Вакуумный затвор

Авторы патента:

C23C14/56 - устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия; приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы

Область использования: относится к вакуумной технике и может быть использовано в вакуумном технологическом оборудовании. Цель изобретения: упрощение конструкции вакуумного затвора, повышение надежности его работы. Сущность изобретения: вакуумный затвор состоит из корпуса с отверстием, фланца с уплотнением , соединенного с приводом возвратно-поступательного перемещения, на сопрягаемых поверхностях корпуса и фланца выполнены соответственно углубление и выступ цилиндрической формы, выступ выполнен из эластичного материала, на котором в верхней части закреплен цилиндрический диск, диаметр которого равен диаметру выступа, на выступе и диске выполнены продольные сквозные отверстия , оси которых параллельны оси выступа, а центры отверстий расположены на одной окружности. 2 ил. СО С

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)5 С 23 С 14/56 я. 4 т

;.д",Ь 1 F„H.А

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

1 (21) 4932149/21 (22) 20,03.91 (46) 30.04.93. Бюл. М 16 (71) Малое предприятие "ЭЛМАШ" (72) В.В. Буланкин. E,Н. Ивашов, А.С, Левый, С.М. Оринчев и С.В. Степанчиков (56) Патент США N 4008683, кл.118-491, 1977.

Авторское свидетельство СССР

ЬЬ 889742, кл. С 23 С 14/56, 1981. (54) ВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР (57) Область использования: относится к вакуумной технике и может быть использовано в вакуумном технологическом оборудовании, Цель изобретения: упрощение конструкции вакуумного затвора, повыИзобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в вакуумном технологическом оборудовании, Цель изобретения вЂ” упрощение конструкции затвора при повышении надежности

его работы.

На фиг.1 показан продольный разрез вакуумного затвора; на фиг.2 вЂ” разрез А-А на фиг.1, Вакуумный затвор {фиг.1) содержит корпус 1 с отверстием 2, фланец 3 с уплотнением 4, соединенный с приводом 5 возвратно-поступательного перемещения, На сопрягаемых поверхностях корпуса 1 и фланца 3 выполнены соответственно углубление 6 и выступ 7. Углубление 6 и выступ 7 выполнены цилиндрической формы, причем выступ 7- из эластичного материала, например резины, на котором в верхней части,. Ж„„1812244 А1 шение надежности его работы. Сущность изобретения: вакуумный затвор состоит из корпуса с отверстием, фланца с уплотнением, соединенного с приводом возвратно-поступательного перемещения, на сопрягаемых поверхностях корпуса и фланца выполнены соответственно углубление и выступ цилиндрической формы, выступ выполнен из эластичного материала, на котором в верхней части закреплен цилиндрический диск, диаметр которого равен диаметру выступа, на выступе и диске выполнены продольные сквозные отверстия, оси которых параллельны оси выступа, а центры отверстий расположены на одной окружности. 2 ил, закреплен цилиндрический диск 8, равный диаметру выступа 7. На выступе 7 и диске 8 выполнены продольные сквозные отверстия

9, оси которых параллельны оси выступа, а центры отверстий расположены на одной окружности(фиг.2). Выступ 7 и диск 8 жестко закреплены на валу 10 привода 5.

Вакуумный затвор работает следующим образом.

Под действием привода 5 выступ 7 начинает перемещаться и входит в углубление 6.

Затем происходит осевое сжатие выступа 7, при этом увеличивается радиальный габарит выступа. В результате возникает надежная герметизация. Усилие герметизации регулируется усилием самого привода 5 и диаметром сквозных отверстий 9, Чем больше их диаметр, тем меньше усилие герметизации и наоборот. К тому же через эти

1812244 отверстия выходит воздух, находящийся в углублении 6, тем самым в затворе не возникают."воздушные пробки".

Применение предлагаемого вакуумного затвора позволяет упростить конструкцию и повысить надежность его работы.

Устройство целесообразно использовать в экологически "чистом" технологическом оборудовании.

Формула изобретения

Вакуумный затвор, содержащий корпус с отверстием, фланец с уплотнением, соединенный с приводом возвратно-поступательного перемещения, на сопрягаемых поверхностях корпуса и фланца выполнены соответственно углубление и выступ, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью упрощения конструкции затвора, повышения надежности в работе, углубление и выступ имеют цилиндрическую форму, выступ выполнен из эластичного материала, на верхней части выступа установлен цилиндрический диск, 1О диаметр которого равен диаметру выступа, в диске и выступе выполнены сквозные отверстия, оси которых параллельны оси выступа, а центры отверстий расположены на одной окружности.

1812244

Составитель Е,Ивашов Техред M,Mîðãåíòàë Корректор С.Юско

Редактор

Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород. ул.Гагарина, 101

Заказ 1561 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5 .

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для автоматического шлюзования изделий, преимущественно плоской формы

Способ ионно-лучевого нанесения покрытий // 1802551

Изобретение относится к обработке изделий электрическими средствами и может быть использовано для нанесения тонких покрытий в вакуумно-плазменной технологии микроэлектроники

Протяженный электродуговой испаритель металлов // 1802550

Изобретение относится к технике нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано для получения многослойных металлических пленок на металлах и диэлектриках

Устройство для обработки изделий в вакууме // 1737935

Устройство для загрузки и выгрузки изделий в вакуум // 1663962

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 1652377

Устройство для загрузки изделий в вакуум // 1543874

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для шлюзовой загрузки изделий в вакуумную камеру

Вакуумный затвор // 1482978

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в вакуумном технологическом оборудовании

Устройство для нанесения покрытий в вакууме // 1427881

Изобретение относится к технике производства пленочных покрытий

Способ непрерывного контроля толщины покрытий при их напылении и устройство для его осуществления // 1415041

Изобретение относится к средствам наблюдения за процессом нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении, приборостроении и электронной промьшшенности для ко.нтроля толщины покрытий

Способ импульсно-периодической ионной и плазменной обработки изделия и устройство для его осуществления // 2113538

Система для обработки полупроводникового изделия (варианты), встроенный геттерный насос и способ обработки полупроводникового изделия // 2125619

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия

Приспособление для использования в установке для нанесения на детали покрытий, приспособление модульного типа, установка для нанесения покрытий на детали и способ нанесения покрытий // 2161075

Установка для нанесения покрытий на ленту // 2167955

Изобретение относится к области нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Способ получения многослойной ленты и устройство для его осуществления // 2180365

Изобретение относится к технологии вакуумно-дуговой обработки металлов, в частности к производству многослойных лент

Способ получения прозрачной электропроводящей пленки на основе оксидов индия и олова // 2181389

Изобретение относится к изготовлению приборов оптоэлектроники и может быть использовано при изготовлении дисплеев, светоизлучающих диодов и затворов полупроводниковых структур типа металл-диэлектрик-полупроводник

Способ получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги и устройство для его осуществления // 2194087

Изобретение относится к области изготовления самонесущих тонких пленок, в частности, к способам и устройствам для получения бериллиевой и бериллийсодержащей фольги, используемых для окон при регистрации низкоэнергетических излучений, и может найти применение в прикладной физике, машиностроении, при обработке металлов и в других отраслях промышленности

Устройство для загрузки и/или выгрузки емкостей // 2198835

Изобретение относится к промышленному транспорту, в частности к устройству для непрерывной загрузки емкостей, например пластиковых бутылок

Установка для нанесения покрытий на широкую ленту // 2203979

Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Геттерная система для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы // 2211882

Изобретение относится к геттерной системе для очистки газовой рабочей атмосферы в процессах физического осаждения из паровой фазы