Патент ссср 184401

 

I844OI

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 32b, 17/24

Заявлено 17.111,1964 (№ 888817/29-14) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 21.VI1.1966. Бюллетень № 13

МП1 С 03с

УДК 666.1.056:666.266.4. .002.2,002.5 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Дата опубликования описания 1.IX.1966

Авторы изобретения

Г. П. Старцев, М. К. Ива

Заявитель

УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ВЪ1СОКООТРАЖАЮЩИХ

МНОГОСАОЙНЬ1Х ЙОКРЬ1ТИЙ

Известны установки для нанесения высокоотражающих многослойных покрытий на изделия из стекла, включающие испарительную камеру, стеклянный вакуум-колпак, веерную шторку, форвакуумный и диффузионный насосы и фотометрическое устройство. Применяемое в этих установках фотометрическое устройство позволяет контролировать толщину только наружного слоя, а шторка с прямолинейными пластинами в сложенном виде толста и неполностью перекрывает отверстие, ведущее в камеру.

Предлагаемая установка позволяет полностью перекрыть площадь вблизи покрываемого стекла и обеспечивает определение максимальной отражающей способности покрытия в области спектра до 1200 А . Достигается это тем, что в фотометрическом устройстве в качестве источника излучения применена низковольт ая водородная лампы с интенсивной линией о

1216 А в ее спектре, в качестве селективного приемника — ионизационная камера с чувствительностью в области 1100 †13 А (максио мум при 1216 A ), а веерная шторка смонтирована из криволинейных пластин, На фиг. 1 представлена схема фотометрического устройства предлагаемой установки; на фиг. 2 — схема веерной шторки.

Отражение измеряют под углом 10 . Источником излучения является низковольтная водородная лампа 1 (ВВ-25) с окном пз фтористого лития. Лампа питается от стабилизатора

5 (ЗПС-86) 2.

Селективным приемником служит ионизационная камера (КФЛ-2) 8 тоже с окном из фтористого лития. Yàìåðà чувствительна к коротковолновому излучению в области 1100— о о

1300 А (максимум прп 1.=1216 А ). Для питания камеры к одному из ее вводов подан плюс. от двух включенных последовательно сухих батареи (БАС-Г-80) 4 с напряжением 160 в на полюсах. Отрицательный электрод батареи заземлен. Ко второму вводу камеры подключен выносной каскад (VI-2) 5, присоединенный к электрометрпческому усилителю 6, который питается от сети 220в через стабилизированный выпрямитель 7. Вводы ионизационной камеры экранированы металлическим заземленным экраном. Сигнал, снимаемый с камеры, усиливается электрометрическим усилителем и фиксируется по отбросу стрелки измеритель25 ного прибора.

Веерная шторка, смонтированная из криволинейных пластин 8, в сложенном виде полностью открывает отверстие, ведущее в нспарительную камеру, а в развернутом виде пол30 ностыо перекрывает его.

184401

Высокоотраткающие в ультрафиолетовой области спектра зеркальные покрытия получают следующим образом.

Форвакуумным насосом во всей системе создают давление порядка 3 10 - лл рт. ст., затсм ьключают нагреватель диффузионного насоса, и во время нагревания тренируют детали в разряде высокого напряжения (2300в) в течение 30 лтн при силе разрядного тока 100 л а, причем во время этой операции детали веерной шторкой»е экранируются. После этого диффузионным масляным насосом откачивают реципиент при непрерывном охлаждении ловушки жидким азотом.

Получив вакуум 5 10: .яя рт. ст. переходят к предварительному прогреву алюминиевых рейтеров и фтористого магния. Для этого включают низковольтный трансформатор и доводят ток накала вольфрамовых спиралей до плавления алюминиевых рейтеров, после чего трансформатор выключают и, повернув испаритель на 180", устанавливают вольфрамовую лодочку в центр испарите!льной камеры для прогревания фтористого магния до плавления.

1та операция проводится при экранировании деталей шторкой. Затем переходят к испарению алюминия.

При давлении в реципиенте 5 10 "ммрт. ст, включают понижающий трансформатор и нагревают спирали испгрителя до плавления алюминиевых рейтеров (детали при этом экранированы шторкой). После плавления алюминия постепенно увеличивают ток, проходящий через спирали. Когда конденсация испаряемого алюминия начинает возрастать (что можно обнаружить по смотровому окну), открывают детали, складывая веерную шторку, а ток накала спиралей бь|стро увеличивают до 70 — 80 а. Пары алюминия конденсируются непосредственно на деталях, которые через

4 — 6 сек вновь экранируются. Процесс покрытия закончен.

Сразу. же после этого приступают к защите а;поминиевого покрытия от окисления. Сначала фиксируют по показанию шкалы усилителя отражение от поверхности алюминия при длио не волны 1216 А . Затем детали экранируют и производят плавление фтористого магния. После того как фтористый магний расплавится, ток, подаваемый на испаритель, доводят при. мерно до 70 а, шторку складывают, а испаряющийся фтористый магний конденсируется на деталях. В процессе испарения сигнал, определяемый по шкале усилителя, вначале уменьшается приблизительно на 20О/о, что соответствует интерференционному минимуму, а затем при переходе к интерференционному максимуму увеличивается, немного не достигая (1 — 2О/р) первоначального значения. При достижении максимального сигнала детали вновь экранируют. Зеркальное покрытие готово.

Предмет изобретения

Установка для нанесения высокоотражающих многослойных покрытий на изделия из стекла, включающая испарительную камеру, стеклянный вакуум-колпак, веерную шторку, форвакуумный и диффузионный насосы и фотометрическое устройство, отлича ощаяся тем, что, с целью полного перекрытия площади вблизи покрываемого стекла и определения максимальной отражающей способности поо крытия в области спектра до 1200 А, в фотометрическом устройстве в качестве источника излучения применена низковольтная водородо ная лампа с интенсивной линией 1216 А в ее спектре, в качестве селективного приемника— ионизационная камера с чувствительностью в о о

40 области 1100 — 1300 А (максимум при 1216 A), а веерная шторка смонтирована из криволинейных пластин, 184401

7ие 2

Составитель Н. Степанова

Редактор Н. Громов Техред А. A. Камышникова Корректоры: В. В. Крылова и С. Н, Соколова

Заказ 2523!8 Тираж 750 Формат бум. 60),"90 Объем 0,27 изд. л. Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений It открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2