Способ сборки многозондовой головки

 

Сущность изобретения: способ сборки многозондовой головки включает установку зондов на опорное кольцо, заливку их компаундом и отверждеииё компаунда, спомощью точечных источников ИК излучения, тепловые потоки которых направлены по осевой линии образующегося шва, перпендикулярно горизонтальной плоскости, а температура нагрева превышает рабочую температуру компаунда не менее, нем на 30°С, причем зондовую головку вращают в горизонтальной плоскости в течение всего цикла отверждения. 1 ил.

союз советских

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ.

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 . (21) 4931505/21 (22) 26.04.91 (46) 23.04.93. Бюл. М 15 . (71) Научно-исследовательский институт точной технологии (72) В.И.Башарин, B.A.Ìaêàpîà, С.В.Кисе. лев. И,В.Акифьев иААЛюбушкин (56) Лвторское свидетельство СССР

% 1374940, кл. 6 01 Я 1/06.

Устройство сборки контактных устройств ЭМ-967.1.2;245.005 ТО г. Минск, КБ .

Т3М, 1988.; (54) СПОСОБ СБОРКИ МНОГОЗОНДОВОЙ

ГОЛОВКИ

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использовано в производстве контак- . тирующих устройств с фиксированными . зондовыми контактами (УКФ) для измерения нагретых пластин с кристаллами интегральных схем.

Цель изобретения — повышейие надежности и.термостойкости многозондовых головок.

Изобретение иллюстрируется чертежом, где показана схема устройства сборки многозондовой головки (вид сбоку).

< На чертеже приняты следующие обозначения; 1 — зонд; 2 = корпус устройства сборки; 3 — шаблон ИС; 4 — опорное кольцо;

5- несущее кольцо; 6- источник ИК-излуче° ния; 7 — экран нагревательного элемента; 8 — заливочный компаунд.

Заявляемый способ многозондовой го.ловки иллюстрируется примерами его реализации при сборке УКФ-Т-150, где, Ы,, 1810831 А1 (5425 G 01 R 1/073

2 (57) Сущность изобретения: способ сборки многозондовой головки включает установку зондов на опорное кольцо, заливку их компаундом и отверждение компаунда, с помощью точечных источников ИК излучения, .тепловые потоки которых направлены по осевой линии образующегося шва, перпендикулярно. горизонтальной плоскости, а температура нагрева превышает рабочую температуру компаунда не менее, чем на

30 С, причем зондовую головку вращают в горизонтальной плоскости в течение всего цикла отверждения, 1 ил.

Г-термостойкость, 150 — предельная темпе- ф ратура эксплуатации;

Пример 1. Зонды.1, закрепленнйе в плоских держателях, устанавливают в корпусе устройства. сборки 2 так, чтобы загнутый конец зонда находился в глухом отверстйи шаблона ИС 3, сам зонд-над опорным кольцом 4 с зазором, обеспечива д ющим свободное протекание компаунда под остальные зонды.

Глухие отверстия шаблона 3 наколоты в С точном соответствии с топологией измеряе- 00 мого кристалла ИС, бд

После установки всех зондов на опор- а ное кольцо, поверх них мягко опускается несущее кольцо-плата 5, связанное тонким слоем эпоксидного компаунда, например

ВК-9. После 2-х часовой сушки при комнатной температуре зонды оказываются скреп-, ленными затвердевшим слоем компаунда между опорным и несущим кольцами.

В

1810831

Окончательная заливка температуро- Изменение температуры отверждения, стойким компаундом типа УП-504 произво- до 150ОС при сохранении той же скорости дится после предварительного разогрева, .вращения приводиткпоявлениюзластичносвободной поверхности опорного кольца До сти шва при изгибе на угол 90, что недопу60ОС от точечных источников ИК излучения 5 стима по условиям эксплуатации зондовых в течение 2-х минут при вращении узла со головок, скоростью — 120 об/мин. Пример 2, Все операции проводят.как

Это приводит к равномерному растека- в примере 1, только компаунд отверждают нию компаунда по поверхности опорного при температуре, превышающей оптималькольца и смачиванию зондов.. 10 ную длл данного компаунда.(180ОС) на 20Источники ИК-излучения 6 (кварцевые . ЗО С.. 8 этом случае полученный шов лампы типа КГМ 10в, 70Вт) расположены. становится слишком хрупким, подгорает и

- таким образом, что световой и тепловой по- наблюдается недопустимый уход зондовых токи. направлены перпендикулярно гори- контактов, возможно, от более сильной зонтальной плоскости по осевой линии 15 усадки компаунда. образующегося шва, причем расстояние ат .. Таким образом; .опытным путем устанити накала. лампы до поверхности Заливки новлена определенная зависимость темпе-; . составляет 15 мм..: . ратур отверждения.компаундов для заливки, Экран 7 позволяет получить направлен-.::зондов мнагазайдовых головок, работаю- ный поток ИК-излучения, контролируемой 20 щихприповышенныхтемпературах.по световому пятну m лампы 6 на поверх- Т гв = Tjas+3G С, ность заливки 8. где Тотв "температура отверждения, . С;

Следующий этап отверждения кампаун- Tpa5 температура эксплуатации C, да производится с соблюдением следующе..: Зта зависимость проверена для целого

ro режима: подьем температуры на 26 рядаклеевкампаундав:типаУП-5. поверхности опорного кольца ат 60 С да Испальзавание предлагаемого изабре100 С в течение ЗО минут при скорости ара- текил обеспечивает надежность идостоверщения 10 аб/мин; атверждение компаунда ность результатов контроля микросхем на при температуре 180 С в течение 4 часов и - пластинах при повышенных температурах, скорости вращения 120 аб/мин; охлажде- M чтоасваго:очередь приводитк повышению ние образовавшегося шва путем ступенча» працевта выхода годных микросхем в кортого снижения температуры са 180 С да . пусахвпрацессетермаиспйтаний.

ЗООС втечение.20 минут при 120 об/мин. Ф аряул:а из о б р ет:в н и я

Саасаб сборки мнагазандовай головки, ГОтОВая ЗОНдааая ГаЛаВКЕ СНИМавтая С 35 ВЮаЧаащИй УСтаНОВКу ЗаНдОВ На ОПОРНОЕ устройства сборки и передаетсядля распай- кольцо, йх фйксацию путем заливки компаки зондов на печатную плату, монтажа и ундаыиотверядйниекампаунда, î тл и ч араспайкинанесенныхзлементавнапаверх- е шийся тем; чта,.с целью повйшения ности несущего кольца-платы. надежности и термастайкости -мнагозондаКритерием термастойкасти палученна- 40 вай. голонки, отаерждение осуществляют c:; го шва является испытание имитатора зан- помощью точечных источников ИК-лучей,; дозой головки (без зондов) путем изгиба на тепловые и .световые патаки .которых на- угол 90 в диапазоне температур от 20 С до правлены па осевой:линии образующегося .150 С, шва перпендикулярна;. горизонтальной

Излом стекловидного шва должен быть 45 плоскости; причем: температура нагрева; хрупким. превышает рабочую температуру компаунМинимальная усадка 03-1,07 гаранти- да не менее,:чем на 30 С, а зондовую голо-: .. рует сохранение исходного положейия зан- вку вращают в горизонтальной плоскости в дов после затвердевания шва, гечение всего цикла отверждения.

1810831 ц" l с

si м

Составитель В.Макаров

Техред M.Моргентал .. Корректор С;Шекмар

Редактор Г.Бельская

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 1443 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5