Устройство наклона столика растрового электронного микроскопа

 

Изобретение относится к технике электронной микроскопии, в частности к устройствам для наклона столиков объектов в растровых электронных микроскопах. Целью изобретения является повышение точности позиционирования столика за счет исключения влияния упругих деформаций его составных элементов. Для этого в устройстве наклона привод вращения кронштейна , на котором закреплен столик, образован двумя пластинами из материала с термомеханической памятью, которые симметрично размещены внутри соосных втулок, установленных на концах кронштейна . Одна из пластин имеет в нагретом состоянии скрученную вдоль оси форму, другая - плоскую форму. Внутренние концы пластины размещены в направляющих пазах кронштейна по скользящей посадке, а внешние соединены с термобатареями. При нагреве одной из пластин развиваемое ею усилие фазового перехода скручивает или раскручивает другую холодную пластину только в области пластической деформации. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (si>s Н 01 J 37/20

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4753522/21 (22) 30.10.89 (46) 30,07.92. Бюл. № 28 (71) Сумское производственное объединение "Электрон" (72) С.Д.Прокошкин, Т.В.Морозова, А.И.Феклистов, А.И.Никифоров, Ю.В.Шестаков и В.Г. Веприк (56) Тихонов А.С,и др. Применение эффекта памяти формы в современном машиностроении. M,: Машиностроение, 1981, с. 67.

Авторское свидетельство СССР

¹ 1018175, кл, Н 01 J 37/20, 1983, (54) УСТРОЙСТВО НАКЛОНА СТОЛИКА

РАСТРОВОГО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА (57) Изобретение относится к технике электронной микроскопии, в частности к устройствам для наклона столиков объектов в растровых электронных микроскопах.

Изобретение относится к технике электронной микроскопии, в частности к устройствам для перемещения объектов в растровых электронных микроскопах(РЭМ), и может найти применение в автономно работающих в вакууме устройствах.

Целью изобретения является повышение точности позиционирования столика за счет исключения влияния упругих деформаций в его приводе.

На фиг,1 показан столик РЭМ в исходном, горизонтальном состоянии; на фиг.2-, то же, в наклоненном на 90 положении. .Устройство включает основание пред-

-метного столика, размещаемого в вакуумируемом объеме. ограниченном стенками

„„Я2„„1751827 А1

Целью изобретения является повышение точности позиционирования столика за счет исключения влияния упругих деформаций его составных элементов. Для этого в устройстве наклона привод вращения кронштейна, на котором закреплен столик, образован двумя пластинами из материала с термомеханической памятью, которые симметрично размещены внутри соосных втулок, установленных-на концах кронштейна, Одна из пластин имеет в нагретом состоянии скрученную вдоль оси форму, другая— плоскую форму. Внутренние концы пластины размещены в направляющих пазах кронштейна по скользящей посадке, а внешние соединены с термобатареями, При нагреве одной из пластин развиваемое ею усилие фазового перехода. скручивает или раскручивает другую холодную пластину только в области пластической деформации. 2 ил. корпуса 2 РЭМ. Основание 1 закреплено на кронштейне 3, на концах которого установлены симметрично относительно средней плоскости его поворота две Соосные полые втулки 4 и 5, образующие приводной вал.

Привод вращения образован двумя пластинками 6 и 7 из материала с термомеханической памятью, которые симметрично размещены внутри втулок вдоль их осей, Внутренние концы пластины входят в направляющие пазы 8 кронштейна 3 по скользящей посадке, внешние концы пластин выходят через уплотнитель за пределы корпуса 2 и контактируют с термобатареями 9 и 10, Одна из пластин имеет в нагретом состоянии (" помнит" ) скрученную вдоль

1751827 продольной оси форму, другая — плоскую форму. При этом в каждой из пластин может осуществляться только прямой фазовый переход мартенсит — аустенит.

При реализации изобретения размеры пластин составляли 10х1,5 80 мм, материал — нитинол. Для уплотнения были использованы поворотные трубки, а термобатареи выбраны типа "Селен", Устройство работает следующим образом.

В исходном состоянии, когда столик занимает горизонтальное положение, обе пластины имеют плоскую форму. Для поворота столика прбгревают первую пластину

6, например, прямым пропусканием через нее импульсов электрического тока (50 В, до

100 А). Прогрев осуществляют до температуры достижения ею области фазового перехода и начала процесса скручивания, угол которого регулируют уровнем прогрева. Эта пластина, скручиваясь, развивает достаточное усилие и скручивает вторую холодную пластину 7 в области пластической деформации, Уменьшение длины скручивающихся- riëàñ èí компенсируется йри этом перемещением свободного конца пластин в направляющих пазах 8 кронштейна 3, Для возврата столика в исходные положения охлаждают с помощью термобатареи 9 первую пластину 6 и прогревают аналогичным образом вторую пластину 7. При этом вторая пластина 7 начинает раскручиваться и пластически деформирует первую пластину

6 так, что обе пластины снова принимают плоскую форму, Затем с помощью термобэтареи 10 охлаждают вторую пластину 7, и цикл наклона может быть повторен снова.

При наклоне столика и возврате в исходное положение прогреваемые пластины преодолевают сопротивление только пластической деформации соответствующих

5 противоположных пластин, благодаря чему влияние каких-либо упругих деформаций исключается.

Использование привода с взаимодействующими пластинами из материала с термо10 механической памятью кроме повышения точности позиционирования позволяет упростить конструкцию устройства наклона в целом и повысить надежность его работы, 15 Формула изобретения

Устройство наклона столика растрового электронного микроскопа, содержащее основание, закрепленнде на кронштейне, который жестко соединен с приводным валом, 20 установленным в корпусе и соединенным с приводом вращения, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности позиционирования столика за счет исключения влияния упругих деформаций, приводной

25 вал выполнен в виде двух соосных вращающихся полых втулок, симметрично расположенных относительно средней плоскости поворота кронштейна, а привод вращения образован двумя пластинами из материала

30 с термомеханической памятью. которые симметрично размещены внутри втулок вдоль их осей, при этом одна из пластин имеет в нагретом состоянии скрученную вдоль продольной оси форму, другая — пло35 скую форму, их внутренние концы размещены в направляющих пазах кронштейна по скользящей посадке, а внешние концы соединены с термобатареями.

1751827

10 иг.

Составитель В.Гаврюшин

Редактор М,Бандура Техред М,Моргентал Корректор М.Демчик

Заказ 2696 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101