Устройство для контроля толщины плоских объектов

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины плоского проката и ленточных материалов. Цель изобретения - повышение точности и автоматизация контроля за счет исключения погрешности, связанной с нестабильностью ориентации контролируемого объекта в зоне контроля. Зондирующие пучки, направляемые зеркалами 3, 4 и 5, 6 на контролируемый объект перпендикулярно его поверхности, фокусируются оптическими фокусирующими системами 7 и 8. Увеличение изображения световых пятен на поверхности объекта с помощью фокусирующих систем 7 и 8 и приемных оптических систем проецируются на поверхность сканирующего блока 13, выполненного в виде сферического сегмента с радиальными прорезями и установленного по ходу отраженных от объекта пучков на расстоянии от фокальной плоскости фокусирующих систем, равным радиусу сферического сегмента, с возможностью вращения вокруг оси, проходящей через его радиус. В результате сканирования изображений световых пятен на выходах фотоприемного блока 15 формируются импульсы, пропорциональные их диаметрам. Далее импульсы суммируются сумматором в блоке 16 обработки сигналов и поступают на регистратор, ripo- градуированный в единицах толщины, 1 П.ф., 2 ИЛ; (Л С

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5!)5 G 01 В 11/06

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4629788/28 (22) 02.01.90 (46) 23.01.93. Бюл. t4 3 (71) Отраслевой научно-технический комплекс "Союзцветметавтоматика" (72) В.Г.Сажаев (56) Промышленное применение лазеров /

Под ред. Кебнера, — М., Машиностроение, 1988, с. 265. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛОСКИХ ОБЪЕКТОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины плоского проката и ленточных материалов. Цель изобретения — повышение точности и автоматизация контроля эа счет исключения погрешности, связанной с нестабильностью ориентации контролируемого объекта в зоне контроля, Зондирующие пучки, направляемые зеркалами 3, 4 и 5, 6 на контролируемый объект

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины плоского проката и ленточных материалов.

Цель изобретения — повышения точности и автоматизации контроля эа счет исключения погрешности, связанной с нестабильностью ориентации контролируемого объекта в зоне контроля, На фиг.1 приведена оптическая схема устройства для контроля толщины плоских объектов; на фиг.2 — схема, поясняющая принцип работы устройства, Устройство для контроля толщины плоских объектов содержит(фиг,1) осветитель 1

„„Ы2 „„1789851 А1 перпендикулярно его поверхности, фокусируются оптическими фокусирующими системами 7 и 8, Увеличение изображения световых пятен на поверхности объекта с помощью фокусирующих систем 7 и 8 и приемных оптических систем проецируются на поверхность сканирующего блока 13, выполненного в виде сферического сегмента с радиальными прорезями и установленного по ходу отраженных от объекта пучков на расстоянии от фокальной плоскости фокусирующих систем, равным радиусу сферического сегмента, с возможностью вращения вокруг оси, проходящей через его радиус. В результате сканирования изображений световых пятен на выходах фотоприемного блока

15 формируются импульсы, пропорциональ ные их диаметрам. Далее импульсы суммируются сумматором в блоке 16 обработки сигналов и поступают на регистратбр, rip6градуированный в единицах толщины, 1 п.ф., 2 ил;

4 (лазер), светоделитель 2, две оптические зеркальные системы, содержащие зеркала О

3, 4 и 5, 6, соответственйо, две фокусирую- 00 щие системы 7 и 8, две приемные оптиче- (Я ские системы, содержащие отражатели а 4,9,10 и 6, 11, 12, соответственно, причем отраиатели9 и l1 вилолненнс отверстиями 1я для зондирующих пучков, сканирующий блок 13, выполненный в виде сферического сегмента с радиальными прорезями 14 (фиг.2), фотоприемный блок 15 и блок 16 обработки сигналов, в состав которого входит сумматор 17. Для более полного использования светового потока используются вспомогательные линзы, устанавливаемые перед зеркалами 9 и 11.

1789851

Формула изобретения

Устройство для койтроля толщины пло- зондирующего пучка после оптических зеркальных систем, двумя приемными оптическими системами, установленными по одной по ходу отраженных пучков после фоформирующий пучок света, светоделитель, кусирующих систем, и сканирующим блоформирующий два зондирующих пучка, две ком, выполненным в виде сферического оптических зеркальных системы, установ- сегмента с радиальными прорезями, оптиленные по одной по ходу каждого эондиру- чески связанным с обеими приемными опющих пучка и предназначенныедля освещения 4О тическими системами и установленным по контролируемогообъекта,фотоприемный блоки ходу отраженных пучков йа расстоянии от блок обработки сигналов, о т л и ч à io щ е е- фокальной плоскости фокусирующих сисс я тем, что, с целью повышения точности и . тем, равным радиусу сферического сегменавтоматизации контроля, оно снабжено дву- та, с возможностью вращения вокруг оси, мя фокусирующимй системами, установлен- 45 проходящей через радиус, а блок обработки ными по одной по ходу каждого . содержит сумматор импульсов.

Устройство работает следующим образом.

Световой поток осветителя 1 делится светоделителем 2 на два примерно равных по интенсивности световых пучка, Поворотными зеркалами 3, 5 пучки направляются параллельно поверхностям контролируемой полосы. Пройдя, вспомогательные расширительные л-ин"зы,"с ветовые пучки сначалЪ койцент1эйруются и пропускаются в малые просветы зеркал 9,"11, далее расширяются и зеркалами 4, 6 направляются перпендикулярно обеим поверхностям контролируемого участка полосы 18. Выходwe объективы 7, 8 формируют два индентич- 15 ных, расположенных на одной оси перпендикулярной плоскости полосы, световых конуса, направленных остриями на протйвоположные поверхности контролируемого участка полосы. Отраженные от 20 .обеих поверхностей световые пучки вначале проходят тот же путь, что и падающие, однако йа зеркалах 9, 11, имея диаметры сечения несоизмеримо больше, чем диаметры падающих пучков света, проходящих в 25 просветы этих зеркал; отражаются к зеркалам 1Î, 12 и далее к сканирующему устройству 13, Сканирующее устройство ских обьектов, содержащее осветитель, 35 разворачивает (во времени) иэображение отраженных световых пучков по их диаметрам. При этом на выходе фотоприемного блока 15 появляются электрические импульсы, длительность которых пропорциональна диаметрам отраженных световых пучков в плоСкости сканирующего элемента, На выходе сумматора 17 получаются сигналы пропорциональные сумме длительностей обеих импульсов поступающих со светоприемников. С выхода сумматора сигнал подается на регистратор, проградуированный в единицах толщины (на фиг.1, 2 не показан).

При угловых отклонениях контролируемой полосы 18 в плоскости: линия измерения — линия, перпендикулярная оси протяжки, иэображения световых пятен по поверхности полосы смещаются на сканисторе 13 no eto диаметру на одинаковую величину. Поэтому изменение скоростей сканирования изображения световых пятен одинаковы по величине и противоположны по зйаку и сумма длительностей импульсов на фотоприемниках не изменяется, и на результат измерения не влияет. Принцип компенсацйи других погрешностей, связанных с нестабильностью положения контролируемого объекта в зоне контроля аналогичен, „

1789851

Составитель М.Минин

Техред М.Моргентал Корректор Н.Милюкова

Редактор Т.Шагова

Производственно-издательский комбинат Патент, г, Ужгор д, у . р

П, У о л.Гага ина, 101

3 343 Тираж аказ Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКН СС

113035, Москва, Ж-35. Раушская наб., 4/5

Устройство для контроля толщины плоских объектов Устройство для контроля толщины плоских объектов Устройство для контроля толщины плоских объектов 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в самолетных системах контроля загрязнения нефтью морской поверхности и в очистных сооружениях портов и промышленных предприятий

Изобретение относится к измерениям с использованием оптичебких средств

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для определения толщины полупроводниковых слоев (прозрачных пленок) в электронной промышленности, в частности для измерения толщины мембран в тензодатчиках, и может быть использовано в приборостроении и машиностроении

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при определении плотности объектов

Изобретение относится к оптическому приборостроению и предназначено для неразрушающего контроля толщин слоев при изготовлении покрытий на оптических деталях

Изобретение относится к оптическому приборостроению и предназначено для неразрушающего контроля толщин слоев при изготовлении покрытий на оптических деталях

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике и может быть использовано для контроля толщины тонких металлических пленок

Изобретение относится к контрольноизмерительной технике

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости
Наверх