Электронный инжектор

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

l96 203

Союз Соевтоких

Социалиотичеоких

Реопублик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Кл. 218, 36

Заявлено 20.Х!.1965 (№ 1038370/26-25) с присоединением заявки №вЂ”

Приоритет

Опубликовано 30.Х.1968. Бюллетень № 34

Дата опубликования описания 6.111.1969

МПК Н 05h

УДК 621.384.66 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий прн Совете Ииииотров

СССР

Авторы изобретения

К. П. Рыбас, А. К. Дежнев и Б. Н, Телепаев

Заявитель

ЭЛЕКТРОННЫЙ ИНЖЕКТОР

Обычные применяемые электронные инжекторы, собранные вдоль единой прямой образующей, имеют электронную пушку, анод и систему фокусирующих электродов. Эти системы являются критичными IB условиях ионной бомбардировки. В целях предохранения катода от ионной бомбардировки, получения более мощных электронных пучков, а также использования электронных источников при работе с парами металла предложен новый электронный инжектор. Кроме того, он позволяет получать электронные пучки со значительно большим первеансом, чем обычные электронные пушки ти па Пирса.

На фиг. 1 предста влена принципиальная схема описываемого инжектора; на фиг. 2— его конструкция.

Схема инжектора представляет собой сочетание кольцевой электронной пушки и центробе>кпо-электростатической фокусирующей системы (ЦЭС). Кольцевая электронная пушка состоит из кольцевого катода 1, катодного электрода 2, анода >; ЦЭС вЂ” из внутреннего

4 и наружного 5 электродов. По верхности последних предста вляют собой тела вращения, образованные вращением дуг окружностей вокруг оси симметрии, которая является осью выходящего пучка. При этом диаметр внутреннего электрода за висит от необходимости получения трубочного или сплошного пучка.

В данном случае внутренний электрод имеет на выходе диаметр равный нулю и позволяет получить сплошной пучок. Диаметр внутреннего электрода на;выходе из ЦЭС может быть отличным от нуля, если нужно получить трубочный пучок.

Кольцевая электронная пушка создает кольце вой электронный пучок с углом расходимости я, направленный под углом к оси т0 симметрии у(90 . Центральная часть пучка (при а=О и весь пучок) входит в промежуток между электродами 4 и 5 с последующим его выходом из ЦЭС. Одновременно с этим электроды ЦЭС выполняют роль ионной ловушки

15 и предохраняют катод от попадания паров металла. С целью упрощения конструкции пушки и системы питания внутренний электрод 4 составляет единое целое с анодом 8 и находится под потенциалом анода. На внешний

20 электрод 5 подается регулируемый потенциал, более высокий по сра|внению с анодом. Изменением этого потенциала регулируется фокусировка пучка, а также, величина тока пуч|ка.

При определенном потенциале на внешнем

25 электроде пучок полностью запирается. Для сохранения неизменной фокусировки пучка при изменении тока пучка на выходе из инжектора установлены магнитный экран б и магнитная линза 7.

30 Инжектор имеет катод 8, катодпый элек196203 трод 9, анод 10, электроды ЦЭС П и 12, магнитный экран 18.

Кольцевойка о 8 крепится на изоляторе

14, Второй конец катода электрически соединяется с катодным электродом 9, состоящим из двук- Фмметричных кольцевых половин.

Обе половины катодного электрода механически и электрически составляют единое целое с катодом 8. Единый катод ный бло к крепится на трех изоляторах 15, с другой стороны на изоляторах крепится внешний электрод

ЦЭС 12, а сами изоляторы 15 закреплены на съемной кольцевой поло вине анода 10, концентричной с внутренним электродом 11. Последний и вторая половина avoca 10 соста вляют единое целое с кор пусо м lб. В него впаяны три электрон вода 17 для подачи напряжений на катод 8 и электроды 9 и 12. На ко рпусе lб имеются патрубок 18 для откачки и магнитный экран 18.

Предмет изобретения

1. Электронный инжектор, состоящий из катода, катодного электрода и анода, электростатической системы фокусировки, магнитной линзы, отличающийся тем, что, с целью увеличения первеанса электронного пучка, предохранения катода от ионной бомбарди5 ровки, катод выполнен:в виде кольца, ис пускающего поток электронов в радиальном направлении к центру кольца, а электростатическая система фокусировки состоит из двух аксиально-симметричных электродов, образо10 ванных вращением дуг окружности вокруг оси симметрии.

2. Инжектор по п. 1, отличающийся тем, что внутренний электрод может быть сплош15 ным телом вращения или же иметь отверстие, расположенное в плоскости, перпендикулярной образующей источника.

3. Инжектор по пп. 1 и 2, отличающийся

20 тем, что, с целью упрощения его электрического питания, внутренний электрод электростатической фокусирующей системы и анод подключены к общему источнику потенциала.

196203

Фиг, 2

Составитель Б, Попов

Редактор H. Джарагетти Техред Л. Я. Левина Корректор Н. И, Харламова

Заказ 232у3 Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д, 4

Типография, пр. Сапунова, 2