Измерительный зонд
Изобретение предназначено для измерения физических и фотоэлектричеких параметров полупроводниковых материалов. Сущность изобретения: в корпусе установлены диэлектрический диск со сквозным аксиальным капилляром, заполненным ртутью и источник оптического излучения, причем диск выполнен из оптически прозрачного материала и расположен над источником излучения. Над диском расположен твердотельный электрический контакт. 1 ил.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК ((9) ((() (я)5 Н 01 L 21/66
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
Я
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ""-". ":: —:.
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Ф
С: (21) 4893633/25 (22) 25.12.90 (46) 23.12.92. Бюл. hb 47 (71) Ленинградское производственное объединение "Электронприбор" (72) Б.С.Брикман (56) Авторское свидетельство СССР
М 974463, кл. Н 01 1 21/66, 1981.
Концевой Ю.А. и др. Методы контроля технологии производства полупроводниковых приборов. M.: Энергия, 1973, с. 45-46.
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в измерительных устройствах для исследования и контроля МДП-структур в процессе обработки полупроводниковых пластин.
Известны конструкции измерительных устройств, позволяющие производить указанные измерения, содержащие контактное устройство и излучатель, например, инфракрасный, импульсы которого воздействуют на исследуемую зону полупроводниковой пластины с нанесенным цинк-галлиевым сплавом, взаимодействующим с контактной иглой. Однако такие измерительные устройства имеют низкую производительность из- мерений вследствие необходимости нанесения на пластину сплава в каждой зоне измерений.
Известны также сканирующие измерительные ртутные зонды, снабженные диэлектрическим диском со сквозным аксиальным капилляром, заполненным ртутью, которая позволяет сформировать на поверхности исследуемой структуры полупроводниковой пластины плоский ртутный контакт с пло(54) ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ ЗОНД (57) Изобретение предназначено для измерения физических и фотоэлектричеких параметров полупроводниковых материалов, Сущность изобретения: в корпусе установлены диэлектрический диск со сквозным аксиальным капилляром, заполненным ртутью и источник оптического излучения, причем диск выполнен из оптически прозрачного материала и расположен над источником излучения. Над диском расположен твердотельный электрический контакт. 1 ил. щадью, близкой к площади сечения капилляра, Недостатком этого устройства является то, что несмотря на высокую производительность измерений, невозможным оказывается исследование параметров, связанных с фотоэлектрическими измерениями.
Цель изобретения — создание высокопроизводительного измерительного зонда для исследования параметров полупроводниковых пластин, в том числе фотоэлектрических.
Q3
Поставленная цель достигается тем,, Q что в отличие от известного измерительного прибора, содержащего контактную иглу, касающуюся наносимого при каждом измерении на пластину цинк-галлиевого сплава, и инфракрасного излучателя, воздействующего на исследуемую зону полупроводниковой пластины, в предлагаемом измерительном зонде используется диэлектрический прозрачный диск с капилляром для подачи ртути в зону измерений, причем через прозрачный диэлектрический диск осуществляется воздействие инфракрэсно1783597
Составитель Б.Брикман
Техред М.Моргентал Корректор M.Òêà÷
Редактор Т,Шагова
Заказ 4520 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул, Гагарина, 101 го излучателя на кромку контактной площадки, образуемой ртутью.
На чертеже изображен предполагаемый ртутный зонд.
Измерительный ртутный зонд состоит из установленного в корпусе 1 светопрозрачного диэлектрического диска 2, в котором расположен аксиальный капилляр 3, заполненный ртутью 4, механизм перемещения ртути, включающий заполненную ртутью емкость 5, сообщающуюся с капилляром 3, к которой прилегает упругая мембрана 6 и электрический вывод 7, контактирующий с . ртутью. Зонд содержит установленный в корпусе 1 источник света, например, инфракрасный излучатель 8, расположенный с противоположной стороны светопрозрачного диска относительно плоского металлического контакта 9, расположенного над рабочей поверхностью диска, При этом излучатель 8 установлен таким образом, чтобы обеспечивалось воздействие излучателя на кромку образуемого ртутью контакта на поверхности полупроводниковой пластины, Измерительный зонд работает следующим образом.
Исследуемая пластина зажимается между поверхностями светопрозрачного диэлектрического диска 2 и плоского металлического контакта 9 так. чтобы исследуеg мый участок пластины оказался в месте капилляра 3. После подачи давления на мембрану 6 ртуть перемещается по капилляру 3 до обеспечения электрического кон5 такта с поверхностью исследуемой пластины. При подаче соответствующих параметров напряжения на плоский контакт 9 и электрический вывод 7 можно производить измерение физических параметров участка
10 кремниевой пластины. После подключения источника света 8 становится возможным измерение фотоэлектрических параметров пластины, 15 Формула изобретения
Изерительный зонд, содержащий корпус, источник оптического излучателя, жидкостной и твердотельный электрические контакты, отличающийся тем, что, с
20 целью повышения быстродействия измерений, зонд дополнительно содержит диэлектрический диск, расположенный в верхней части корпуса и выполненный из прозрачного для оптического излучателя материала, 25 жидкостной контакт выполнен в виде капилляра, созданного в диэлектрическом диске, заполненного ртутью, а источник оптического излучателя и твердотельный контакт расположены по разные стороны диэлект30 рического диска.
