Устройство для изготовления микроканальной пластины с искривленными каналами

 

Использование: оптоэлектронная техника, в частности микроканальные пластины (МКП) с искривленными каналами. Сущность изобретения: заготовки толщиной не менее 2 мм, поверхность которых перед моллированием покрывают противоприлипающим веществом, например нитридом бора, помещают в матрицу из материала с ТКЛР меньшим ТКЛР заготовок. МКП нагревают и моллируют, механически воздействуя через колпачки в радиальном направлении. Устройство выполнено в виде диска из жаропрочного материала, по окружности которого расположено четное количество матриц со съемными колпачками, и снабжено узлом сдвига в виде кулачкового механизма и рычагом, а также охлаждающей системой. З ил.

Изобретение относится к оптико-электронной технике и используется для изготовления микроканальных пластин (МКП), применяемых для конструирования электронно-оптических преобразователей ЭОП) в электронно-лучевых трубках (ЭЛТ) для индикации излучений. Цель изобретения повышение качества микроканальных пластин с искривленными каналами и производительности их изготовления за счет совершенствования устройства для их изготовления. На фиг. 1-3 изображено предлагаемое устройство. Устройство содержит несущее неметаллическое основание 1, жаропрочный диск 2, на котором симметрично по окружности расположены четное количество матриц с гнездами 3, упорных кронштейнов 4, с прижимными винтами 5, для крепления колпачков 6, пластин-сухарей 7, оси сухаря 8, кулачкового механизма 9, на котором в количестве, соответствующем количеству форм, расположены кулачки 10, закрепленные винтами 11, ось кулачкового механизма 12, игольчатые подшипники кулачкового механизма 13, корпуса подшипников кулачкового механизма, выполненного в виде двух коаксиальных цилиндров 14, образующих замкнутую полость для циркуляции охлаждающей жидкости, штуцеров для подвода охлаждающей жидкости 15, рычага для поворота кулачкового механизма 16. Устройство работает следующим образом. Перед закладкой МКП в гнезда кулачки посредством рычага 16 (фиг. 1, фиг. 2) выводятся в нейтральное положение. Заготовки МКП 17 укладываются в матрицы-формы 3, покрытые нитридом бора (фиг. З), накрываются колпачками 6 и плотно прижимаются винтами 5 к днищу матрицы. После закладки партии заготовок основание 1 переворачивается на 180^o и крепится к жаровому пространству печи, при этом штуцеры 15 и рычаг кулачкового механизма находятся в верхнем положении. Печь и заготовки разогревают до 615-620^oС и с помощью рычага 16 осуществляют поворот кулачкового механизма 9 с кулачками 10 вокруг оси 12. Кулачки через пластину-сухарь 7 передают давление на колпачки формы 6, осуществляя сдвиг верхней части заготовки 17 относительно неподвижной матрицы 3. В этом положении производится отжиг и охлаждение пластин до комнатной температуры. В дальнейшем пластины обрабатывают до толщины 1,2 мм или другого размера, в зависимости от назначения, подвергают травлению в нагретом растворе соляной или уксусной кислоты. Вытравленную заготовку восстанавливают в токе водорода, на поверхности пластины напыляют электроды, проводят измерение усиления готовой пластины и других электронно-оптических параметров. Измерение электрических свойств показало, что МКП с искривленными каналами имеют усиление 10⁵ при 1200 В. Таким образом можно изготовить любое количество МКП с искривленными каналами высокого качества. Использование предлагаемого способа и устройства позволило впервые в стране получить новый класс МКП с искривленными каналами. В настоящее время отечественная промышленность производит МКП только с прямыми каналами с усилением 10⁴ при 1000 В. Внедрение устройства позволит иметь МКП с кривыми каналами с усилением более 10⁵, что открывает возможность создания электронно-оптических приборов нового поколения для индикации излучений, рентгеноскопии и томографии. Одновременно упрощается технология получения МКП с кривыми каналами по сравнению с известными устройствами, снижается трудоемкость, повышается производительность процесса и качество МКП.

Формула изобретения

Устройство для изготовления микроканальной пластины с искривленными каналами, включающее печь, металлические матрицы и узел сдвига, отличающееся тем, что, с целью повышения качества микроканальной пластины с искривленными каналами и производительности их изготовления, устройство выполнено в виде основания с закрепленным на нем диском из жаропрочного материала, на котором по окружности расположены матрицы симметрично друг другу относительно центра диска, матрицы выполнены из материала с тепловым коэффициентом линейного расширения, меньшим теплового коэффициента линейного расширения заготовки микроканальной пластины не менее чем на 3·10^-7 1/град, и покрыты пудрой из нитрида бора или графита, над каждой матрицей закреплен с помощью упорного кронштейна колпачок, а узел сдвига выполнен в виде второго диска, установленного соосно с первым диском с возможностью поворота относительно него, на этом диске закреплены кулачки в количестве, равном количеству матриц, расположенных по окружности в радиальных пазах на равном расстоянии друг от друга, причем около каждой матрицы на вертикальной оси закреплена пластина-сухарь, которая помещена между колпачком и кулачком, а на валу диска закреплен рычаг.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3

MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе

Номер и год публикации бюллетеня: 10-2002

Извещение опубликовано: 10.04.2002        

---