Состав для очистки поверхности поликристаллического корунда

 

Изобретение относится к средствам для очистки поверхности поликристаллического корунда Цель - повышение качества очист ки и улучшение экологических показателей. Для этого используют состав, содержащий, мас.% оксиэтилированный 10-12 молями окиси этилена нонилфенол 0,12-0,15; алкилсульфонат 0,12-0,15; метасиликат натрия 0,30-0,45; триполифосфат натрия 0,40-0,60; гидроксид аммоний 0,40-0,45 и вода до 100. Применение этого состава обеспечивает полную смачиваемость водой очищенных пластин из поликора и высокую адгезию нанесенных на них контактных слоев. Выход годных подложек, отмытых в данном составе , составляет 100% в сравнении с 80% при использовании известного состава, Биоразлагаемость состава составляет 90% 1 табл. Is

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

1»

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4851538/04 (22) 16.07.90 (46) 15.07.92.Бюл,М 26 (71) Ярославское научно-производственное объединение "Электронприбор" (72) Н.П.Космодемьянская и И.Г.Шурова (53) 661,185(088.8) (56) Обмен опытом в радиопромышленнЬсти. Вып.2,1984, с.1-2,.

Электронная техника. Сер. Электроника, СВЧ, вып. 4 (4-18), 1989. (54) СОСТАВ ДЛЯ ОЧИСТКИ ПОВЕРХНОСТИ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КОРУНДА (57) Изобретение относится к средствам для очистки поверхности поликристаллического

Изобретение относится к средствам для очистки поверхности поликристаллического корунда (поликор) и может быть использовано при производстве гибридных интегральных схем, Технология очистки поликора по сравнению с технологией очистки ситалла, стекла и др. диэлектриков вызывает

° определенные трудности. Это обусловлено тем, что высокоглиноземистый корундовый материал поликор по сравнению с вышеназванными диэлектриками имеет неровную пористую поверхность, прочно удерживающую различные загрязнения.

Известен состав для очистки поликоровых подложек, состоящий из поверхностноактивного вещества (ПАВ) "Прогресс" (смесь алкилсульфата натрия, сульфата натрия, изопропилового спирта и воды), изопропилового спирта и воды.

5Ц, 1747469 А1

IsI1s C 11 0 1/83//С 11 D 1/88„1:72. 1.12, 104

Р "1пЦ корунда, Цель — повышение качества очистки и улучшение экологических показателей.

Для этого используют состав, содержащий, мас.% оксиэтилированный 10-12 молями окиси этилена.нонилфенол 0,12-0,15; алкилсульфанат 0,12-0,15; метасиликат натрия

0,30-0,45; триполифосфат.натрия 0,40-0,60; гидроксид аммоний 0,40-0,45 и вода до 100.

Применение этого состава обеспечивает полную смачиваемость водой очищенных пластин из поликора и высокую адгезию на несенных на них контактных слоев, Выход годных подложек, отмытых в данном составе, составляет 100% в сравнении с 80% при использовании известного состава. Биоразлагаемость состава составляет 90%. 1 табл.

I»

Недостатком известного состава является многостадийность и, следовательно, Ъ длительность процесса. Кроме того, он содержит экологически опасные вещества 4 (изопропиловый спирт), в связи с чем повы- 3ь шаются требования к технике безопасности и усложняется утилизация отработанного ф, раствора (перегонка или сжигание отрабо- О, танных растворов). О

Наиболее близким к предлагаемому является состав для очистки поликоровых подложек, содер>кащий, мас.%; Синтанол

ДС-10 (ПАВ) -0,15; йэтрий виннокислый—

0,3; кислота лимонная — 0.5; деионизованная вода — остальное, Недостатком известного состава является образование допслнительных загрязнений при его употреблении. Так, наличие в составе Синтанола ДС-10 примесей в виде золы и соединений железа ведет к образо1747469

3 4 ванию водонерастворимых окислов железа, 0,13; 0,37; 0,55: 0,42 соответственно. Пригокоторые прочно удерживаются в глубоких TQBJIGHHblA раствор (объем 2 л) заливают в порах поверхности, и в результате к сниже- реакционную камеру установки ПВХО-ГСнию качества очистки. Биологическая раэла- 60-1 и нагревают до температуры 58 С, Усгаемость также невысока (7841%), 5 тановленные в кассету поликоровые

Цель изобретения — повышение качест- подложки погружают в моющий раствор и ва очистки и улучшение экологических пока- отмывают в течение 10 мин с использованием вибрации, и далее проводят операции, Поставленная цель достигается тем, что аналогичные примеру 1, состав для очистки поверхности поликора, 10 Показатели качества очистки приведесодержащий неионогенное поверхностно-ак- ны в таблице. тинное вещество, добавки и воду в качестве Пример 3, В дистиллированной воде неионогенного поверхностно-активного ве- готовят раствор смеси Неонола АФ 9-10, щества содержит оксиэтилированный 10-12 алкилсульфоната натрия, метасиликата намоль окиси этилена нонилфенол, в качестве 15 трия, триполифосфата натрия, гидроокиси добавки состав содержит метасиликат на- аммония с концентрациями (мас,%): 0,15; трия, триполифосфат натрия гидроксид ам- 0,15; 0,45; 0,60; 0,45 соответственно. Пригомония и дополнительно содержит товленный раствор (объем 2 л) заливают в алкилсульфонат натрия, приследующемсо- реакционную камеру установки ПВХО-ГСотношении компонентов, мас,%, 20 60-1 и нагревают до температуры 60 С. УсОксиэтилированный10-12 . тановленные в кассету поликоровые моль окиси этилена подложки погружают в моющий раствор и нонилфенол 0,12-0,15 отмывают в течение 15 мин и далее провоАлкилсульфонат натрия 0,12-0,15 дят операции аналогиччо примеру 1.

Метасиликат натрия 0,30-0,45 25 Показатели качества очистки приведеТриполифосфат натрия 0,40-0„60 ны в таблице.

Гидроксид аммония 0,40-0,45 Проведено еще три идентичных испытаВода Остальное до 100 ния, отличающиеся от предыдущих лишь

В качестве оксиэтилированного моно- тем, что вместо Неонола АФ 9-10 использоалкилфенола состав содержит Неонол АФ- 30 ван Неонол АФ 9-12 (см.таблицу, примеры

9-10 или Неонол АФ 9-12, 4-6), Пример 1, В дистиллированной воде Предлагаемый состав обеспечивает выготовят раствор смеси Неонола АФ-9-10, ал- сокую эффективность процесса очистки и килсульфоната натрия, метасиликата на- улучшает экологические показатели, Он трия, триполифосфата натрия, гидроокиси 35 полностью снимает с поверхности паликора аммония с концентрациями. (мас.%): 0,12; органические, минеральные и механиче0,12; 0,30; 0,40; 0,40 соответственно. Приго- ские загрязнения, не вносит дополнительтовленный раствор (объем 2 л) заливают в ных загрязнений. реакционную камеру установки ПВХО-ГС- Как видно из таблицы, состав обеспечи60-1 и нагревают до температуры 55 С, Ус- 40 вает полную смачиваемость водой очищентановленные в кассету поликоровые ных пластин и высокую адгезию подложки погружают в моющий раствор и нанесенных на них контактных слоев. Биоотмывают в течение 12 мин с использовани- логическая разлагаемость раствора составем вибрации. После обработки подложки ляет 90%. промывают в токе дистиллированной воды 45 Кроме того, состав характеризуется выв течение 1,5 мин; проверяют на качество . сокойустойчивостьюкгидролизу,чтопоэвоочистки поверхности по методу разрыва ляет многократно (5 раэ и более) водной пленки, сушат на центрифуге при использовать его и хранить продолжительскорости вращения ротора 3000 об/мин, и ное время. Выход:годных подложек отмыдалее подложки поступают на вакуумное 50 тых в данном составе, составляет 100%, в напыление, затем проводят проверку на ка- известном составе — 80%, чество сварки и адгезии напыленного кон- Формула изобретения тактного слоя к поликоровой подложке, . Состав для очистки поверхности полиПоказатели качества очистки пластин кристаллического корунда, содержащий неприведены в таблице. 55 ионогенное поверхностно-активное

Пример 2. В дистиллированной воде вещество, воду и добавки,о т л т ч а ю щ и йготовят раствор смеси Неонола АФ 9-10, с я тем, что, с целью повышения качества алкилсульфоната натрия, метасиликата на- очистки и улучшения экологических показатрия, триполифосфата натрия, гидроокиси телей, состав содержит в качестве неионоаммония с концентрациями (мас,%):0,13; генного поверхностно-активного вещества

1747469 моль окиси этилена нонилфенол

Алкилсульфонат натрия

Метасиликат натрия

Триполифосфат натрия

Гидроксид аммония

Вода

Выкод

ГОДНЫХ подложек, Качество очистки

Темпера- Время тура рас- обработтерра, ки, С мин

Количество обработанных пластин

Время Величисмачивае- на на адмости.с Гезии,Н

В тел

Осыль15

100

36

36

36

36

12

15 .12

Известный Состав композиции, мас. }o

36 Нет смач. 1,5

55

Синтанол ДС-1О

Натрий виннокислый

Кислота лимонная

Вода остальное

П р и м е ч а н и е: Величина адтезии считаетса нормальной, еслиуилие отрыва перемычек не менее 2 5 Гс.

Составитель Л.Русанова .

Техред М.Моргентал Корректор 3. Салко

Редактор С.Лисина

Заказ 2472 Тираж, Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101 оксиэтилированный 10-12 моль окиси этилена нонилфенол; в качестве добавки состав содержит метасиликат натрия, триполифосфат натрия, гидроксид аммоний и дополнительно содержит алкилсульфонат натрия 5 и ри следующем соотношении компонентов, мас. :

Оксизтилированный 10-12

2,5 Обрыв по про волоке

6.2 -"7.5 -6.6 -Т,В -"7,9 -0.12-0,15;

0,12-0,15

0,30-0,45

0,40-0,60

0,40-0,45 до 100.