Установка для очистки изделий

 

Применение. Жидкостная обработка изделий в микроэлектронике на автоматических линиях. Установка для очистки изделий включает камеру 1 с размещенными в ней валиками 2, систему отсоса, автооператор 7, несколько автономных приводов вращения кассеты 24, приводные механизмы которых состоят из аккумулятора энергии, выполненного в виде маховика, или заводной пружины, редуктора, на выходном валу которого крепится кассета с деталями. Привод каретки вертикального перемещения автооператора 7 состоит из электродвигателя и редуктора, который кинематически связан посредством электромагнитной муфты с механизмами вертикального перемещения, а посредством гибкого вала и двух электромагнитных муфт взаимодействует с диском автономного привода кассет. 1 з. п. ф-лы, 4 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)я С 23 G 3/00 ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

"1 у //

1 (21) 4839557/26 (22) .15,06.90 (46) 23.08,92. Бюл. М 31 (71) Львовский научно-исследовательскйй институт материалов (72) И.В. Качор и Л.E. Качор (56) Авторское свидетельство СССР

К. 1359335, кл. С 23 G 3/00, 1986, Авторское свидетельство СССР

М 1097391, кл. С 23 6 3/00, 1981. (54) УСТАНОВКА ДЛЯ ОЧИСТКИ ИЗДЕЛИЙ (57) Г1рименение. Жидкостная обработка изделий в микроэлектронике на автоматических линиях. Установка для очистки изделий включает камеру I с размещенными в ней

„„Я2 „, 1756381 А1 валиками 2, систему отсоса, автооператор 7, несколько автономных приводов вращения кассеты 24, приводные механизмы которых состоят из аккумулятора энергии, выполненного в виде маховика,"или заводной пружины, редуктора, на выходном валу которого крепится кассета с деталями. Привод каретки вертикального перемещения автооператора 7 состоит из электродвигателя и редуктора, который кинематически связан посредством электромагнитной муфты с механизмами вертикального перемещения, а посредством гибкого вала и двух электромагнитных муфт взаимодействует с диском автономного привода кассет. 1 з. и. ф-лы, 4 ил.

1756381

Изобретение относится к устройствам для жидкостной обработки изделий в автоматизированных линиях.

Цель изобретения — повышение произ=:îäèòåë ьности труда. 5

На фиг. 1 показана установка, общий вид.. На фиг, 2 — каретка вертикального перемещения; на фиг. 3 - автономный привод вращения кассеты; на фиг, 4- схема захвата кареткой автономного привода вращения, 10

Установка для очистки иэделий состоит из камеры 1 с системой 2 отсоса, где размещены ванны 3 с упорами 4, исходная позиция 5 загрузки устройства, датчики 6 положения, автооператор 7, состоящий из 15 кареток продольного 8 и вертикального 9 перемещений, которые соответственно перемещаются по направляющим 10 и 11, при этом привод 12 вертикального перемещения связан посредством кинематической 20 передачи 13 с электромагнитными муфтами

14 и 15, которые находятся на валах 16 и 17, где соответственно размещены механизм

18 вертикального перемещения и гибкий вал 19, связанный с муфтой 20, а на кронш- 25 тейне 21 размещены захватывающие оси 22 с KGHBBKGA 23, кроме этого, автономные приводы вращений кассет состоят из корпуса 26 с пазами 27 и упорами 28, с размещенными внутри корпуса валом 29 с 30 подпру>чиненным диском 30 и аккумулятором 31 энергии,.с кинематическим приводом 32, фиксатором 33, выходным валом 34, на котором закрепляются держатель 35 кассет с кассетой 36. 35

Установка работает следующим образом.

На исходную позицию 5 устанавливают, автономный привод 24 вращения, на выходном валу 34 которого предварительно за- 40 крепляют держатель 35 кассет с кассетой

36, и включают с помощью пульта управле. ния цикл обработки, Автооператор 7 перемещается к исходной позиции 5, захватывающие оси проходят внутрь пазов 45

27, а по команде датчика 6 положения продольное перемещение автооператора 7 прекращается, привод 12 посредством электромагнитной муфты 14, вала 16 и механизма 18 вертикального перемещения сооб- 50 щает каретке 9 движение вверх, s это время пазы 27 попадают в канавки 23 и таким образом автономный привод 24 вращения .кассет фиксируется на осях 22 каретки 9.

После окончания движения вверх муфта 14 55 выключается, и начинается продольное перемещение автооператора 7. В это время одновременно включаются муфты 15 и 20, которые передают вращательное движение привода 12 на аккумуляторы 31 энергии за счет того, что при включении электромагнитная муфта 20 притягивает к себе диск 30, выполненный из магнитопроводящего материала, захватывает его, В аккумуляторе энергии накапливается энергия или за счет накопления энергии в маховике, или в заводной пружине. После достижения автооператором 7 необходимой ванны 3 продольное перемещение прекращается, муфты 15 и 20 отключаются, вкл очается . муфта 14 и привод 12 посредством механизма 18 вертикального перемещения сообщает каретке 9 вертикальное перемещение вниз, при этом упоры 28 автономного привода 24 вращения устанавливаются на упоры 4 ванны 3, после чего каретка 9 еще несколько продвигается вниз и пазы 27 выходят из зацепления с канавкой 23. В это время срабатывает фиксатор ЗЗ и для аккумулятора энергии — маховика 31- соединяет вал 29 с кинеематическим приводом 32, а для аккумулятора — заводной пружины — освобождает последнюю, давая возможность передавать вращение на выходной вал 34;

Таким образом, при нахождении кассеты 36 внутри ванны 3 сообщается вращательное движение, что положительно сказывается на качестве обработки подложек, размещенных в кассе ах 36, После окончания обработки в ванне 3 автооператор 7 перемещает автономный привод 24 вращения кассеты в следующую ванну, Весь цикл работы механизма в это время повторяется.

ПослЕ установки автономного привода

24 вращения кассеты на упоры 4 новой ванны автооператор 7 совершает горизонтальное перемещение, оси 22 выходят из плоскости пазов 27, после чего каретка 9 поднимается, а привод 24 остается в ванне.

В это время на исходную позицию 5 устанавливают новый автономный привод 25.

Автоаператор 7 захватывает автономный привод 25 и, повторяя цикл обработки, перемещает его в первую ванну, где привод

25 остается, а автооператор 7 перемещается, захватывает автономный привод 24, перемещает его в последующую ванну и т. д, После окончания обработки автономный привод 24 подается на конечную позицию, где его снимают, потом туда поступает привод 25, его снимают„меняют кассету с обработанными подложками на новую и устанавливают на исходную позицию. Аналогично поступают с автономным. приводом

24. Далее цикл обработки повторяется.

Благодаря такой конструкции установки можно обрабатывать сразу две и больше партий деталей, чем значительно повышается производительность труда.

175б381

Формула изобретения

1, Установка для очистки изделий, содержащая камеру с размещенными в ней технологическими ваннами, выстроенными в линию, систему Отсоса, датчики позиционирования и автооператор с каретками вертикального и горизонтального перемещения, отличающаяся тем, что, с целью повывения производительности труда, она снабжена механизмами автономного вращения кассет, выполненными в виде корпуса с пазами и упорами и размещенных внутри него вала с подпружиненным диском, аккумулятора энергии в виде маховика и привода с фиксатором, электромагнитными муфтами и гибким валом, при этом привод каретки вертикального перемещения автооператора посредством электро5 магнитной муфты связан с механизмом вертикального перемещенйя, а посредством гибкого вала и двух электромагнитных муфт — с диском автономного механизма вращения кассет, t0 2. Установка по и;1, о т л и ч а а щ а яс я тем, что аккумулятор энергии выполнен в виде заводной пружины.

1756381

Составитель И, Качор

Техред М,Моргентал Корректор С. Пекарь

Редактор Н, Рогулич

Заказ 3063 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101