Контактный интерферометр - пробное стекло

 

Изобретение относится к измерительной технике, более конкретно к интерференционным устройствам, и предназначено для контроля погрешности формы полированньГхповерхностей и радиусов кривизны в оптическом производстве и машиностроении . Цель изобретения - повышение производительности и точности контроля путем обеспечения контроля деталей, имеющих форму полусферы, полуцилиндра и подобных им крутых поверхностей, по всей поверхности одновременно. Пробное стекло выполнено в виде регулярного волоконнооптического элемента 1, у которого входные торцы волокон расположены так, что образуют эталонную поверхность 4 и у каждого из волокон входной торец расположен перпендикулярно оси волокна. Интерференционная картина, возникающая при наложении эталонной поверхности 4 на контролируемую поверхность детали, наблюдается на поверхности 3, образованной выходными торцами волокон элемента 1, которые расположены так, что образуют поверхность , проекции которой на плоскости, перпендикулярной оси симметрии элемента 1, геометрически подобны аналогичным проекциям эталонной поверхности 4. 7 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)з G 01 В 9/02

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4787615/28 (22) 02.02.90 (46) 07.01.93. Бюл, М 1 (71) Гродненский государственный университет (72) В,Г.Костюткин, С.А.Радевич, Н.M.Спорник и А.Ф.Туев (56) Коломийцов l0.8. Интерферометры. Л.:

Машиностроение, 1976, с.195-197, 204 — 205 (прототип). (54) КОНТАКТНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР—

ПРОБНОЕ СТЕКЛО (57) Изобретение относится к измерительной технике, более конкретно к интарференционным устройствам, и предназначено для контроля погрешности формы полированных поверхностей и радиусов кривизны в оптическом производстве и машиностроении. Цель изобретения — повышение производительности и точности контроля путем

„„Я „„1786369 А1 обеспечения контроля деталей, имеющих форму полусферы, полуцилиндра и подобных им крутых поверхностей, по всей поверхности одновременно, Пробное стекло выполнено в виде регулярного волоконнооптического элемента 1, у которого входные торцы волокон расположены так, что образуют эталонную поверхность 4 и у каждого из волокон входной торец расположен перпендикулярно оси волокна, Интерференци- онная картина, возникающая при наложении эталонной поверхности 4 на контролируемую поверхность детали, наблюдается на поверхности 3, образованной выходными торцами волокон элемента 1, которые расположены так, что образуют поверхность, проекции которой на плоскости, перпендикулярной оси симметрии элемента

1, геометрически подобны аналогичным проекциям эталонной поверхности 4. 7 ил.

1786369 в оптическом производстве, машиностроении и т.д.

Известны интерферометры для контроля радиусов кривизны и погрешностей формы полированных поверхностей, Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому. является контактный интерферометр — пробное стекло для контроля погрешности формы полированных поверхностей, выполненный в виде оптического элемента, одна из поверхностей которого является эталонной и предназначена для наложения на контролируемую поверхность (1).

Недостаток известного пробного стекла — низкие производительность и точность контроля деталей, имеющих форму полусферы, полуцилиндра и подобных им."крутых" поверхностей, иэ-за невозможности наблюдения интерференционной картины по всей контролируемой поверхности одновременно.

Цель изобретения — повышение производительности и точности контроля путем обеспечения контроля деталей, имеющих форму полусферы, полуцилиндра и подобных им "крутых" поверхностей, по всей поверхности одновременно.

На фиг. 1 — 7 изображена принципиальная оптическая схема контактно о интерферометра — пробного стекла для контроля погрешности пслированных поверхностей.

На фиг, 1-7 показан волоконно-оптический элемент (для контроля полусферы— фиг. 1 — 4, полуцилиндра — фиг. 5-7) в разрезе, где 1 — волоконно-оптический элемент, 2 " — контролируемая Деталь, 3 — поверхность, на которой нзблюдается интерференционная картина, 4 — эталонная поверхность. На фиг, 1 — 4 изображено пробное стекло для контроля полусферы. На фиг. 4 — показано, что входные концы волокон расположены так, что образуют эталонную поверхность, и

Изобретение относится к измерительной технике, более конкретно к интерференционным устройствам, и предназначено для контроля погрешности формы полированных поверхностей и радиусов кривизны 5 у каждого из волокон входной торец расположен перпендикулярно оптической оси волокна. На фиг. 2 и 3 показано подобие проекции эталонной поверхности 4 и поверхности 3, на которой наблюдается интерференционная каргина.

Контактный интерферометр — пробное стекло работает следующим образом.

Волоконно-оптический элемент 1 эталонной поверхностью 4 накладывается на контролируемую поверхность детали 2. Поверхность 3 освещается равномерно любым известным способом. Интерференционная картина, возникающая между эталонной и контролируемой поверхностью и характеризующая точность изготовления контролируемой поверхности, наблюдается на поверхности 3.

Применение пробного стекла в виде волоконно-оптического элемента, выполненного с торцом укаэанной формы, обеспечивает .одновременный контроль всей "крутой" по зеохности контролируемой детали, за счет чего повышаются производительность и точность контроля.

Формула изобретения

Контактный интерферометр — пробное стекло для контроля погрешности формы полированных поверхностей, выполненный в виде оптического элемента, одна из поверхностей которого является эталонной и предназначена для наложения на контролируемую поверхность, отличающийся тем, что, с целью повышения произюдительности и точности контроля, оптический элемент выполнен в виде регулярного волоконно-оптического элемента, у которого входные торцы волокон расположены так, что.образуют эталонную поверхность, у каждого иэ волокон входной торец распогожен перпендикулярно к оптической оси волокна, выходные торцы волокон расположены так, что образуют поверхность, проекции которой на плоскость, перпендикулярные к оси симметрии волоконно-оптического элемента, геометрически подобны аналогичным проекциям эталонной поверхности.

1786369 гЬУх

Эрл784) twu лаРУ) ЖР4

6и7л г,3) Составитель С.Грачев

Техред М,Моргентал - Корректор А.Мотыль

Редактор

Заказ 242 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101