Способ записи интерферограмм объектов в виде линз и объективов

 

Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля волновых аберраций положительных линз и объективов и может найти применение в производстве, занятом их изготовлением. Сущность: освещают диффузный рассеиватель когерентным излучением, формируют в плоскости светочувствительной среды с помощью контролируемого обьекта с заданным значением f фокусного расстояния изображение рассеивателя, записывают на светочувствительной среде спеклограммы изображения рассеивателя, осуществляют повторную запись спеклограммы после смещения контролируемого обьекта в его главной плоскости, освещают двукратно экспонированную спеклограмму когерентной волной и регистрируют интерферограмму контроля в дальней зоне дифракции при проведении пространственной фильтрации, причем диффузный рассеиватель освещают сходящейся сферической волной с радиусом кривизны в его плоскости R Ii2/(h+l2). где И, 12 - соответственно расстояния OTL главной плоскости контролируемого объекта до рассеивателя и светочувствительной среды, а перед повторной записью спеклограммы дополнительно смещают рассеиватель в направлении смещения контролируемого обьекта на величину, удовлетворяющую соотношению b , где а - величина смещения контролируемого обьекта 1 ил. (Л С

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

> -ÞÞÙ и

Ь.

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4947183/25 (22) 19.06.91 (46) 30.06.93. Бюл. М 24 (71) Сибирский физико-технический институт им. В,Д.Кузнецова и ри Томском государственном университете им. Куйбышева (72) В,Г,Гусев (56) Гусев В.Г, Оптика атмосферы, 1990, т. 3, N. 10. с, 1034 — 1044.

Гусев В.Г„Баландин С.Ф, Оптико-механическая промышленность 1985. N 6, с, 40 — 43. (54) СПОСОБ ЗАПИСИ ИНТЕРФЕРОГРАММ ОБЪЕКТОВ В ВИДЕ ЛИНЗ И ОБЪЕКТИВОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля волновых аберраций положительных линз и объективов и может найти применение в производстве. занятом их изготовлением.

Сущность: освещают диффузный рассеива- . тель когерентным излучением, формируют в плоскости светочувствительной среды с помощью контролируемого объекта с заданИзобретение относится к измерительной технике, предназначено для контроля волновых аберраций положительных линз и объективов и может найти применение в производстве, занятом их изготовлением.

Цель изобретения — повышение чувствительности контроля.

На чертеже изображена схема устройства, реализующего изобретение. Устройство содержит когерентный источник 1, линзы 2, 3, матовое стекло 4 с механизмом его перемещения 5, узел крепления контролируемо Ы, 1824518 А1 (5 )5 G 01 В9/025G О1 M 11/02 ным значением f фокусного расстояния иэображение рассеивателя, записывают на светочувствительной среде спеклограммы изображения рассеивателя, осуществляют повторную запись спеклограммы после смещения контролируемого обьекта в его главной плоскости, освещают двукратно зкспонированную спеклограмму когерентной волной и регистрируют интерферограмму контроля в дальней зоне дифракции при проведении пространственной фильтрации, причем диффузный рассеиватель освещают сходящейся сферической волной с радиуСОМ КРИВИЗНЫ В ЕГО ПЛОСКОСти R = ll /(Ii+12), 2 где I>, I2 — соответственно расстояния от главной плоскости контролируемого объекта до рассеивателя и светочувствительной среды. а перед повторной записью спеклограммы дополнительно смещают рассеивател ь в направлении смещения контролируемого объекта на величину, удовлетворяющую соотношению Ь = attjf, где а — величина смещения контролируемого объекта. 1 ил, ro объекта 6 с его механизмом его перемещения, фотопластинку 8.

Изобретение осуществляется следующим образом. Когерентный пучок излучения от источника 1 с помощью линз 2, 3 трансформируется в сходящуюся сферическую волну освещения матового стекла 4 с радиусом кривизны в его плоскости R

-11 /(11+!2), где11, I2- соответственно рассто2 яния от главной плоскости контролируемой линзы в узле крепления бдо матового стекла

4 и фотопластинки 8, в и locKQGTLl которой строится изображение матового стекла 4.

1824518

Составитель В.Гусев

Техред М.Моргентал

Редактор

Корректор В.Петраш

Заказ 2220 Тираж Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при I КНТ СГСР

113035. Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г Ужгород. yn l, ; » t,t 101

На фотопластинке 8 проводится запись спеклограммы за время первой экспозиции.

Перед второй экспозицией с помощью механизмов перемещения 5, 7 смещают в одном направлении перпендикулярно 5 оптической оси матовое стекло 4 и узел крепления контролируемого объекта 6 согласно соотношению Ь = al1/f, где а — величина смещения узла крепления контролируемого объекта 6, с фокусным расстоянием f, Ь— величина смещения матового стекла 4. Причем а f +11

< D/2, где D — диаметр зрачка контролируемого объекта. Записанную таким образом двухэкспозиционную спеклограмму освещают плоской когерентной волной и регистрируют интерферограмму контроля волновых аберраций в дальней зоне дифракции при проведении пространственной фильтрации, например, в фокальной плоскости объектива с малой апертурной диафрагмой. Если центр апертурной диафрагмы совпадает с оптической осью, то отфильтровывается интерферограмма бокового сдвига в полосах бесконечной ширины, характеризующая основные волновые аберрации контролируемой линзы. Смещение центра апертурной диафрагмы по направлению оси перемещения матового стекла 4 и узла крепления контролируемого объекта 6 позволяет отфильтровывать интерференционную картину, характеризующую сочетание осевых и внеосевых волновых. аберраций, Формула изобретения

Способ записи интерферограмм объектов в виде линз и обьективов, включающий освещение диффузного рассеивателя когерентным излучением, формирование в плоскости светочувствительной среды с помощью контролируемого объекта с заданным значением f фокусного расстояния иэо.— бражения рассеивателя, запись на светочувствительной среде спеклограммы иэображения рассеивателя, повторную запись спеклограммы после смещения контролируемого объекта в его главной плоскости, освещение двукратно экспонированной спеклограммы когерентной волной и регистрацию интерферограммы контроля в дальней зоне дифракции при проведении пространственной фильтрации, отличающийся тем, что, с целбю увеличения чувствительности контроля, диффузный рассеиватель освещают сферической волной с радиусом кривизны в его плоскости R = Ii /(I<+12), где

I>, Iz — ссответственно расстояния от главной плоскости контролируемого объекта до рассеивателя и светочувствительной среды, а перед повторной записью спеклограммы дополнительно смещают рассеивэтель в направлении смещения контролируемого объекта на величину, удовлетворяющую соотношению Ь = а /f, где а вели <ина смещения контролируемого объекта.