Способ контроля герметичности электровакуумных приборов

Авторы патента:

G01M3/40 - с помощью электрических устройств, например путем наблюдения электрических разрядов

Использование: контроль герметичности электровакуумных приборов. Сущность: измеряют катодный ток до прогрева электровакуумного прибора. Прогревают электровакуумный прибор и повторно измеряют катодный ток после прогрева. Сопоставляют величины токоотбора в диодном режиме при номинальном напряжении накала до и после прогрева. Прогрев проводят в атмосфере водорода при температуре от 100 до 150°С в течение не менее 2 ч, Повторное измерение катодного тока осуществляют через интервал времени не более 1 ч после окончания прогрева. При изменении катодного тока более чем на ±20% делают вывод о негерметичности оболочки прибора. сл

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)з G 01 М 3/40

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ,,„.„, @ещ, «И/)«® р

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

0,9 вЂ” (2 11, (21) 4914943/28 (22) 31.01.91 (46) 30.11.92. Бюл. 1ч 44 (71) Специальное конструкторское бюро при

Полтавском заводе "Знамя" (72) В,Я.Чабань и А,П.Марыненко (56) Шелканов Г,П. и др. Способы обнаружения медленных натеканий с применением избыточного давления, Электронная техника, сер. Электроника СВЧ, 1968, М 3, с. 157-160.

Авторское свидетельство СССР

М 1396849, кл. Н 01 J 9/42, 1985 r. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЕТИЧНОСТИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ

Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству электровакуумных приборов (ЭВП), Наиболее распространенный метод контроля герметичности с помощью гелиевого течеискателя обладает ограниченной чувствительностью и может использоваться лишь до откачки ЭВМ, Известен способ обнаружения медленных натеканий откачанных ЭВП с применением избыточного давления.

Недостатком такого способа .является его применение только для контроля приборов, имеющих встроенный электроразрядный насос, что существенно ограничивает область его использования.

Наиболее близким техническим решением, выбранным в качестве прототипа, яв. Ж 1778598 А1 (57) Использование: контроль герметичности электровакуумных приборов. Сущность: измеряют кэтодный ток до прогрева электровакуумного прибора, Прогревают электровакуумный прибор и повторно измеряют кэтодный Tok после прогрева. Сопоставляют величины токоотбора в диодном режиме при номинальном напряжении накала до и после прогрева. Прогрев проводят в атмосфере водорода при температуре от 100 до 150 С в течение не менее 2 ч, Повторное измерение катодного тока осуществляют через интервал времени не более 1 ч после окончания прогрева. При изменении катодного тока более чем на +20g, делают вывод о негерметичности оболочки прибора. ляется способ контроля герметичности

ЭВП, включающий два последовательных замера катодного тока, при номинальном напряжении накала и климатическое воздействие между этими двумя замерами, причем к годным относят приборы, у ко торых катодный ток при повторном измереник удовлетворяет выражению где 11 вЂ” катодный ток при первом измере° нии;

12 вЂ” катодный ток при втором измерении.

Недостатками способа я вл я ются: недостаточная чувствительность, связанная с низкой проникающей способностью че1778598 рез стенки оболочки ЭВП основных компонентов атмосферного воздуха (азот, кислород) при климатических испытаниях; высокая стоимость и продолжительность испытв lNA (более 48 ч); разрушающий хара -ep контроля иэ-за коррозии материалов при длительном климатическом воздействии, Цель изобретения состоит в создании высокочувствительного, эффективного -и оперативногQ метода выявления откачанных ЭВП, имщощих малые течи через вакуумную оболочку, находящиеся ниже порога чувствительнос1-и известных средств и методов течеискания, а также в определении потенциально ненадежных приборов, имеющих закупоренные течи, Пес-гаг;,;:,-,!!нал цель достигается тем, !To по пр,:.длагаемому способу контроля гермети ности =.,ÁÏ сначала иэмерягот катодный ток г ри номинальном напря>кении накала в диодном ре>киме, а затем осуществляют прогрев последнего в атмосфере во-. дорода при температуре от 100до 150 С в течение но моне1=. 2 ч, затем повторно измеряют католнML ток через интервал времени не более 1 ч после окончания прогрева, а о негерметичности оболочки прибора делают вывод при изменении катодного тока более чем на >-20у, Изменение тока катода имеет место в случае проникновения водорода в рабочий объом прибора через дефекты конструкционных материалов и паяные со. единения. Эффективность предлагаемого способа обусловлена следующими обстоятельствами; водород обладает на несколько порядков большей проникающей способностью через современные конструкционные материалы (металлы, различные типы керамики) по сравнению с другими газами, из-за значительного влияния парциального давления водорода на эмиссионну о активность наиболее распространенных термокатодов (оксидных, металлопористых и т.д.) имеет место резко выраженный характер изменения эмиссии катода как в сторону увеличения, так и в сторону уменьшения в зависимости от ве-личины этого давления и технологических параметров изготовления катода; защит"ная атмосфера водорода при прогреве гарантирует неразрушающее воздействие контроля на конструкцию изделия. Температура прогрева должна превышать

100 С, что обусловлено необходимостью испарения частиц влаги, эакупоривающих дефекты оболочки. Верхний предел температуры прогрева ограничен допустимым температурным диапазоном применяемых конструкционных материалов изделия, Продолжительность прогрева в водо5 роде должна гарантировать индикацию натекания и составлять не менее 2 ч. 3амер катодного тока после прогрева должен производиться с минимальным . интервалом во времени, чтобы избежать

10 поглощение водорода внутриламповыми деталями.

Напряжение анода и величина тока катода при замерах выбираются для каждой конкретной конструкции ЭВП

15 из условия минимального разогрева анода и возможного стравливающего воздействия на катод, выделяющихся газов, что могло бы привести к искажению результатов контроля. Предлагаемьгй

20 способ приводит к достижению поставленной цели, Пример, На катод подавали напряжение накала 6,3 В, на анод вЂ” напряжение

200 В. Выдерживали в течение 1 мин, за25 тем фиксировали величину катодного тока

3 мА, проводили прогрев в водороде при температуре 150 С в течение 2 ч, Прибор вынимали из водородной печи и затем . вновь подавали накал 6,3 В и анодное

30 напряжение 200 В в течение 1 мин. Измеряли катодный ток, который составил 4 . мА, Величина токоотбора изменилась в сторону увеличения на 25 ь. Прибор забракован иэ-за негерметичности оболоч35 ки.

Использование предлагаемого способа неразрушающего контроля герметичности ЭВП позволяет по сравнению с существующими повысить чувствитель40 -ность течеискания и выявлять приборы со скрытым браком по герметичности на конечных технологических стадиях их изготовления, что дает значительный экономический эффект.

Формула изобретения

Способ контроля герметичности электровакуумных приборов путем измерения ка50 тодного тока при номинальном напряжении накала в диодном режиме, прогрева прибора, повторного измерения катодного тока после прогрева и сравнения измеренных значений тока, отл и ч а ю щи и с я тем, 55- что, с целью повышения чувствительности ul . исключения разрушения прибора, прогрев осуществляют в атмосфере водорода при . 100 вЂ” 150 С не менее 2 ч, повторное измерение катОдного тока осуществляют через

1778598 . 6 интервал времени не более 1 ч после окон- лочки прибора делают вывод при изменечания прогрева, а о негерметичности обо-: . нии катодного тока более чем на +U03.

Составитель А, Мартыненко

Редактор Л. Купрякова Техред М.Моргентал Корректор g, Яуллв

Заказ 4186 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва. Ж-35. Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Способ контроля герметичности электровакуумных приборов

Изобретение относится к технике контроля герметичности подземной запорной арматуры и позволяет повысить чувствительность контроля трубопровода под слоем грунта

Способ дистанционного определения мест повреждения магистрального трубопровода и устройство для его осуществления // 1679232

Изобретение относится к контролю герметичности магистральных газопроводов и позволяет повысить точность определения мест утечек

Способ контроля герметичности термосифонов, собранных с полупроводниковыми приборами // 1668887

Изобретение относится к испытанию на герметичность термосифонов или тепловых труб, собранных с полупроводниковыми приборами

Устройство для определения места дефекта на поверхности изделия // 1536231

Способ комплексного контроля резьбы и автомат для его осуществления // 1534353

Изобретение относится к машиностроению, а именно к средствам и методам контроля резьбы

Способ испытания изделий на герметичность // 1420423

Изобретение относится к технике вакуумных испытаний

Устройство для определения места дефекта на поверхности изделия // 1395967

Изобретение относится к области контроля герметичности с помощью электрических устройств и позволяет определять места течей на поверхности изделия

Устройство для контроля герметичности // 1377638

Изобретение относится к испытательной технике, в частности к контролю герметичности при помощи течеискатёля

Течеискатель // 1370471

Изобретение относится к средствам контроля герметичности с использованием газовых сред

Способ испытания изделий на герметичность // 1293515

Изобретение относится к испытаниям изделий на герметичность и позволяет повысить точность испытаний путем микроскопирования поверхности изделия в месте течи

Тепловизорный течеискатель // 2107274

Способ измерения токов в плазме // 1778715

Изобретение относится к области контроля герметичности и может быть использовано для контроля нарушений целостности элементов конструкции реактивного двигателя

Способ контроля целостности элементов изделий // 1790744

Изобретение относится к неразрушающему контролю целостности элементов изделий с рабочей средой и может использоваться для контроля изделий при повышенных рабочих температурах

Электроразрядный способ обнаружения микротечей паров воды // 2494362

Изобретение относится к области испытания устройств на герметичность и позволяет оперативно обнаруживать микротечи в вакуумных камерах электрофизических устройств, использующих в качестве теплоносителя или охладителя воду, и направлено на оперативное бесконтактное обнаружение в них микротечей как в процессе обработки внутренней поверхности камеры вспомогательным разрядом, так и непосредственно в штатном режиме работы установки, что обеспечивается за счет того, что при воздействии на стенку камеры плазмы или потока электронов происходит разложение вытекающих паров воды, образуются электронно-возбужденные молекулы гидроксила OH(A2Σ), спектр излучения которых регистрируется спектральным прибором. Интенсивность излучения пропорциональна скорости натекания, соответственно скорость натекания может быть измерена по величине регистрируемого сигнала. Способ позволяет обнаруживать натекание на уровне 3·10-5 Па·м3с-1. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Устройство контроля герметичности элементов конструкции космического аппарата (ка) // 2540066

Изобретение относится к космической технике, в частности для регистрации микрометеороидов и заряженных частиц ионосферы. Устройство контроля герметичности элементов конструкции космического аппарата содержит приемник ионов, установленный на расстоянии от контролируемой поверхности космического аппарата, спутниковый модем, устройство формирования сигнала, при этом спутниковый модем, устройство формирования сигналов и приемников ионов заключены в одном защитном корпусе, вход приемника ионов соединен с устройством формирования сигнала, выход которого соединен со входом спутникового модема, соединенного с антенной, фокусирующую сетку, прикрепленную к защитному корпусу, устройство ионизации потока газовых частиц, прикрепленное со стороны фокусирующей сетки к защитному корпусу, в защитном корпусе установлен фотоэлектронный умножитель, а на контролируемой поверхности космического аппарата установлен пьезодатчик, соединенный с помощью усилителя с устройством формирования сигнала, при этом на поверхности космического аппарата установлены измерительные антенны не менее трех штук, которые дополнительно снабжены антенными усилителями, соединенными с устройством формирования сигнала. Технический результат - расширение функциональных возможностей устройства. 1 ил.

Устройство для определения целостности герметизации контейнера и способ его применения // 2544263

Изобретение относится к области испытания устройств на герметичность и может быть использовано для испытания на герметичность контейнеров с повторно закрываемыми укупорками, наполненных жидкостью. Сущность: устройство включает в себя держатель (18), предназначенный для установки в него контейнера (16), снабженного герметизатором (22) и содержащего электролитный продукт (17), и приспособление для детектирования. Приспособление для детектирования снабжено первым детектором (20) с концевым участком (28), предназначенным для прокалывания контейнера (16). Кроме того, устройство содержит регулятор (34) давления, источник (39) текучей среды, электролитный бак (32) с погруженным в него вторым детектором (50), а также измеритель (48) проводимости. Погружают первый детектор (20) в электролитный продукт (17), находящийся в контейнере (16). Помещают контейнер (16) с первым детектором (20) внутри в электролитный бак (32), имеющий второй детектор (50). Соединяют первый (20) и второй (50) детекторы с измерителем (48) проводимости и определяют электрическую проводимость между детекторами. Герметизатор (22) не протекает, если ток между детекторами отсутствует. Герметизатор (22) протекает, если ток между детекторами существует. Технический результат: обеспечение быстрых и надежных результатов при проверке герметичности контейнеров за счет снижения нагрузки на оператора управления и возможности количественной оценки давления внутри контейнера. 2 н. и 12 з.п. ф-лы, 2 ил.

Устройство обнаружения утечки воздуха из модуля космической станции // 2549630

Изобретение относится к газоразрядным (плазменным) приборам для проверки изделий, в т.ч. космических аппаратов (КА), на герметичность. Устройство содержит корпус (8) с приемными камерами (9, 10, 11), герметичными заслонками (12, 13) и ионизационным датчиком (ИОД). ИОД включает в себя ионный источник с электронной пушкой (ИЭП) (1), ускоряющую (2) и заземленные (3, 4, 5) сетки, отклоняющие пластины(6) и приемник ионов (ПИО) (7). В области приемных камер установлены микрофонный (14) и термопарный (15) датчики. С ПИО (7) связан усилитель (16), плата управления (17), приемник (18) и антенна (20) GPS, фидерное устройство (19), основная антенна (21), ПЗУ (22). ИЭП (1) создает поток электронов между сетками (2) и (3), где происходит ионизация газа. При отсутствии электрического поля на пластинах (6) ионы регистрируемой компоненты проходят в ПИО (7). Изменение выталкивающего импульса на сетке (2) и поля на пластинах (6) позволяет произвести сепарацию ионов так, чтобы в ПИО (7) попали ионы только одной массы. Поток газа, прошедшего приемную камеру и зону ионизации (2)-(3), действует на датчики (14) и (15), срабатывающие при значительном (из близких мест утечки) истечении газа. Для удаленных мест утечки регистрация осуществляется с помощью ИОД. Переключение датчиков (14), (15) и ИОД происходит автоматически. Сигнал с ПИО (7) через усилитель (16) поступает на плату (17), которая собирает и шифрует данные о месте и характере утечки, передавая их также в ПЗУ (22). Точные координаты и время от GPS поступают от приемника (18) и антенны (20). Через устройство (19) и антенну (21) пилот КА управляет платой (17). Техническим результатом изобретения является повышение точности и достоверности регистрации мест утечки на корпусе КА и возможность передачи информации космонавтам. 1 ил.