Проекционный объектив с увеличением - 1/5 @

 

Использование: проекционные системы -экспонирования для изготовитения полупроводниковых приОоров. Сущность изобретения: обеъктив содеротт 20 линз, собранных в 15 компонентов, Второй компонент склеен ич двояковыпуклой 4 и двояковогнутой 5 линз. Мениски 7 и 11 айюкальные. Числовая апертура - 0,38, после изображения - 22 мм, рабочая область спектра - 404,66 + 5 нм. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕ ТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (51) 5 G 02 В 25/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К A ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ оскость

7И GBPAIEHMR

AllEP1 YPHAA пияэРвгйя

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ

ПО ИЗО6РЕТЕНИЯЧ И ОТНРЫТИЯМ

ПРИ ГННТ СССР (21) 4828506/10 (22) 10.04.90 (46) 30.08.92. Бнщ. № 32 (71) Конструкторское бюро точного электронного машиностроения (72) И.Ф.Гуревич и Н.П.Сачок (56) Авторское свидетельство СССР № 1659955, кл. С 02 В 13/24, 1989. (54) ПРОЕКЦИОННН11 ОБЬГКТИВ С УВЕЛИЧ) НИЕК -1/5 (1

ЯЛ 1758624 Al

2 (57) Использование: проекционные системы экспонирования для изготовления полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: обеъктпв содержит

20 линз, собранных в 15 компонентов, Второй компонент склеен из двояковыпуклой 4 H двояковогнутой 5 линз.

Иениски 7 и 11 афокальные. Числовая апертура - 0,38, после изображения

22 мм, раб очая область с пектра

404,66 + 5 ни. 1 ил.

1758624

Изо >pe Teltlle относится к оптическим ".цстемям и может найти применение в микроэлектронике в IfpoeKII?foHH? fx системах экспонировя?н?я для изготов— ле Ivan tfoJI IIPoBott.tIIKI1BI lx»Pn6oPoB, Известен проек1д?оцп?1й объектив, предназначенный для аналогичных целей (авт.св,, Р 1303972, кл. кл. 0 02 В 13/24) . Объектив работает с уве>?ичением — 1/5 х, апертурой О, 3, диаметр поля ??зобря>кения 20 мм, Недостатком объектива являются малые апертуры и поле изображений.

Известен также ItpneKIB?o?ftf»ft i объектив (явт св. Р 1195319, кл. Г 02 Н 9/64 . Объектив работает с увеличением -1/5", а?)ертурой 0,25, диаметр цоля изображе?н1я 24 мм. Нед)>статком этого объектива является малая я?1ертуря и отсутс твпе теле цен трпческого хода лучей со стороны плоскости предметов.

Наиболее близким к изобретению является проекционный объектив (авт,св.

N 1659955, кл. G 02 Б 13/24, 1989) с увеличением — 1/5, работающий на длине волны 71 =- 365 Hrt. Объектив имеет апертуру 0,35 и диаметр поля изображенияя 2 1 мм . Объектив со>1ерж?1т восемнадцать линз, собрянпых в четырнадцать компонентов, и диафрагму, расположе??ную за девятым компонентом, причем первый компонент состо?1т пз двух Ifostnmt TeJI t »bfx ме?шсков „обращенных выпуклостями друг к другу,;1 двояковыпуклой линзы между ?н1мп, второй компонент - отрицательный мениск, обращенный выпуклocтью к плоскости предметов, третий KoMffoffåíò —;1вояковогнутая линза, четвертьш компонент

I мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, пятый и щестой компоненты — двояковыпуклые линзы, седьмой компонент — положительный >восьмой ком?)онент — мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, девятый компонент — отрицательный, десятый компонент — отрицательный мениск обращенный вогнутостью к плоскости предметов, одиннадцатый и двенадцатый компоненты — двояковыпуклые линзы, тринадцатый коля)онент — поло>лз?тельный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов и склеЕННЫй ИЗ ДВОЯКОВЬП?УКЛОй И ЦВОЯКОВОГнутой линз, четырнадцатый компонент положительный мениск, обра1«нный выI?vKJtocтью к плоскости предметов, Известный объектив имеет недостав точно в?1сс кие значения числовой япертуры и диаметра поля изображения.

Целью изобретения является увеличение числовой апертуры и диаметра

11ол я и з обряжения .

Цель достигается тем, что в проек????олпом объективе с увеличением

)гХ

1О .-1/э, содержащем восемнадцать линз, собранных в четырнадцать компонентов и диафрагму, расположенную за девятым компонентом, причем первый компонент состоит из двух положительных менисков, обращенных выпуклостями друг к другу, и двояковыпуклой линзы между ними, второй компонент — отрицательный мениск, обра«?еннь1й выпуклостью

K плоскости предметов, третий компо2ц нент — двояковогнутая линза, четвертый компонент — мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета, пятый и 1«естой компоненты — двояковьп)уклые линзы, седьмой компонент

25 поло>а?тепьн?1й, восьмой компонент мениск, обращенный ньп>уклостью к плоскости предметов, девятый компонент отрицательный, десятьш компонент отрицятел1 ньш склеенный мениск, обра30 щепный вогнутостью к плоскости предметов, один?)ядцатьш и двенадцатый ком,»feHты — двояковыпуклые линзы,, тринадцатый KoMI!oíeíò — ?н>ложительньш мениск, обря«1енш)й выпук.?остью к плос35 кости предметов и склеенный из полояительнс и и отрпцате",üffofi линз, чет?1рня>ftjBTfftf компонент -- и; ложитель1«1й мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, за двенадцатым компонентом на удKiieíè?f QT него, равном 0,000? f установлен дополни) тельный поло>?з?тельный мениск, обраf)fe?fHttI выпуклостью к плоскости предметов, второй комцонеHT выпо-.нен скле45 енным из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, четвертый и вос?.мой компоненты вьн?ол пены аАокал?.нь1?1>1, седьмой — в виде двояковьп?уклой линзы, пр?1 этом апертурная диафрагма раеположена на удалении от девятого ком попента, равном 0,0085 f расстояние между первым и вторым коrfttOHeHTB

lf?t paB?fo 0,0934 Г, а тринадцатый

) компонент рясполо>ке?1 на удалении от дополнител? ногс положительного ме55 ) писка, равном 0,033 f,,где f — фо) кусное расстоя п» обеъктивя.

На чертеже изображена 11р?1)пцп>нальная оптическая схема объ .«тпва.

1758624

Объектив содержит двадцать линз, собранных в 11ятнадцать компонентов, и диафрагму, расположенную за девятым компонентом на расстоянии от него, 5 равном 0,0085 фокусного расстояния объектива.

Первый компонент Т состоит из положительного мениска 1, вьнголненного из крона и имеющего соотношение радиусов 2,69:1, двояковыпуклой линзы

2, выполненной из крона с соотношением радиусов 1: 2,16, положительного мениска 3, выполненного из крона и имеющего соотношение радиусов 1:9,64, причем положительные мениски обращены выпуклостями друг к другу.

Второй ком11онент II — отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к 11лоскости предметов и склеенный 20 из двояковыпуклой 4 и двояковогнутой

5 линз, выполненных из тяжелого крона и тяжелого флинта соответственно, разность показателей преломления линз, входящих в кош1онент, состав- 25 ляет 0,0032, разность коэффициентов дисперсий 16, 7, а соотно1пе1п1е наружных радиусов 5,82: 1., Третий компонент III — двояковогнутая линза 6, вгн1олненная из тяжелого крона с соотношением радиусов

1:3, 11 7.

Четвертый компонент IV — телескопический мениск 7, обращенный вогнутостью к плоскости 11редмета, выполнен

35 из крона с соотношением радиусов

1: 1,08.

Пятый ком11онент V — двояковьп1уклая линза 8, выполненная из крона с соотношением ра,гнусов 13,68: 1, расположен- 4О ная за четвертым компонентом на расстоянии от него, равном 0,035 фокусного расстояния объектива

Шестой ком11онент VI — двояковьп1уклая линза 9, вгпголненная из крона с

45 соотношением радиусов !: 1,47.

Седьмой компонент VII — двояковыпуклая линза 10, вьп1олненная из крона с соотношением радиусов 1:20,94.

Восьмой компонент VIII — телеско50 нический мениск 11, обращенный вьп1уклостью к плоскости 11редметов, выполнен из баритового флинта с соотношением радиус ов 1: 1,36.

Девятый компонент 1Х вЂ” двояковогну-55 тая линза 12, выполненная из флинта с соотношением радиусов 63,09:1.

Десятый компонент Х вЂ” отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плосt

ЛИНЗ, ВЫПОЛНЕ 1НЫХ ИЗ ЛЕГКОГО фл11НЗ-а и крона соответственно, разность псказателей преломления линз, входящ11х в компонент, ссставляет 0,07. Разнесть коэффицггентов дисперсии 24, 2. а соотношение наружных радиусов

1: 1,44.

Одиннадцатый компонент XI — двояковыпуклая линза 15, выполненная из фтористого крона с соотношением радиусов 2,57:1.

Двенадцатый компонент XII — двояковьп1уклая линза 16, выполненная из фтористого крона с соотношением радиусов 1:4,6".°.

Тринадцатый компонент XIII — поло1 ительнгп1 мениск 17, обращенный выпуклостью к плоскости предметов и выttoJIktp.íHûé из с1тористого крона с соотг1он1ением радиусов 1:7,36.

Четырнадцатый компонент XIV — положггтельный мениск, обращенньпл выпуклостью к плоскости предметов и склеенный из двояковьп1укпой 18 и двояковогнутой 19 линз, выполненнь1х из фтористого крона и тяжелогс флинта с разностью показателей преломления О, 15О и разностью коэффициентов дисг ерсий

35,3, при соотношении наружных рад11усов 1,15:1 и расположенных от тринадцатого компонента на расстоянии, равном 0,033 д1окусного расстояния объектива.

Пятнадцатый компонент Х7 — положительный мениск 20, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, выполнен из фтористого крона с соотношением радиусов 1:2,06.

Объектив имеет высокую степень коррекции аберрагпш для области с11ектра

404,66 + 5 нм. Увеличение объектива

-1/5". Апертура — 0,38, ггс лс изс бражения — 22 ktk1. Объектив способе« работать с апертурой 0,4 на ноле изображения 20 мм, также обеспечивая высокую степень коррекции аберраций для области спектра 404,66 + 5 нм.

Продольная сферическая аберрация не более 0,003, астигматическая разность — не более 0,0021 мм, дисторспя — не более 0,001К, хроматизм увеличения - не более 0,00013 мм, аберрация широких меридио«альных 11у"tt;()B не более 0,002 мм, срсднекг ;:,äðàòè÷åñкая деформация волнового фрс нта с у 1етом хроматизма для всех тс 1ек 11сля и<превышает 0,037 рабочей ггз11ны волны.

1758624

<Ьормула из обретения

Составитель H.ьачо i

Техред И.Иоргентал Корректор А.Ворович

Редактор Т.Лолкарева

Закал 3000 Тиран Подписное

В}1ИИПИ Г» удар< твенного комитета по изобретениям и открытиям при ГК11Т СССР

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Праизвслсл 1и ннс-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101

11рс екционный объектив с увеличением -1/5, содержащш восемнадцать линз, собранных в четырнадцать компонентов, и диафрагму, расположенную за девятым компонентом, причем первьш компонент состоит из двух положитель-! ных менисков, обращенных выпуклостя- 1ð мп друг к другу, и двояковыпуклой линзы между ними, второй компонент — отрицательный мениск, обраценньш вьп уклостью к плоскости предметов, третий компонент — двояковогнутая линза, четвертый компонент — мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, пятый и ыестой компоненты — двояковыпуклые линзы, седьмои компонент - положительный, восьмой компонент— мениск, обращенный выпукпостью к плоскости предметов, девятый компонент — отрицательный, десятый компонент — отрицательный склеенный мениск, обращенный вогпутостью к плос- 25 .кости предметов, одиннадцатый и двенадцатый компоненты — двояковыпуклые линзы, тринадцатый компонент — положительньп1 мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов и склеенный из положительной и отрицательной линз, четырнадцатый компонент— положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, о тл и ч а ю шийся тем, что, с целью увеличения числовой апертуры и диаметра поля изображения, за двенадцатым компонентом на удалении от него, равном 0,0002 f, установлен дополнительный положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, второй компонент выполнен. склеенным из двояковыпуклой и двояковогнутой линз, четвертый и восьмой компоненты выполнены абокальными, седьмойр — в виде двояковыпуклой линзы, при этом апертурная диафрагма расположена на удалении от девятого компонента, равном 0,0085 f, расстояние между первым и вторым компонентами равно 0,0934 f, а тринадцатый компонент расположен на удалении от дополнительного положительного мениска, равном 0,033 f, где Š— hoкусное расстояние объектива.