Устройство для определения величины внутреннего трения дисков

Авторы патента:

G01N3/32 - путем приложения повторяющихся или пульсирующих усилий (создание таких усилий вообще, - см. такие классы, как B06,G10 )

G01N19/08 - обнаружение локальных дефектов или нерегулярностей в материале (измерение шероховатости или неровности поверхности G01B 5/28)

Назначение: неразрушающий контроль дисков, например кремниевых, методом внутреннего трения. Сущность изобретения: в устройстве для определения внутреннего трения, содержащем систему электростатического возбуждения и приема упругих колебаний диска (1), последний закрепляется в центре с помощью точечной электропроводящей опоры (5) и пружинного зажима (4) с конусным наконечником, поджимающего диск к опоре. Такое закрепление обеспечивает возможность перехода с одной частоты возбуждения на другую на низших соседних гармониках без изменения места закрепления и исключение приборных потерь. 1 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я)л G 01 N 19/08, 3/32

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4866246/28 (22) 02.07.90 (46) 23,04.93. Бюл. N 15 (71) Киевский государственный университет им.Т.Г.Шевченко (72) П.А»Максимюк, Н.Н.Новиков и В.А,Глей (56) Баранов В.М, Onределение константупругости материалов, имеющих форму диска.

Заводская лаборатория, 1972, N. 9, с.11201122.

Вогбоп! P.Y. ets. Relaxatlon of

dislocation in copper. вЂ” Nuova cimento, 1959, ч.14, р. 273-302. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ

ВЕЛИЧИНЫ ВНУТРЕННЕГО ТРЕНИЯ ДИСКОВ

„„5U„„1810798 Al (57) Назначение: неразрушающий контроль дисков, например кремниевых, методом внутреннего трения. Сущность изобретения: в устройстве для определения внутреннего трения, содержащем систему электростатического возбуждения и приема упругих колебаний диска (1), последний закрепляется в центре с помощью точечной электропроводящей опоры (5) и пружинного зажима (4) с конусным наконечником, поджимающего диск к опоре. Такое закрепление обеспечивает возможность перехода с одной частоты возбуждения на другую на низших соседних гармониках без изменения места закрепления и исключение приборных потерь, 1 ил.

1810798 го сигнал в заданном интервале амплитуд, определяются частота собственных колебаСоставитель Н.Новиков

Техред М,Моргентал Корректор С.Пекарь

Редактор Т.Иванова

Заказ 1442 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Изобретение относится к области микрорвдиоэлектроники, в частности, производству интегральных схем и их неразрушающему пооперационному контролю.

Цель изобретения состоит в увеличении точности и снижении трудоемкости испытаний пууем выполнения дифференциальных измерений на разных частотах при возможности экспрессной замены дисковых образцов.

На чертеже представлено предлагаемое устройство, Устройство содержит образец (диск) 1, емкостный датчик возбуждения и приема колебаний 2, корпус 3 держателя образцов, пружинный зажим 4 с конусным наконечником, точечную электропроводящую опору 5, .Образец зажат между зажимом 4 и опорой 5 и через опору и корпус заземлен, Высокочастотный сигнал, возбуждающий колебания диска, подается на емкостной датчик возбуждения и приема колебаний 2 от генератора ГЗ-4А. Анализ возбужденных в диске упругих колебаний производится с помощью приборов: измерителя девиации частоты СК3-46, частотомера Ч3-54 и осциллографа С1-74.

Устройство работает следующим образом.

Высокочастотный сигнал от генератора

ГЗ-4А подается на датчик возбуждения 2 и исследуемый диск 1, возбуждая в нем при совпадении его частоты с собственной частотой колебаний диска резонансные упругие собственные колебания. При этом изменяется являющаяся частью емкости колебательного контура емкость конденсатора, в качестве одной из обкладок которого используется диск, а второй вЂ” датчик возбуждения и приема колебаний. Модулированное колебаниями диска напряжение генератора поступает на измеритель девиации частоты СК3-46, а затем на усилитель, где происходит выделение и усиление низкочастотной составляющей сигнала, Далее с помощью частотомера ЧЗ-54 осциллографа С1-74 и дискриминатора, пропускающений диска и логарифмические декременты затухания. Вакуумирование корпуса осуществляется до давлений не хуже 10 торр, так как уже при таком давлении отсутствует зависимость декремента затухания от степени разрежения.

Экспериментальная проверка эаявляе10 мого устройства показала, что она обеспечивает высокую точность при бесконтактном. экспрессном определении величин внутреннего трения в полупроводниковых дисках. На одно измерение с помощью

15 заявляемого устройства тратилось 2-3 мин при работе одного лаборанта. Например, на одном из дисков кремния диаметром 60 мм на первой гармонике (частота 832 + 1 Гц) величины декремента затухания составила

20 (6,0+ 0,3) 10, а на второй (частота 2069 + 1

Гц) вЂ” (2,1 + 0,1) 10 . Разность декрементов затухания составила 3,9 10 и была обусловлена наличием в образце ростовых уислокаций с плотностью около 2 10 см

Таким образом, использование заявляемого изобретения позволяет измерить величину внутреннего трения кремниевых дисков с точностью примерно в 100 раз большей, чем это до сих пор вообще пред30 ставлялось возможным. Такая точность и является необходимой для выполнения производственного контроля влияния различных физических факторов на заготовки изделий микроэлектроники.

Формула изобретения

Устройство для определения величины внутреннего трения дисков, содержащее систему электростатического возбуждения и приема упругих колебаний исследуемого

40 диска и держатель диска, о т л и ч а ю щ е ес я тем, что, с целью повышения точности и снижения трудоемкости испытаний, держатель выполнен в виде соосно установленных точечной электропроводящей опоры и пру45 жинного зажима с конусным наконечником, служащего для поджатия диска к опоре в его центре.

Изобретение относится к области испытательной техники и может быть использовано для определения усталостной прочности материалов при осевых нагружениях образцов растягивающими и сжимающими нагрузками

Способ испытания на усталость при знакопеременном кручении // 1810789

Изобретение относится к способам испытания на усталость при знакопеременном кручении

Способ определения момента образования усталостной трещины в металлах // 1810788

Изобретение относится к способам диагностики состояния металлоконструкции,в частности к определению момента образования трещин

Устройство для испытания теннисных мячей // 1807326

Устройство для испытаний гибких кабелей на циклический изгиб // 1805329

Изобретение относится к испытательной технике, в частности к устройствам для испытаний гибких кабелей на стойкость к циклическому изгибу с помощью концевых изгибающих моментов

Способ испытания образцов материала на двухосное растяжение и устройство для его осуществления // 1805328

Изобретение относится к испытатель ной технике, в частности к испытаниям образцов в виде диска с ободом на двухосное циклическое растяжение, и позволяет повысить информативность испытаний элементов тонкостенных конструкций,изготовленных из сплавов на основе алюминия и работающих в переходных режимах, путем учета влияния изменения вида напряженного состояния на долговечность элементов

Образец для усталостных испытаний материалов // 1805327

Изобретение относится к испытаниям материалов на прочность, а именно к образцам для усталостных испытаний

Способ испытания образцов на усталость и устройство для его осуществления // 1805326

Изобретение относится к испытаниям образцов на усталость и позволяет повысить точность при определении предела усталости путем обеспечения в процессе каждого нагружения постоянства амплитуды напряжений

Установка для испытания образца на прочность // 1803792

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к установкам для испытания образца на прочность

Установка для испытания образцов на усталость при изгибе // 1803791

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к установкам для испытания образцов на усталость при изгибе

Стенд для определения динамических характеристик прямоугольных железобетонных плит с дефектом в виде неплоскостности нижней грани // 1770800

Изобретение относится к испытательной технике, а именно к устройствам для динамических испытаний конструкций

Способ неразрушающего контроля изделий // 1725101

Изобретение относится к неразрушающему контролю изделий, работающих в режиме упругих колебаний, и может найти применение в приборостроении, особенно в радиотехнике и гидроакустике

Способ контроля качества прямоугольной железобетонной плиты с шарнирным опиранием по коротким сторонам // 1718052

Изобретение относится к контролю качества железобетонных плит

Способ определения дефектности древесных плит // 1677596

Изобретение относится к контролю качества изделий

Способ определения степени повреждения объекта // 1613935

Изобретение относится к неразрушающему контролю состояния объектов и обеспечивает упрощение осуществления способа в случае его использования для эксплуатационного контроля повреждения деревянных опор проводных линий

Способ определения направления волокнистой структуры // 1529911

Изобретение относится к материаловедению

Способ контроля дефектов деталей // 1522080

Изобретение относится к испытательной технике

Устройство для контроля эластичных полимерных материалов // 1411649

Способ создания усталостной трещины заданных размеров в образцах с надрезом // 1409884

Изобретение относится к области контроля качества металлов и сплавов при испытаниях на ударную вязкость

Способ определения структурных нарушений в конструкциях // 1377728

Изобретение относится к способам, предназначенным для определения структурных нарушений в конструкциях

Способ неразрушающей диагностики локальных коррозионных разрушений трубопроводов "in situ" // 2140628