Устройство для гидромеханической отмывки и центробежной сушки пластин

 

Использование: в микроэлектронике, в частности к устройствах для очистки и отмывки пластин. Сущность изобретения: устройство содержит центрифугу с приводом вращения и столиком, узел подачи моющей жидкости, щетку с приводом вращения вокруг собственной оси и приводом возвратнопоступательного перемещения, блок размещения пластин на рабочей позиции. Блок размещения обрабатываемых пластин выполнен в виде установленного на столике перпендикулярно плоскости его вращения кольца и на его внутренней поверхности усеченных неправильных шестигранных пирамид . Основания каждой пирамиды выполнены параллельно плоскости столика, три боковые грани обращены к внутренней поверхности и выполнены под прямым углом к основанию, а противолежащая упомянутая грань обращена к центру столика, выполнена наклонной под острым углом к основанию и имеет гнездо для размещения пластин. 6 ил. тройства. При этом в данном изобретении должно быть обеспечено достижение следующих технических результатов. Обеспечение возможности осуществлять гидромеханическую отмывку и центробежную сушку пластин в одном рабочем объеме. Уменьшение числа технологических операций , а также затрат времени на транспортировку пластин между операциями. Повышение процента выхода годных за счет устранения повреждений при транспортисо с 00 со N VI ю со

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (я; В 08 В 3/10, 1/00

ГОСУДАРСТВЕННОЕ ПАТЕНТНОЕ

ВЕДОМСТВО СССР (ГОСПАТЕНТ СССР) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ПАТЕНТУ

I!:

О (21) 5012965/12 (22) 22.11.91 (46) 15.08.93. Бюл. № 30 (71) Воронежский опытный завод микроэлектроники "РИФ" (72) А.С.Иванов, M.М.Валентинов, В.Г.Недоспасов, А.И.Нестеров, В.Д.Панов и

Г, Н.Левшин (73) Воронежский опытный завод микроэлектроники "РИФ" (56) Борисенко А.С. и др. Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств. M.: Машиностроение, 1983, с.129 — 131.

Березин М,И. Оборудование и технология очистки деталей. и узлов. Обзоры по электронной технике. Вып.24, М,, ЦНИИ" Электроника", 1970, с.35 — 37.

Устройство для водной промывки и сушки полупроводниковых пластин, заявка Японии ¹ 63-17.224, кл. Н 01 1. 21/304, 1988.

Никифорова-Денисова С.Н. Механическая и химическая обработка, M.: "Высшая школа", 1989, с.53.

Устройство для очистки пластин. Авторское свидетельство СССР

1282925, кл. В 08 В 1/00, 1987.

Изобретение относится к оборудованию для электронной промышленности, а именно к оборудованию для гидромеханической очистки и центробежной сушки пластин, используемых в микроэлектронике в качестве подложек, например, пластин из стекла. керамики, полупроводников.

Задача, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, — повышение эффективности и качества обработки изделий при огэест|ечении компактности ус, Ы 1834719 АЗ (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ГИДРОМЕХАНИЧЕСКОЙ ОТМЫВКИ И ЦЕНТРОБЕЖНОЙ

СУШКИ ПЛАСТИН (57) Использование: в микроэлектронике, в частности к устройствах для очистки и отмывки пластин. Сущность изобретения: устройство содержит центрифугу с приводом вращения и столиком, узел подачи моющей жидкости, щетку с приводом вращения вокруг собственной оси и приводом возвратнопоступательного перемещения, блок размещения пластин на рабочей позиции.

Блок размещения обрабатываемых пластин выполнен в виде установленного на столике перпендикулярно плоскости его вращения кольца и на его внутренней поверхности усеченных неправильных шестигранных пирамид. Основания каждой пирамиды выполнены параллельно плоскости столика, три боковые грани обращены к внутренней поверхности и выполнены под прямым углом к основанию, а противолежащая упомянутая грань обращена к центру столика, выполнена наклонной под острым углом к основанию и имеет гнездо для размещения пластин. 6 ил. тройства. При этом в данном изобретении должно быть обеспечено достижение следующих технических результатов. Обеспечение возможности осуществлять гидромеханическую отмывку и центробежную сушку пластин в одном рабочем объеме.

Уменьшение числа технологических операций, а также затрат времени на транспортировку пластин между операциями.

Повышение процента выхода годных эа счет устранения повреждений при транспорти1834719 ровке, Одновременно с повышением качества обработки повышение производительности устройства при обеспечении компактности его конструкции.

Предлагается устройство для гидромеханической отмывки и центробежной сушки пластин, содержащее центрифугу с приводом вращения и столиком, узел подачи моющей жидкости и щетку с приводами ее перемещения, блок размещения обрабаты- 10 ваемых пластин на рабочей позиции, выполненным в виде установленного на столике перпендикулярно плоскости его вращения кольца и размещенных на ега внутренней поверхности усеченных неправильных шестигранных пирамид, в каждой из которых основания выполнены параллельными плоскости столика, три боковые грани обращены к внутренней поверхности кольца и выполнены пад прямым углом к основанию, а противолежащая упомянутым боковая грань обращена к центру столика, выполнена наклонной под острым углом к основанию и имеет гнездо для размещения пластины, 25

Повышение технических результатов

55 данное изобретение обеспечивает за счет того, что устройство снабжено блоком для размещения обрабатываемых пластин на рабочей позиции, выполненным в виде установленного на столике перпендикулярно плоскости его вращения кольца и размещенных на его внутренней поверхности усеченных неправильных шестигранных пирамид, в каждой из которых основания выполнены параллельными плоскости столика, три боковые грани обращены к внутренней поверхности кольца и выполнены пад прямым углом к основанию, а противолежащая упомянутым боковая грань обращены к центру столика, i выполнена наклонной пад острым углом к основанию и имеет гнЕздо для размещения пластин.

На фиг,1 изображено устройство для гидромеханической отмывки и центробежной сушки пластин, общий вид (в разрезе); на фиг.2 — общий вид устройства для гидромеханической отмывки и центробежной сушки пластин в аксонометрии; на фиг.3— сечение блока для обрабатываемых пластин; на фиг.4 — держатель пластин (аксонометрия); на фиг.5 и 6 — разновидности выполнения держателей пластин.

Предлагаемое устройство содержит (см.фиг.1, 2) центрифугу 1 с приводом 2 вращения и столиком 3. узел 4 подачи моющей жидкости, щетку 5 с приводом 6 вращения вокруг собственной оси и приводом 7 возвратно-поступательного перемещения, 35

50 блок 8 размещения обрабатываемых пластин 9 на рабочей позиции.

Блок 8 выполнен в виде кольца 10, установленного на столике 3 перпендик лярно плоскости его вращения и закрепленных на внутренней его поверхности держателя 11 пластин 9, выполненных в виде усеченных неправильных шестигранных пирамид (см.фиг.2, 3), В каждой усеченной пирамиде (см.фиг.3) основания 12 и 13 выполнены в виде неправильных шестиугольников, параллельных плоскости столика 3; три боковые грани 14, 15 и 16 пирамиды выполнены пад прямым углом к основанию 12 и обращены к внутренней поверхности кольца 10; а противолежащая этим граням боковая грань 17 выполнена наклонной.под острым углом Р (см.фиг.3), основанию 12, обращена к центру столика 3 и имеет гнезд 18 для. размещения пластины 9 (см.фиг.3); при этом ребра 19, образованные пересечением оснований и смежных боковых граней 20 рядом расположенных пирамид„выполнены в виде отрезков радиусов, проведенных из центра столика 3 к точкам ега окружности.

Другие варианты выпалнения конфигурации держателя показаны на чертежах— фиг,4, 5. Отличие вариантов форм держателей состоит в выполнении той поверхности усеченной неправильной пирамиды, которая обращена к внешней поверхности кольца. Эта поверхность может быть выполнена в виде совокупности любого числа граней (см.фиг.4), причем поверхность этой совокупности граней стремится принять форму части цилиндрической поверхности (см.фиг.5).

Работа предлагаемого устройства осуществляется следующим образом.

Пластины 9 загружают в блок 8 (см.фиг.1, 2). При этом каждая пластина 9 устанавливается в гнезде 18 (см.фиг.3, 4) держателя t1 в наклонном положении (см,фиг.3). На щетинки щетки 5 подают дозу моющего средства (дозатор не показан).

Включают привод 2 вращения центрифуги.

Затем включают привод 6 вращения щетки

5 и приводят ее в рабочее положение, для чего с помощью привода 7 перемещают щетку 5 в такое положение, чтобы ее щетинки касались пластины 9.

При этом вращается столик 3, приводя в движение блок 8 с размещенными s нем (в гнездах 18 держателей 11) пластинами 9 (см.фиг.1, 2). Совершая вращение по кругу, блок 8 позволяет вращающейся вокруг собственной оси щетке 5 взаимодействовать поочередно с каждой пластиной, что обеспечивает равномерную очистку каждой пла1834719 стины, Затем отводят щетку 5 от пластин и через узел 4 подают деиониэованную воду, осуществляя отмывку пластин.

Наклон Р (см,фиг,3) боковой грани 17 держателя 11 с расположенным в ней гнеэ- 5 дом обеспечивает соблюдение необходимого. для качественной отмывки принцип

"бесконечногб разбавления", при котором чистая вода не смешивается с загрязненной. Капли воды, стекая с пластины, уносят 10 загрязнения. При этом пластины непрерывно омываются свежей, чистой водой, а загрязненная вода стекает вниз и через канал

21 удаляется из зоны обработки пластин.

По истечении времени отмывки отклю- 15 чают подачу моющей жидкости и осуществляют операцию центробежной сушки пластин при включенном приводе 2 центрифуги 1.

B процессе сушки воздух в рабочем абъ- 20 еме движется по спирали, захватывая слетающие под воздействием центробежных сил капли жидкости с пластин. Поскольку имеется отдельный отсас пылинок (не показан), предотвращается их налипание на осушае- 25 мые пластины. По окончании времени сушки привод 2 центрифуги 1 выключают и пластины 9 из держателей 11 выгружают в кассеты (не показаны). Затем осуществляют загрузку следующей партии пластин и про- 30 цесс повторяется.

Преимуществами предлагаемого устройства для гидромеханической отмывки и центробежной сушки пластин являются сле- 35 дующие.

Повышена качество обработки пластин, обеспечиваемое конструктивным выполнением устройства, позволившего осуществ40 лять гидромеханическую отмывку и центробежную сушку пластин в одном рабочем объеме. При этом уменьшается число технологических операций, а также затраты времени на транспортировку пластин между операциями, что позволяет повысить выход годных эа счет устранения повреждений при транспортировке и сделать оборудование компактным. Одновременно с повышением качества обработки предлагаемая конструкция обеспечивает повышение производительности устройства за счет увеличения в 14 раз числа одновременно обрабатываемых пластин, Наличие этих преимуществ говорит о высокой эффективности предлагаемого устройства.

Формула изобретения

Устройство для гидромеханической отмывки и центробежной сушки пластин, содержащее центрифугу с и риеодом вращения и столиком, узел подачи моющей жидкости и щетку с приводами ее перемещения, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что оно снабжено блоком размещения обрабатываемых пластин на рабочей позиции, выполненным в виде установленного на столике перпендикулярно плоскости его вращения кольца и размещенных на его внутренней поверхности усеченных неправильных шестигранных пирамид, в,àæäîé из которых основания выполнены параллельными плоскости столика, три боковые грани обращены к внутренней поверхности кольца и выполнены под прямым углом к основанию, а противолежащая упомянутым боковая грань обращена к центру столика, выполнена наклонной под острым углом к основанию и имеет гнездо для размещения пластины.

1834719

1834719

1834719

Составитель А. Иванов

Гехред М.Моргентал Корректор М. Керецман

Редактор С. Кулакова

Производственно-издательский комбинат "Патент", г Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 2696 Тираж Г1одписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СГСР

113035. Москва, Ж-35. Раушская наб., 4/5