Устройство для одностороннего травления пластин
r:Î1ÃË <:ОВЕ ГОЖИХ
СО! (ИИ ЛИС TM ID.КИХ
РЕСПУБЛИК (si>s Н 01 1 21/302
ГОСУДАРСТВЕННОЕ .ПАТЕНТНОЕ
ВЕДОМСТВ(Х СССР (ГОСПАТЕНТ GCCP) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Ю QQ, С> (Л (,Д !
ы (21) 4935905/25 (22) 12.05.91. (46) 07.04.93. Бюл. ¹ 13 (71) Производственное объединение "Кремний" . (72) Д. Е,-Павленко и M. Е, Нестеров .: (56) Авторское свидетельство СССР.
¹ 879678, кл, Н 03 1 21/00, 1979;
Авторское свидетельство СССР № 1 257730, кл, Н 01 1. 21/306, 1984, (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОДНОСТОРОННЕГО ТРАВЛЕНИЯ ПЛАСТИН (57) Изобретение относится к микроэлектронике, к производству полупроводниковых з Ns1»>3
Изобретение относится к производству полупроводниковых приборов и может быть исйользовано при химической обработке йолупроводниковых пластин.
Цель изобретения — повышение качества обработки полупроводниковых пластин за счет повышения количества степеней . свободы обрабатываемой пластины, На фиг. 1 схематически изображено предлагаемое устройство; на фиг. 2 — то же, в рабочем состоянии; на фиг, 3 — уплотнительный элемент из эластичного материала..
Устройство состоит из уплотнительного элемента 1, утолщенные кромки которого расположены в боковых канавках (гнездах) держателя 2 и прижаты к нему уплотнителями S и,З с помощью резьбового соединения между уплотнителем 5 и обоймой 4.
8 зафиксированных между собою с помощью шпонки 6 в уплотнителе 5 и держателе 2 просверлены отверстия 7 и 8. Шпонка обеспечивает их совмещение в процессе ра„„5Ц„„1807532 Al приборов, Сущность; устройство включает держатель, два дополнительных уплотнигеля, один из которых имеет отверстие. Эластичный уплотнительный элемент имеет форму лоткообразного кольца с утолщенными кромками, держатель выполнен в виде кольца с торцевыми канавками и отверстиями, соединяющими торцевые канавки с внутренней поверхностью кольца, при этом утолщенные кромки эластичного уплотнительного элемента прижаты двумя уплотнителями к держателю, а держатель зафиксирован в уплотнителе с отверстием, 3 ил. боты. Отверстие 9 соединяет внутреннюю полость образовавшейся камеры с отверстиями 8 и 7. Уплотнитель 3 одновременно является столиком, на который укладывается пластина 10 перед ее уплотнением.
Устройство работает следующим образом.
После того, как пластина 10 уложена на столик уплотнителя 3 в горизонтальном положении, в отверстие 7 вставляется медицинская игла (не показана), прокалывается утолщенная часть уплотнителя и в камеру напускается сжатый воздух, который приводит устройство в рабочее состояние (фиг. 2). йоСле чего игла вытаскивается, а устройство вместе с пластиной помещается в травитель, которому сообщаютсл необходимые независимые движения, обеспечивающие высокую размерность травления.
После проведения процесса травления таким же образом выпускается воздух и сменяется пластина.
I l; сдложлнное ус гроиство позяоляег до ситц- высокой эффективности при утонении нлаг,тины носке формирования структуры, ис. ключая операции защиты и возможные при этом технологические отходы как при травлении, так и при механической обработке.
Формула изобретения
Устройство для одностороннего травления пластин. содержащее держатель и эластичный уплотнительный элемент, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения качества обработки пластин за счет повышения коли секта» сте 10 отверстиями, соединяющими торцевые канавки с внутренней поверхностью кольца. при этом утолщенные кромки эластичного уплотнительного элемента прижаты уплотнителями к держателю, а держатель зафиксирован s уплотнителе с отверстием. 180 7532 Составитель Д. Павленко Техред М,Моргентал Корректор Н Гунько Редактор Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород. ул.Гагарина, 101 Заказ 1383 Тираж Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5
