Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Авторы патента:

C23C14/38 - с помощью тлеющего разряда постоянного тока

209942

О П И С А Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №вЂ”

Кл. 48b, 13/10

Заявлено 21 VI.1966 (№ 1084511/22-1) с присоединением заявки ¹â€”

МПК С 23с

УД К 621.793.14.002. .51 (088.8) ПриоритетвЂ”

Опубликовано 26.!.1968. Бюллетень № 5

Дата опубликования описания 14.Ш.1968

Комитет ло делам изобретений и открытий ори Совете Министров

СССР

С. И. Гриншпун, К. Т. Киршфельд, А. Л. Кокле, А. П Лацйс,"....,. 7.-. и П. Н. Озеров

Авторы изобретения

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ

Известно устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в которои расположен барабан с деталями, испаритель и электрод тлеющего разряда, откачную систему и бак электрооборудования.

В этом устройстве электрод тлеющего разряда и испаритель не взаимосвязаны, что усложняет конструкцию вакуумной камеры.

Предложенное устройство позволяет упростить конструкцию. Для этого электрод тлеющего разряда расположен под испарителем и служит одновременно поддоном-экраном, На чертеже представлено описываемое устройство.

Устройство состоит из вакуумной камеры 1, крышки 2, каретки 8, которая вместе с барабаном 4 может перекатываться иа транспортную тележку 5 для транспортировки на перезарядку; привода о для вращения в камере барабана во время напыления, защитного экрана 7 у входа патрубка откачной системы, плоскости электрода 8 тлеющего разряда, сменного испарителя 9 периодического действия и пульта управления 10.

Барабан 4 заряжают подготовленными для напаривания деталями и вкатывают с тележки 5 в камеру 1. Затем в камере закрепляют заряженный испаритель периодического действия, крышку камеры закрывают, и начинается

Ю процесс напаривания.

Предмет изобретения

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в ко15 торой расположен барабан с кассетами, испаритель, электрод тлеющего разряда, откачную систему и блок электрооборудования, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции, элекгрод тлеющего разряда

20 расположен под испарителем и служит одновременно поддоном-экраном.

209942

Редактор В. Н. Торопова

Заказ 482/12 Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Составитель Е. Кубасова

Техред Т. П. Курилко

Корректоры: С. П. Усова и Н. И. Быстрова

Устройство для нанесения покрытий в вакууме

Способ обработки поверхности длинномерных отверстий металлических изделий в тлеющем разряде // 2114211

Изобретение относится к машиностроению и может бить использовано при обработке поверхности посредством имплантации ионов реакционных газов в поверхность длинномерных отверстий металлических изделий на установках ионной имплантации для повышения их поверхностной твердости, коррозионной стойкости и иэносостойкости

Способ получения диффузионного алюминидного покрытия на изделии // 2164965

Изобретение относится к области машиностроения и металлургии и может быть использовано в авиационном и энергетическом газотурбиностроении для защиты пера лопаток турбин от высокотемпературного окисления и коррозии

Установка для нанесения защитных покрытий // 2187576

Изобретение относится к получению защитных покрытий на изделиях авиационной техники, преимущественно на деталях газотурбинных двигателей

Способ обработки поверхности металлического изделия // 2188251

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для модифицирования поверхности деталей машин

Деталь и способ нанесения теплоизоляционного покрытия на нее // 2194798

Изобретение относится к детали, в частности к лопатке газовой турбины, содержащей основную часть и расположенный на ней теплоизоляционный слой, который имеет столбчатую структуру с керамическими столбиками, которые в большинстве направлены в основном перпендикулярно поверхности основной части

Способ формирования покрытия из драгоценных металлов и их сплавов // 2214476

Изобретение относится к изготовлению покрытий из металлов на изделиях различного назначения и может быть использовано в электротехнической, радиотехнической, ювелирной и других отраслях промышленности

Установка для напыления покрытий // 2214477

Способ обработки поверхности металлического изделия // 2241067

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано для модифицирования поверхности деталей машин с целью повышения их служебных характеристик

Способ химико-термической обработки изделий из стали и сплавов // 2245939

Изобретение относится к металлургии, а именно к химико-термической обработке металлов и сплавов, в частности к ионному азотированию в плазме тлеющего разряда, и может быть использовано в машиностроении для поверхностного упрочнения деталей машин, в том числе деталей сложной конфигурации, режущего инструмента и штамповой оснастки