Способ защитб! деталей полупроводниковых приборов в травителях типа «ср»
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
I89934
Со1оз Советских
Социалистических
Респтблик
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 05 1У.1963 (№ 829104/22-2) Кл. 48а, 5/24 с присоед1неннсм заявки №
1 1ПК C 23b
Приоритет
Опубликовано 26.III.1966. Бюллетень ¹ 8
Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Мииистрае
СССР
УДК 621.357.7:669.2 (088.8) Дата опубликования описания 11Л .1966
ABT0P6I изобретения
Л. Н. Куликов, В. А. Дьяконов, Е. К. Котова, Ю. П. Никитина, С. В. Спиридонова, Л. П. Баранова, А. Н. Лебедева и Л. Г. Белая
Заявитель
СПОСОБ ЗАЩИТЫ ДЕТАЛЕЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ
ПРИБОРОВ В ТРАВИТЕЛЯХ ТИПА «СР»
Для защиты деталей полупроводниковых приборов (например, корпусов и ножек) в высокоагрессивных средах и травителях тип»
«СР» известно нанесение на них золотого гальванического покрытия по никелевому подслою.
Для получения защитного покрытия повышенной стойкости, возможности обработки переходов на ножке в травителях типа «СР», сокращения времени нанесения защитного покрытия и упрощения технологии изготовления полупроводниковых приборов благодаря применению метода пластической холодной сварки предлагается на подслой детали, например из никеля, наносить электролитическим путем радий, палладий или рутений.
Гальваническое осаждение родня можно производить из сернокислого электролита, сернокислого электролита с добавкой селена, фосфорнокислого электролита, а также из фосфорносернокислого состава ванны. Гальванический рутений осаждают из нитрозохлоридного электролита, а палладий — из тетраминохлоридного, фосфорнокислого или нитрпдного электролита с добавкой селена.
Б зависимости от материала основы детали подвергают соответствующей обработке перед нанесением гяльв", IIII÷åñêîãî покрытия.
Предмет изобретения
Способ защиты деталей полупроводнпковых приборов в трявителях типа «СР» нанесением
ГалшЗяничсски ос11жденного металла HB металлический подслой, оТ.ø÷àþùèéñÿ тем, что, с
1s цсль1о повышени11 стойкости покрытия и упрощенгя технолоп1и изготовления деталей и сборки полупроводниковых приборов, на подслой детали, например из никеля, наносят электролитическим путем радий, рутешш или
20 палладий.
