Вакуумная система и способ ее работы

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить экономичность при циклическом режиме работы системы , При разгерметизированной рабочей камере (К) 1 осуществляется вакуумирование расширительной К 5 В этот момент вентиль (В) 3 закрыт, В 6 открыт, а насос (Н) 4 включен. Затем К 1 герметизируется, Н 4 отключается, В 3 открывается и К 1 сообщается с К 5, давления в К1 и 5 выравниваются. В 6 закрывается, включается Н 4 и К 1 откачивается до рабочего давления. По завершении технологического процесса в К 1 Н 4 отключается, В 6 открывается, давления в К 1и 5 выравниваются, В 3 закрывается, В 2 открывается, К1 разгерметизируется. Одновременно Н 4 включается, В 6 открывается и К 5 откачивается. Далее цикл повторяется. 2с.п. ф-лы, 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИ4ЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

1784746 А1 (я)ю F 04 В 37/14

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ CCCP) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ОО ф

"4 ф (Ь

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4287567/29 (22) 21.07,97 (46) 30.12.92. Бюл. ¹ 48 (72) С.Н.Скорынин, Ф,Г.Ситдиков, А.И.Смирнов и И П.Малкин (56) Патент США ¹ 4504194, кл. 417-48, опублик, 1985. (54) ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА И СПОСОБ EE

РАБОТЫ (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить экономичность при циклическом режиме работы системы, При разгерметизированной рабочей камере (К) 1 осуществляется вакуумирова2 ние расширительной К 5. В этот момент вентиль (В) 3 закрыт, В 6 открыт. а насос (Н) 4 включен. Затем К 1 герметизируется, Н 4 отключается, В 3 открывается и К 1 сообщается с К5. давления в К 1 и 5 выравниваются, В 6 закрывается, включается Н 4 и К 1 откачивается до рабочего давления. По завершении технологического процесса в К 1 Н 4 отключается, В 6 открывается, давления в К

1 и 5 выравниваются, В 3 закрывается, В 2 открывается, К1 разгерметизируется. Одновременно Н 4 включается, В 6 открывается и К 5 откачивается. Далее цикл повторяется.

2 с.п. ф-лы, 1 ил.

1784746

Составитель В.Кряковкин

Техред М,Моргентал Корректор О,К)рковецкая

Редактор

Заказ 4354 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент.", г.,ужгород, ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к вакуумным системам и технологии вакуумирования вакуумных камер при их циклическом режиме работы. 5

Цель изобретения — повышение экономичности, На чертеже представлена схема вакуумной систе мы.

Вакуумная система содержит рабочую 10 камеру 1, соедийейную при помощи трубопроводов, снабженных вентилями 2 и 3, с . атмосферой, вакуумным насосом 4 и расширительной камерой 5. Между вакуумным насосом 4 и расширительной камерой 5 ус- 15 тановлен вентиль 6.

Способ работы вакуумной системы реализуется следующим образом.

При разгерметизированной рабочей камере 1 (в процессе размещения в ней либо 20 замены обрабатываемого в вакууме изделия) осуществляется вакуумирование расширительной камерй 5 — вентиль 3 закрыт, а вентиль 6 открыт, насос 4 включен. После, окончайия подготовки изделия рабочая ка- 25 мера 1 герметизируется, насос 4 отклвчается (либо перекрывается вентилем, на. чертеже не показанным), вентиль 3 открывается и давления в рабочей и расширительной камерах 1 и 5 выравниваются, Вентиль 30

6 закрывается, включается насос 4 и рабочая камера 1 откачивается до.требуемого давления, при котором осуществляется технологическая операция обработки загру-— женного изделия. По окойчании 35 технологического процесса насос 4 отключается, вентиль 6 открывается, камеры 1 и 5 сообщаются, давление в них выравнивается, затем вентиль 3 закрывается, вентиль 2 открывается, происходит разгерметизация 40 рабочей камеры 1, а одновременно включа- ется насос 4 и осуществляется вакуумирование расширительной камеры 5. Далее цикл повторяется.

Экономичность достигается тем, что вакуумным насосом 4 из расширительной камеры 5 удаляется лишь количество газа, которое остается в ней после двухкратного сообщения с рабочей камерой 1, причем в процессе второго сообщения часть газа переходит в рабочую камеру 1; т.е. расширительная камера 5 как бы предварительно вакуумируется перед подключением к насосу 4, тем самым затраты собственно насоса на ее вакуумирование снижаются.

Формула изобретения

1. Вакуумная система, содержащая рабочую камеру, соединенную при помощи трубопроводов, снабженных вентилями; с атмосферОй и расширительной камерой, и вакуумный насос, о т л и ч а ю щ а с я тем, что, с целью повышения экономичности при циклическом режиме работы, вакуумный насос подключен к трубопроводу, соединяющему рабочую и расширительную камеры, 2, Способ работы вакуумной системы, включающий предварительное. вакуумирование расшйрйтельной камеры, герметизацию рабочей камеры, выравнивание давлений в рабочей и расширительной ка- . мерах путем их сообщения между собой, вакуумирование рабочей камеры до рабочего давления и последующую ее разгерметизацию, о т л и ч à ю шийся тем, что перед разгерметизацией рабочей камеры повторно выравнивают давление в ней и расширительной камере путем их сообщения между собой, отсоединяют расширительную камеру от рабочей и осуществляют ее вакуумирование одновременно с разгерметизацией рабочей камеры.