Прибор для измерения толщины напыляемой пленки
ОПИСАН И Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВЙДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик т
С", Ц
Зависимое от авт. свидетельства №
Заявлено 02.Х11.1965 (№ 1040691/25-28) с присоединением заявки №
Приоритет
Опубликовано 04.Ч.1967. Бюллетень № 10
Дата опубликования описания 11.VII.1967
/03
1Ь
Комитет по делам изобретений и открытиЯ при Совете Министров
СССР
717.1 (088.8) Авторы изобретения
В. И. Логунов, В. С. Воронин, M. Д. Казанский, В. Ф. Федотов, И. М. Сенатов и И. К. Зайцева
Заявитель
ПРИБОР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ НАПЫЛЯЕМОЙ ПЛЕНКИ
Известны приборы для измерения толщины напыляемой пленки, работающие с емкостным датчиком, содержащие мостовую схему формирования электрического сигнала, генератор, усилитель и индикаторное устройство.
Предлагаемый прибор отличается от известных наличием на выходе измерительного моста фазового детектора, подавляющего влияющую на точность измерения составляющую сигнала, пропорциональную приращению ак- 10 тивного сопротивления датчика, и схемы дифференцирования, дающей сигнал о величине скорости напыления, что позволяет уменьшить ошибку измерения в процессе напыления.
Это уменьшает ошибки измерения и позволяет измерять скорость напыления.
На чертеже изображена блок-схема прибора.
Датчик 1 включается в одно из плеч измерительного моста 2, который питается генера- 20 тором 3 колебаний. На выходе моста установлен усилитель 4, усиливающий сигнал разбаланса моста. Для детектирования сигнала разбаланса использован фазовый детектор 5.
Опорный сигнал на фазовый детектор по* 25 дается через фазовращатель б и усилитель 7.
На выходе фазового детектора установлен усилитель 8 постоянного тока, после которого сигнал поступает на микроамперметр 9 для индикации толщины пленки и схему 1О диф- 30 ференцирования для индикации скорости напыления.
Прибор работает следующим образом.
Перед напылением измерительный мост балансируется так, чтобы сигнал на выходе был равен нулю. Затем с помошью эталонного конденсатора производится разбаланс моста на заданную величину емкости, соответствующую требуемой толщине диэлектрика (определяется по градуировочному графику). Путем регулирования коэффициента усиления усилителя сигнал на выходе устанавливается такой величины, чтобы стрелка прибора отклонялась на всю шкалу.
После этого производится напыление. В процессе напыления емкость датчика увеличивается. Мост при этом приближается к состоянию равновесия (стрелка прибора движется к нулю). Момент равновесия моста соответсгвует напылению пленки заданной толщины.
Предмет изобретения
Приоор для измерения толщины напыляемой пленки, работающий с емкостным датчиком, содержащий мостовую схему формирования электрического сигнала, генератор, усилитель и индикаторное устройство, отличаюитийся тем, что, с целью уменьшения ошибки измерения и измерения скорости напыления, прибор снабжен на выходе измерительного
195650 я Ф", о и 44
Составитель Г. Ф. Корчагина
Редактор Б. С. Нанкина Техред Л. Бриккер Корректоры: Л. В. Наделяевй и Г. И. Плешакова
Заказ 2092Р Тираж 535 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр. Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, д. 2 моста фазовым детектором, подавляющим влияющую на точность измерения составляющую сигнала, пропдуциональную приращению т и активного сопротивления датчика, и схемой дифференцирования, дающей сигнал о величине скорости напыления.
