Способ изготовления мишени бистабильной бессеточной запоминающей электронно-лучевой трубки

 

Изобретение относится к технологии изготовления электронно-лучевых трубок (ЭЛТ), в частности к изготовлению мишени бессеточной бистабильной запоминающей ЭЛТ. Цель изобретения - повышение контраста информационной емкости и снижение трудоемкости при изготовлении мишени на сферической передней панели (ПП). На внутреннюю поверхность ПП наносят методом фотопечати порошковые точки из неметаллического порошка для формирования прозрачных окон в металлическом покрытии из слоя алюминия с подслоем никеля или хрома общей толщиной 0,2 - 0,6 мкм. 1 табл. 5 ил.

Изобретение относится к электронно-лучевым трубкам (ЭЛТ), в частности к бистабильным бессеточным запоминающим ЭЛТ. Цель изобретения увеличение основных электрических параметров (контраста, информационной емкости) и снижение трудоемкости изготовления мишени бистабильной бессеточной запоминающей ЭЛТ со сферической поверхностью передней панели. Способ изготовления мишени бистабильной бессеточной запоминающей ЭЛТ включает вакуумное напыление на внутреннюю поверхность передней панели (экрана) непрозрачного проводящего металлического покрытия, формирование в нем периодически расположенных (с шагом 200-250 мкм) прозрачных окон круглой или квадратной формы и формирование люминофорных точек в окнах методом фотопечати, в качестве металлического покрытия используют слой алюминия с подслоем никеля, или экрана общей толщиной 0,2-0,6 мкм и толщиной подслоя, составляющей (10-50)% от общей толщины, причем перед напылением металлического покрытия на внутреннюю поверхность экрана методом фотопечати наносят порошковые точки из неметаллического порошка со средним размером частиц 4-8 мкм, химически стойкого при температурах выше 400^оС, порошковые точки круглой формы получают при фотоэкспонировании с внутренней стороны экрана через сферическую маску-шаблон, размер точек круглой формы задают в пределах 0,75-0,9 шага маски или в пределах 0,5-0,7 шага маски, наносят двойное точечное покрытие, которое получают двукратным фотоэкспонированием со смещением экрана относительно маски в диагональном направлении расположения отверстий на величину 0,7-0,15 шага маски и при величине зазора между маской и экраном не менее удвоенного значения шага маски, порошковые точки квадратной формы получают при фотоэкспонировании с наружной стороны через плотно прижатую мелкоструктурную сетку прозрачностью 40-65% размер точек квадратной формы задают в пределах 0,7-0,8 шага сетки, после напыления металлического покрытия из порошковых точек выжигают органику, при этом происходит и отжиг металлического покрытия, и удаляют их пульверизованной струей воды, размер люминофорной точки задают на 15-30 мкм большим размера окна. На фиг.1 показаны возможные варианты точечного покрытия или конфигурации окон в слое металла: однократное точечное покрытие 1 с размером точки 0,8 шага маски, двойное точечное покрытие 2 со смещением второго покрытия на величину, меньшую диаметра точки, удвоенное количество точек точечное покрытие 3 со смещением на величину больше диаметра точки, точечное покрытие 4 при печати через сетку. На фиг.2 показана схема фотоэкспонирования экрана с нанесенным порошковым слоем через сферическую маску, которая содержит установку 5 фотоэкспонирования с источником света, дающим сферически симметричный световой поток, закрепленную на раме сферическую маску-шаблон 6, переднюю панель 7 с порошковым слоем на внутренней поверхности, винтовые микрометрические опоры 8 для установления зазора между маской и экраном, спейсер 9 для установления величины смещения экрана относительно маски. На фиг. 3 показана схема фотоэкспонирования экрана снаружи через сетку. Снаружи панели 7 плотно прижата сетка 10 с помощью опор 11. Через сетку 10 световым потоком 12 производится экспонирование. На фиг. 4 показано сечение экрана после напыления металла на порошковые точки, где на планшайбе 7 расположены каолиновая полоса 13, порошковые точки 14 и непрозрачное проводящее металлическое покрытие 15. На фиг.5 показано сечение экрана после нанесения люминофорных точек. На панели 7 расположено покрытие 15, в окнах которого размещены люминофорные точки 16. Способ изготовления мишени основывается прежде всего на том, что при напылении металла на чистую поверхность монолитного диэлектрического материала (стекло, керамика, сапфир и др.) получается очень прочное сцепление слоя металла с подложкой. Если же на подложке имеется какое-либо загрязнение или нанесен порошковый материал, то адгезия металла зависит как от прочности сцепления металла с подслоем, так и от прочности сцепления подслоя с подложкой. Прочность сцепления порошкового слоя со стеклом зависит от размеров частиц, связующего вещества, степени шероховатости стекла. В частности, при использовании в качестве связующего вещества поливинилового спирта (ПВС) прочность сцепления зависит от концентрации очувствляющего компонента, которым обычно является бихромат аммония. После выжигания ПВС порошковая точка должна легко удаляться вместе с напыленным на нее металлом. Материал порошка должен быть химически устойчив при температуре 440-460^оС, т.е. не должен разлагаться с образованием соединений, трудно удаляемых со стекла. Порошковая точка должна иметь также достаточно четкие границы и обеспечивать хорошую разрешающую способность по фотопечати для заданного шага и размеров перемычек между точками. Для достижения более четких границ отверстия в металлическом слое (окна), а также для более легкого удаления точки после выжигания ПВС последняя должна достаточно возвышаться над поверхностью металла, чтобы на границе точки в металлическом слое намечался излом. Для обеспечения всех указанных требований лучше всего использовать неметаллический порошок со средним размером частиц 4-8 мкм, например порошок люминофора. При среднем размере менее 4 мкм точка более трудно удаляется после отжига. При среднем размере более 8 мкм ухудшается разрешающая способность по фотопечати. В соответствии с размером частиц задается и толщина слоя наносимого порошкового покрытия. Для частиц со средним размером ≈ 4 мкм хорошее качество точки получается при толщине 5-10 мкм. Для частиц со средним размером до 8 мкм требуемое качество точки получается при толщинах 15-200 мкм. При выборе размеров конфигурации и упаковки точек (фиг.1) преследуется цель получения наибольшей излучающей площади рабочего люминофора при обеспечении надежной проводимости перемычек между точками и хорошего коллекторного действия металлического покрытия в любом месте мишени. Вместе с тем для получения максимальной величины контраста, определяемого как отношение яркости свечения люминофора к яркости фона, должно отсутствовать и фоновое свечение вокруг люминофорных точек. Экспериментально установлено, что для приборов со сферической поверхностью экрана, в частности для прибора с прямоугольным экраном с диагональю 51 см, нормальное коллекторное действие тонкопленочного металлического покрытия обеспечивается, если площадь коллекторного электрода на любом участке мишени занимает не менее 20% Для того, чтобы отсутствовало фоновое свечение вокруг люминофорной точки, размер ее должен превышать размер окна примерно на 100, что по площади составляет ≈ 20% Таким образом, при использовании коллекторного электрода в виде сетки, которая получается при печати через сетку с наружной стороны экрана, на излучающую поверхность люминофора остается ≈60% Исходя из этого, размер окна должен быть не более 0,8 шага сетки (обозначим его h). Для каждого участка мишени и в целом для всей ее поверхности площадь металлического покрытия занимает около 40% Для шага h200 мкм ширина металлической дорожки должна составлять 40 мкм. Если брать размер окна <0,7h, например 0,6h, то площадь светящейся поверхности составляет всего 36% и, как ясно из дальнейшего, тогда выгоднее печатать с внутренней стороны экрана удвоенное количество точек. При печати круглых точек с внутренней стороны экрана максимальный диаметр точки можно взять равным 0,9 шага маски (обозначим его d). Ширина перемычек меньше, чем для прямоугольной ячейки и при экспонировании рабочего люминофора эти перемычки могут быть перекрыты, но зато между точками остаются металлические "пятачки", которые и выполняют функции коллекторов. Коллекторный электрод с круглыми отверстиями (окнами) диаметром 0,9d по площади излучающей поверхности близок к коллекторному электроду с квадратными окнами размером 0,8h. Аналогично окно размером 0,8d соответствует окну с размером 0,7h. При печати круглых точек с внутренней стороны экрана расстояние между их центрами по диагонали составляет примерно 1,4d. Это позволяет при диаметре точки < 0,7d печатать между каждыми четырьма соседними точками еще по одной точке. Таким образом, общее количество точек на мишени может быть в 2 раза больше, что позволяет существенно увеличить излучающую поверхность и получить большую разрешающую способность (при условии обеспечения ее со стороны записывающего прожектора). Так, если напечатать удвоенное количество точек с размером 0,6d, то по площади это составит примерно 56% но при этом на ширину перемычек остается всего 0,1d. Для обеспечения такой ширины перемычек необходима высокая точность смещения экрана относительно маски и технологически выполнять такую мишень достаточно сложно. Поэтому для увеличения разрешающей способности путем печатания в два раза большего количества точек размер точки лучше взять 0,5d. В этом случае величина перемычки 0,2d достаточно надежно обеспечивается, а площадь свободной от металла (излучающей) поверхности составляет почти 40% что еще приемлемо для получения необходимой яркости. При размере точки 0,4d площадь удвоенного количества точек составляет 24% что уже не достаточно для получения нормальной яркости. Таким образом, при размере точки 0,5d будет несколько меньшее значение яркости, но можно получить значительно большую разрешающую способность. При размере точки 0,4d итоговый эффект существенно ниже. Для получения удвоенного количества точек при печатании второго точечного покрытия необходимо смешать экран относительно маски (или наоборот) в диагональном направлении расположения отверстий на величину 0,7d. Но увеличение излучающей поверхности можно получить и при меньшей величине смещения. В этом случае итоговая точка будет вытянутой. Например, если точку с размером 0,7d сместить на величину 0,15d, то величина перемычек между ней и двумя ближайшими точками будет 0,2d, выиграш по величине излучающей поверхности составляет более 10% Таким образом, в зависимости от размера точки величина смещения должна составлять (0,7-0,15)d. Исходя из требуемых размеров точек, выбраны и средства их получения. Круглую точку диаметром (0,5-0,9)d проще всего получить при печати с внутренней стороны экрана, так как при сферическом световом потоке (фиг.2) через малый диаметр отверстий в маске (обеспечивающий ее формоустойчивость) регулированием режима экспонирования (световой поток, время экспонирования) и величины зазора между маской и экраном можно печатать с точки по величине в широких пределах. При смещении экрана относительно маски зазора между маской и экраном на одном краю увеличивается, на другом уменьшается. Причем, чем больше шаг, тем на большую величину производится смещение и, соответственно, образуется большая разница в величине зазора между краями в направлении смещения. Поэтому, чтобы относительное изменение зазора было не большим и чтобы не появилось за счет этого неравномерности в размере точек, для большего шага маски надо брать и большую величину зазора. Опытным путем установлено, что для этого исходный зазор должен быть не менее удвоенного шага сетки. При печати снаружи круглую точку также можно получить, если использовать маску с круглыми отверстиями. Но здесь при параллельном световом потоке (фиг. 3) печатание идет в масштабе, близком один к одному. Небольшое (на 10-15%) увеличение точки получается за счет рассеяния света в стекле экрана. Поэтому для печати точек диаметром 0,9d при величине d, например, 200 мкм необходима маска с перемычками 20-30 мкм. Такую маску для многократного использования известными способами сделать очень трудно. Но зато можно сделать прочную сетку, например, мотанную из вольфрамовой проволоки, которую можно достаточно плотно прижать к экрану с наружной стороны. Величина светопропускания такой сетки должна примерно соответствовать величине свободной от металла площади. Но все же размер точки в некоторой степени зависит от режима экспонирования, который должен подбираться для получения требуемого размера точки. После нанесения точечного покрытия наносится порошковая полоса для формирования разделительной полосы. Она может быть нанесена известным способом густо разведенным в воде каолином с помощью пишущего инструмента. Но в предложенном способе удобнее наносить ее из густой суспензии порошка на основе поливинилового спирта инструментом наподобие кулинарного шприца. В последнем случае эта полоса легче удаляется водяным проявлением после выжигания ПВС. Металлическое покрытие (фиг.4) должно иметь хорошую адгезию к стеклу и обеспечивать хорошую проводимость после проведения всех термообработок экрана и прибора, а их четыре-три при температуре 440-460^оС в атмосфере воздуха и одна в вакууме при температуре 440^оС. Кроме того, металлическое покрытие должно быть темным, слабо отражающим с наружной стороны экрана. По качеству адгезии, сопротивлению и устойчивости его к термообработкам, а также по простоте нанесения наиболее всего подходит покрытие напыленного в вакууме алюминия. Но он дает сильное отражение с наружной стороны экрана. Получаемые также вакуумным напылением покрытия никеля и хрома являются более темными, но они более подвержены влиянию термообработок, в результате которых покрытия могут иметь неравномерный оттенок по поверхности экрана и высокоомные перемычки. Поэтому целесообразно использовать слой алюминия с подслоем никеля или хрома. Со слоем никеля алюминий при высоких температурах дает интерметаллическое соединение, которое имеет темный контрастный оттенок, равномерный по всей поверхности экрана. Выбор толщин покрытия обусловлен следующими обстоятельствами. При общей толщине более 0,6 мкм затрудняется удаление порошковых точек после отжига, при толщине менее 0,2 мкм могут появляться просветы в местах перехода от сферической поверхности к бортам экрана и ухудшается надежность контакта с выводами коллектора и коллимирующей линзы. Если толщину подслоя брать менее 10% от общей толщины, то алюминиевый блеск пробивается наружу и качество восприятия информации на экране ухудшается. При толщине подслоя более 50% от общей толщины в результате термодиффузионных процессов свободный алюминий практически исчезает с поверхности, что приводит к образованию высокоомных контактов с выводами коллектора и коллимирующей линзы, а также к ухудшению коллимации электронного пучка воспроизводящего прожектора. Отжиг экрана проводится при температуре 440-460оС с целью полного выжигания ПВС. После этого сцепление между точками и стеклом существенно уменьшается и они легко удаляются пульверизованной струей воды, интенсивность которой можно регулировать давлением воздуха. После этого отжига металлическое покрытие приобретает необходимый темный оттенок. При формировании люминофорных точек в окнах методом фотопечати высота их на периферии всегда получается меньше, чем в центре. Это приводит к тому, что коллекторный потенциал для периферийной части точки ниже рабочего коллекторного потенциала и вокруг точек появляются перезарядные колечки, создающие фоновое свечение. С целью исключения или максимального уменьшения фонового свечения вокруг люминофорных точек размер последних необходимо задавать большим размера окна. Если размер люминофорной точки менее чем на 15 мкм превышает размер окна, то эффект уменьшения фонового свечения невелик. Увеличивать размер точки более чем на 30 мкм по сравнению с размером окна нецелесообразно, поскольку для увеличения контраста это уже ничего не дает, но приводит к уменьшению площади коллекторного электрода и, соответственно, к уменьшению диапазона коллекторного потенциала, который характеризует равномерность в режиме запоминания. Для максимально возможного размера окна (0,9d или 0,8h) размер точки (как сказано выше) берется примерно на 10% большим размера окна. выводами коллектора и коллимирующей линзы. Если толщину подслоя брать менее 10% от общей толщины, то алюминиевый блеск пробивается наружу и качество восприятия информации на экране ухудшается. При толщине подслоя более 50% от общей толщины в результате термодиффузионных процессов свободный алюминий практически исчезает с поверхности, что приводит к образованию высокоомных контактов с выводами коллектора и коллимирующей линзы, а также к ухудшению коллимации электронного пучка воспроизводящего прожектора. Отжиг экрана проводится при температуре 440-460^оС с целью полного выжигания ПВС. После этого сцепление между точками и стеклом существенно уменьшается и они легко удаляются пульверизованной струей воды, интенсивность которой можно регулировать давлением воздуха. После этого отжига металлическое покрытие приобретает необходимый темный оттенок. При формировании люминофорных точек в окнах методом фотопечати высота их на периферии всегда получается меньше, чем в центре. Это приводит к тому, что коллекторный потенциал для периферийной части точки ниже рабочего коллекторного потенциала и вокруг точек появляются перезарядные колечки, создающие фоновое свечение. С целью исключения или максимального уменьшения фонового свечения вокруг люминофорных точек размер последних необходимо задавать большим размера окна. Если размер люминофорной точки менее чем на 15 мкм превышает размер окна, то эффект уменьшения фонового свечения невелик. Увеличивать размер точки более чем на 30 мкм по сравнению с размером окна нецелесообразно, поскольку для увеличения контраста это уже ничего не дает, но приводит к уменьшению площади коллекторного электрода и, соответственно, к уменьшению диапазона коллекторного потенциала, который характеризует равномерность в режиме запоминания. Для максимально возможного размера окна (0,9d или 0,8h) размер точки (как сказано выше) берется примерно на 10% большим размера окна. Вместе с тем уменьшение перезарядного фона при достаточно высоком коллекторном потенциале, от которого как и от излучающей поверхности зависит величина яркости, должно быть обеспечено и свойствами самого люминофора. Применяемые в бистабильных бессеточных запоминающих ЭЛТ люминофоры ортосиликата цинка, активированного марганцем (отечественные люминофоры КВ 520-1 и КВ 520-3, американский люминофор Р1) с размером основной массы частиц 4-10 мкм и с удельным сопротивлением порошка 10¹²-10¹⁶ Ом^.см позволяет получать достаточно высокоомные люминофорные покрытия (с удельным сопротивлением 10¹⁴-10¹⁷ Ом см) и достаточно высокий коллекторный потенциал, т.е. вполне удовлетворяют вышеуказанному требованию. Нанесение темного или черного металлического слоя может быть осуществлено и другими способами, например реактивным распылением металлов в среде аргона и кислорода. Однако если этот процесс проводить при термическом испарении, когда скорость подлета части к подложке мала, то слой получается рыхлым, с плохим сцеплением со стеклом. Поэтому процесс реактивного распыления следует проводить катодно-реактивным или магнетронным распылением, когда частицы металла движутся в ионизированном состоянии и подлетают к подложке с большими скоростями. Для напыления тонкого подслоя производительность этих процессов будет вполне достаточной. Темный неотражающий подслой может быть нанесен также центрифугированием суспензии на основе ПВС мелкозернистого порошка с размером частиц до 2-3 мкм. Но материал порошка должен быть подобран так, чтобы при температуре 400^оС он располагался с образованием темного окисла, хорошо сцепляющегося с подложкой. Этим требованиям хорошо удовлетворяет, например, порошок углекислого марганца. Процентное содержание бихромата аммония в суспензии данного порошка должно быть выше, чем в суспензии для нанесения точек. Толщина подслоя должна обеспечивать хорошую укрываемость. Предложенный способ изготовления мишени бистабильной бессеточной запоминающей ЭЛТ со сферическим экраном был отработан на приборе 51ЛН1Н, который имеет прямоугольный экран с радиусом внутренней поверхности 792 мм. В качестве порошкового материала для изготовления точек использовался люминофор типа КВ-520-3 со следующим гранулометрическим составом: а) массовая доля частиц с размером менее 4 мкм не более 10% б) массовая доля частиц с размером менее 10 мкм не менее 50% в) массовая доля частиц с размером менее 14 мкм не менее 95% Таким образом, основная масса частиц данного люминофора с размером 4-14 мкм, а средний размер частиц 6-8 мкм. Для получения частиц с другим средним размером проводилось фракционирование данного люминофора методом седиментации. Мелкая фракция получилась со средним размером около 4 мкм, крупная со средним размером около 10 мкм. Частицы со средним размером 4 мкм получились также в результате помола исходного люминофора. Состав суспензии был следующий: 150 г 11%-ного раствора ПВС, 150 г воды, 80-150 г люминофора, 100 мг бихромата аммония. В другом варианте состава суспензии бихромата аммония на 150 г 11%-ного раствора ПВС было взято 700 мг. Эти значения бихромата аммония соответствуют очувствлению люминофорной и кобальтовой суспензий в производстве прибора 51ЛН1Н. Окончательно был подобран состав, в котором на 150 г 11%-ного раствора ПВС приходилось 350 мг бихромата аммония. Количество люминофора в суспензии бралось в соответствии с размером зерна. Для мелкой фракции оно составляло 80 г, что при заданных условиях центрифугирования давало толщину слоя 5-7 мкм, для крупной фракции ≈ 150 г, что давало толщину около 20 мкм. При использовании нефрационированного люминофора использовалась навеска 130-140 г. Различное процентное содержание бихромата аммония в суспензии приводило соответственно и к различному времени экспонирования для получения заданного размера точки. Технологическое оборудование (центрифуги, установки фотоэкспонирования, установки проявления) и режим его работы были использованы те, которые используются в производстве прибора 51ЛН1Н. Сферическая маска, входящая в состав устройства, имеет шаг 200 мкм. Устройство позволяет в широких пределах устанавливать зазор между маской и экраном и легко смещать экран относительно маски путем прокладки спейсеров заданной толщины между двумя наружными бортами экрана и колонками, в которые они упираются (фиг.2). Величина зазора при экспонировании без смещения устанавливалась в пределах 0,2-2 мм, в отдельных случаях до 4-5 мм, но при большей величине зазора точки начинали сращиваться. Наиболее удобной для эксплуатации оказалась величина зазора 0,6 мм, при которой экспонировалась основная масса экранов как без смещения, так и со смещением. В последнем случае при величине зазора менее 0,4 мм получалась заметная неравномерность в размерах точек. Размер точки задавался временем экспонирования при постоянной величине светового потока и контролировался на микроскопе типа МССО. При экспонировании экранов снаружи (фиг.3) на подставке в виде рамы укладывалась мотаная вольфрамовая сетка, которая за счет тяжести экрана достаточно плотно облегала его наружную поверхность. Возможность получения предложенным способом коллекторного электрода в виде металлической сетки была опробована при использовании вольфрамовой сетки с шагом 500 мкм и толщине прутка 20 мкм. Но в производстве запоминающих ЭЛТ используются также мотаные вольфрамовые сетки с шагом 230 мкм и прозрачностью 75-80% которые для увеличения толщины прутка заращиваются никелем. Поэтому для получения требуемого шага и размера точек вполне подходит такая сетка, зарощенная до прозрачности 40-65% Напыление алюминия с подслоем никеля осуществлялось в одной установке за один процесс. Из одного испарителя напылялся слой никеля, из другого слой алюминия. Напыление хрома проводилось в отдельной установке. После отжига и проявления экранов осуществлялся визуальный контроль качества металлического покрытия и замер величины светопропускания, которая показывает величину площади свободной от металла поверхности. Светопропускание исходного стекла экрана составляло 72% В качестве рабочего люминофора использовались различные партии люминофора КВ 520-3, несколько отличающиеся по гранулометрии и величине удельного сопротивления в пределах 10¹²-10¹⁶ Ом^.см. Нанесение люминофора осуществлялось центрифугированием. Состав суспензии соответствовал вышеуказанному для порошковых точек с содержанием бихромата аммония 100 мг на 150 мг ПВС. Фотоэкспонирование осуществлялось с наружной стороны экрана через отверстия (окна) в коллекторном электроде. В таблице для конкретных номеров экранов указаны параметры технологического процесса изготовления мишени в соответствии с данной заявкой. Для тех экранов, которые дальше были запущены в приборы, указаны основные параметры прибора. Для сравнения в той же таблице указаны нормы на эти параметры для прибора 51ЛН1Н. Из таблицы видно, что для экранов, которые выполнены в соответствии с изобретением, получаются значительно больший контраст, меньшая ширина линии записи и яркость не ниже нормы.

Формула изобретения

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИШЕНИ БИСТАБИЛЬНОЙ БЕССЕТОЧНОЙ ЗАПОМИНАЮЩЕЙ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ТРУБКИ, включающий вакуумное напыление на внутреннюю поверхность передней панели непрозрачного проводящего металлического покрытия, формирование в нем периодически расположенных окон круглой или квадратной формы формирование люминофорных точек в окнах методом фотопечати, отличающийся тем, что, с целью повышения контраста, информационной емкости и снижения трудоемкости при изготовлении мишени на передней панели сферической формы, в качестве непрозрачного проводящего металлического покрытия используют слой алюминия с подслоем никеля или хрома общей толщиной 0,2 0,6 мкм и толщиной подслоя, составляющей 10-50% от общей толщины, перед вакуумным наполнением непрозрачного проводящего металлического покрытия на внутреннюю поверхность передней панели методом фотопечати наносят порошковые точки из неметаллического порошка со средним размером частиц 4-8 мкм, химического стойкого при температуре 440-460^oС, порошковые точки круглой формы получают фотоэкспонированием с внутренней стороны передней планшайбы через сферическую маску-шаблон, размер этих точек задают в пределах 0,75 0,9 шага маски или 0,5 0,7 шага маски, но при этом проводят двукратное фотоэкспонирование со смещением перед вторым экспонированием передней панели относительно маски в диагональном направлении на величину 0,7 0,15 шага маски при величине зазора между маской и передней панелью не менее удвоенного значения шага маски, порошковые точки квадратной формы получают при фотоэкспонировании с наружной стороны передней панели через плотно прижатую мелкоструктурную сетку прозрачностью 40 65% размер порошковых точек квадратной формы задают в пределах 0,7 0,8 шага сетки, после напыления непрозрачного проводящего металлического покрытия производят его отжиг и одновременно выжигание органики из порошковых точек, а затем их удаление пульверизованной струей воды, размер люминофорной точки задают на 15 30 мкм большим размера окна.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7

MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе

Номер и год публикации бюллетеня: 29-2000

Извещение опубликовано: 20.10.2000        

---