Ступень молекулярного насоса
Использование: в вакуумной технике. Сущность изобретения: в участке герметичного цилиндрического корпуса установлен ротор. На поверхности стопорных дисков, обращенных к ротору, выполнены криволинейные пазы, равномерно размещенные по поверхности относительно продольной оси ступени. 3 ил.
Изобретение относится к вакуумной технике.
Молекулярные вакуумные насосы представляют собой разновидность кинетических вакуумных насосов. Известны конструкции молекулярных насосов: цилиндрического типа со спиральными канавками вдоль поверхности ротора (насос Геде), цилиндрического типа со спиральными канавками вдоль поверхности ротора (насос Хольвека), дискового типа со спиральным каналом от внешнего диаметра к центру диска (насос Зигбана). Недостатком известных конструкций является точность сборки насоса и большие перетечки в проточных полостях. Известен молекулярный насос, имеющий в статоре набор цилиндрических каналов, входные и выходные отверстия в которых разделены перегородкой, а ротор вращается с большой скоростью, близкой к тепловой скорости молекул. Недостатком известной конструкции являются большие перетечки газа между ступенями через зазор между ротором и статором. Цель изобретения - уменьшение перетечек газа со стороны нагнетания на сторону всасывания. Это достигается тем, что в ступени молекулярного насоса, содержащей участок герметичного цилиндрического корпуса с установленным в нем ротором и статорными дисками, на поверхности статорных дисков, обращенных к ротору, выполнены криволинейные пазы, равномерно размещенные по поверхности диска. На фиг. 1 изображена предлагаемая ступень; на фиг. 2 - разрез А-А на фиг. 1; на фиг. 3 - разрез Б-Б на фиг. 1. Ступень состоит из статорных дисков 1 и 2, установленных в корпусе 3, и роторного диска 4 между ними. Диск 4 установлен на валу 5. Окно 6 всасывания расположено в диске 2, а нагнетательное окно 7 - в диске 1 на равном расстоянии от отсекателя 8. Молекулярная ступень работает следующим образом. Молекулы, попавшие в молекулярный канал через всасывающее окно 6 на статором диске 2, при взаимодействии с вращающимся диском 4 увлекаются по направлению к нагнетательному окну 7. При этом возможно перетекание газа через зазор между вращающимся диском и статорным диском (фиг. 1). Молекулы газа, попавшие в зазор, получают импульс от вращающегося диска (соударяясь с его торцовой поверхностью) и преимущественное направление движения в соответствии с нарезанными каналами 9 обратно в рабочий канал 10. Таким образом, уменьшается вероятность перехода молекул со стороны нагнетания на сторону всасывания.Формула изобретения
СТУПЕНЬ МОЛЕКУЛЯРНОГО НАСОСА, содержащая участок герметичного цилиндрического корпуса с установленным ротором и статорными дисками, отличающаяся тем, что на поверхности статорных дисков, обращенных к ротору, выполнены криволинейные пазы, равномерно размещенные по поверхности относительно продольной оси ступени.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3
Похожие патенты:
Молекулярный вакуумный насос // 2016255
Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено для работы различных откачных вакуумных средств, работающих на атмосферное давление
Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить экономичность и сократить время запуска турбомолекулярного вакуумного агрегата с аэростатическими опорами роторов (Р) турбомолекулярной и молекулярной ступеней (ТС и МС)
Турбомолекулярный вакуумный насос // 2014510
Вертикальный насос // 2005919
Турбомолекулярный вакуумный насос // 1839211
Турбомолекулярный форвакуумный насос // 1828950
Турбомолекулярный насос // 1810610
Турбомолекулярный вакуумный насос // 1807242
Комбинированный турбомолекулярный насос // 2105905
Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к турбомолекулярным насосам, использующимися для создания вакуума в различных технологических системах
Двухпоточный молекулярный вакуумный насос // 2107840
Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к молекулярным вакуумным насосам, использующимся для создания вакуума в различных технологических системах
Молекулярный вакуумный насос // 2168070
Геттерный насос // 2199027
Вакуумный газоротационный насос // 2237824
Изобретение относится к области вакуумной техники, в частности к механическим вакуумным насосам, и содержит цилиндрический корпус, разделенный поперечными статорными колесами, и ротор с набором роторных колес, выполненных в виде радиальных крыльчаток, закрытых с двух сторон дисками, причем один из дисков имеет центральное отверстие, совпадающее по диаметру с отверстием в статорном колесе, выполненном в виде диска с односторонним профилированным оребрением
Изделия с покрытием // 2413746
Изобретение относится к способу покрытия изделий из вентильных металлов, которые применяются в качестве комплектующих для турбомолекулярных насосов
Ротор или статор турбомолекулярного насоса // 2455529
Изобретение относится к изготовлению роторов или статоров турбомолекулярного насоса с роторными лопастями из специального алюминиевого сплава
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к турбомолекулярным насосам