Многослойный пленочный датчик э.д.с. холла

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистическиа

Республик

Зависимое от авт. свидетельства № 119556

Заявлено 05.1Ч.1965 (№ 1001084/26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 17Х1,1966. Бюллетень № 13

Дата опубликования описания 19ХП1.1966

Кл. 21а4, 71

МПК G Olr

УДК 621.317.7(088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Л1НОГОСЛОЙНЬ!Й ПЛЕНОЧНЬ1Й ДАТЧИК Э.Д.С. ХОЛЛА

В авт. св. № 119556 описан многослойный пленочный датчик э.д.с. Холла, выполненный из чередующихся слоев полупроводников с различным знаком проводимости, разделенных диэлектрическими пленками. Слои по отношению к току, проходящему через них, соединены параллельно, а по отношению к э.д.с.

Холла — последовательно.

Подобные датчики не могут быть использованы для измерения мощностей в диапазоне высоких частот вследствие закорачивания э.д.с. Холла отдельных слоев через общий токовый электрод, В предлагаемом датчике, являющемся усовершенствованным вариантом датчика по авт, св. № 119556, с целью использования его для измерения мощностей в диапазоне высоких частот в цепях, соединяющих отдельные слои датчика, параллельно по отношению к управляющему току включены конденсаторы, напыленные между токовыми электродами соседних слоев, На фиг, l изображена электрическая схема датчика; на фиг. 2 — его общий вид.

Слои 1 датчика Холла соединены по отношению к эд.с. Холла последовательно, а по отношению к управляющему току — параллельно. В цепи, соединяющие слои, параллель»о по отношению к управляющему току включены конденсаторы 2. При этом устраняется закорачивание постоянной составляющей э.д.с. Холла, уменьшается потребляемая датчиком активная мощность и обеспечивается использование его для измерения мощности

5 в диапазоне высоких частот.

Слои 1 изготовляют напылением полупроводникового материала в вакууме. Между слоями нанесены изоляционные пленки 8. На участок токовых электродов 4 наносят диэлек10 трик б, обладающий большой диэлектрической проницаемостью. Между пленками диэлектрика напыляют токовые электроды, ко. торые будут соединены параллельно конденсаторами 2, образованными емкостью, создавае15 мой токовыми электродами, разделенными диэлектриком б. Холловские электроды б соединены последовательно посредством металлических перемычек 7. Размещается датчик

»а слюдяной подложке 8. Суммарная э.д.с.

20 Холла измеряется прибором постоянного тока, а переменная составляющая закорачивается через конденсаторы 2, которые закорачивают также э.д.с., обусловленную неэквипотенциальностью элементов датчика.

Предмет изобретения

Многослойный пленочный датчик э.д.с. Холла по авт. св. ¹ 119556, отличающийся тем, что, с целью использования его для измерения

30 мощностей в диапазоне высоких частот, вце183248 ку включены конденсаторы, напыленные между токовыми электродами соседних слоев. фиг. 2

Составитель Г. Фридолин

Техред Л. К. Ткаченко

Редактор В. Сорокин

Заказ 2278/10 Тираж 1175 Формат бум. 60+90 /8 Обьем 0,21 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 пях, соединяющих отдельные слои датчика, параллельно по отношению к управляющему тоКорректоры. (Е Опарина и 3. М. Раинина