Оксидное стекло

 

О П И С А Н И Е 207363

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советскик

Социалистическик

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства №

Кл. 32Ь, 3/30

Заявлено 2111.1966 (№ 1056679 29-33) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 22.Х11.1967. Бюллетень ¹ 2

Дата опубликования описания 15.II.1968

МПК С 03с

i ÄÊ 666 117 1(088 8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете MMHHGTpos

СССР

Авторы изобретения

В. Г. Карпеченко, Л. А. Бальская, А. С. Довжик, Е. И. Васильева и О. В. Шелудько

Заявитс7b

ОКСИДНОЕ СТЕКЛО

Предмет изобретения

Настоящее изобретение относится к области изготовления стекол, предназначенных для создания пленочных конденсаторов, посредством термического испарения стекла в вакууме.

Известные неорганические бескислородныс (халькогенидные) стекла, предназначенные для этой цели, обладают диэлектрической проницаемостью (Е) от 6 до 8, но дальнейшее повышечие Е этих стекол ограничено из-за резкого понижения температуры размягчения, уменьшения электрического сопротивления и увеличения склонности к кристаллизации.

Предлагаемый состав оксидного стекла, включающий окислы геллура и сурьмы, отличаясь малокомпонентностью, позволяет повысить способность стекла к тсрмическому испарению в вакууме и его диэлектрическую проницаемость.

Достигается это тем, что указанное оксидное стекло содержит (в вес. сто): окисел теллура 70 — 82 и окисел сурьмы 18 — 30.

Такое стекло обеспечивает получение пленок толщиной 0,2 — 1,5 лл, диэлектрической проницаемостью и 1дб (при 20 С и 5 104 и1) соответственно 13) — 20 и 0,005 — 0,015, а удель5 ное сопротивление изоляции при этом равно

10т: ол сл.

Таким образом, описываемое стекло может быть рекомендовано для широкого использования в качестве диэлектрика конденсаторов

10 пленочных микросхем.

15 Оксидное стекло, включающее окислы теллура и сурьмы, ozëè÷àèùååñÿ тем, что, с целью повышения способности к термическому испарению в вакууме и повышения диэлектрической проницаемости, оно содержит указан20 ные компоненты (в вес. %): окисел теллура

70 — 82; окисел сурьмы 18 — 30.