидкость - газ или жидкость - твердое

Датчик контроля влаги // 1728758

Изобретение относится к средствам контроля влажности и может быть использовано в автоматизированных системах управления технологическими процессами

Способ контроля концентрации электролитов и f-метр- кондуктометр для его реализации // 2102734

Изобретение относится к области физики-химических исследований и может быть использовано в химической и других родственных с ней отраслях промышленности

Устройство для определения электрофизических параметров плодов и овощей // 2103679

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к измерению электрофизических параметров плодов и овощей, и может быть использовано при определении спелости, пригодности к дальнейшему хранению плодов и овощей, содержания в них нитратов и т.д

Способ определения концентрации электролита и устройство для его осуществления // 2105295

Устройство для измерения удельного электрического сопротивления жидких сред // 2105317

Изобретение относится к устройствам для измерения свойств жидкостей, в частности удельного электрического сопротивления

Устройство для измерения электрической проводимости жидких сред // 2105969

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в океанологических исследованиях, для определения содержания растворенных в воде солей и примесей в системах тепловодоснабжения, контроля сточных вод

Конструкция электролитического влагочувствительного элемента для измерения относительной влажности газа и химический состав электролита (варианты) // 2107905

Изобретение относится к области приборостроения, конструированию измерителей влажности газа, первичным преобразователем которых служит электролитический влагочувствительный элемент (ЭВЧЭ), и может найти применение в установках осушения воздуха, в электросвязи для содержания кабелей под избыточным воздушным давлением, а также в технологических процессах, где необходимо поддерживать влажность воздуха на заданном уровне в потоке газа или в замкнутом объеме

Устройство для автоматического определения состава растворов // 2110791

Изобретение относится к автоматическому, неразрушающему и экспрессному контролю состава растворов и может найти применение к области электроаналитической химии топлив, объектов окружающей среды и технологий

Свч-способ определения концентрации электролита и устройство для его реализации // 2115112

Способ определения высшей удельной теплоты сгорания нефтей // 2117280

Устройство диагностики состояния нефтей по их активной электропроводности // 2119156