Кассета для микросхем и кассетодержатель

 

Изобретение относится к технологической оснастке и может найти применение в качестве межоперационной тары при хранении, а также при транспортировании в производстве полупроводниковых приборов. Сущность изобретения: кассета выполнена с основанием, снабженным направляющими выступами для микросхем и с ограничительным упором, который выполнен из нескольких частей, каждая из которых размещена на одном из направляющих выступов. Кассетодержатель содержит прямоугольный корпус с основанием, противоположные стенки которого снабжены полками-уступами с ограничительными упорами, которые выполнены в виде гребенок, расположенных в вертикальных относительно основания корпуса пазах, выполненных в стенках корпуса. Причем корпус снабжен кодовыми пластинами, закрепленными в нижней части стенок корпуса относительно его основания. 2 с.п.ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к технологической оснастке и может найти применение в качестве межоперационной тары при хранении, а также при транспортировании в производстве полупроводниковых приборов.

Известна конструкция монолитной кассеты для микросхем в ДИП-корпусах, выполненная в виде основания с направляющими выступами, между которыми расположены ограничители угла возможного наклона микросхем. Недостатком такой кассеты является то, что она из пластмассы и не имеет запирающих устройств.

Известна также конструкция держателя для стопы магазинов с интегральными схемами, выполненная в виде колонок, укрепленных на основании. Колонки, обращенные углублениями друг к другу образуют держатель нескольких магазинов с интегральными схемами. Недостатком такой конструкции является то, что держатель можно использовать только для хранения интегральных схем.

Наиболее близким техническим решением, выбранным в качестве прототипа является кассета для микросхем с двухрядным расположением выводов, содержащая основание и запорные П-образные скобы, охватывающие торцовые стороны основания. Недостатком такой кассеты является то, что она сборная, а также необходимо устройство, убирающее запорную П-образную скобу.

Контейнер для микросхем, выбранный в качестве прототипа, выполнен прямоугольной формы из гнутой листовой стали с направляющими уголками, образующими полки для кассет, позволяющими устанавливать их в штабель и транспортировать в таком виде.

К недостаткам контейнера для микросхем можно отнести выполнение его из гнутой стали с применением сварки, это приводит к низкой точности изготовления контейнера, что отрицательно сказывается при использовании его в автоматических устройствах загрузки-выгрузки.

Наличие одностороннего жесткого упора при установке на наклонную плоскость не обеспечивает фиксации кассет.

Целью изобретения является использование кассеты и кассетодержателя для микросхем в автоматических устройствах и повышение надежности в работе.

Указанная цель достигается тем, что кассета выполнена цельнометаллической из алюминиевого сплава, имеющей ограничивающий упор с одной стороны.

А также за счет того, что в кассетодержателе ограничивающий упор выполнен в виде подвижной гребенки, запирающей кассеты с двух сторон, которые автоматически убираются при установке его на плоскость.

Сопоставительный анализ с прототипом показывает, что предлагаемые устройства отличаются наличием новых элементов: ограничивающий упор с одной стороны кассеты и ограничивающий упор в виде подвижной гребенки, запирающей кассеты с двух сторон в кассетодержателе.

Таким образом, предлагаемые устройства соответствуют критерию изобретения "новизна".

Сравнение предлагаемого решения с другими техническими решениями показывает, что применение ограничивающих упоров известно. Однако их применение в сочетании с описанным выполнением кассеты и кассетодержателя, за счет того, что ограничивающий упор кассетодержателя выполнен в виде подвижной гребенки, запирающей кассеты с двух сторон, конструкция кассет позволяет использовать их в автоматических устройствах загрузки-выгрузки как поштучно, так и в штабеле, конструкция кассетодержателя позволяет автоматически освобождать кассеты при установке их на плоскость.

Таким образом, новое сочетание признаков придает устройствам новые свойства, позволяющие достичь положительный эффект, это позволяет сделать вывод о соответствии предлагаемого решения критерию "существенные отличия".

На фиг. 1 показана кассета, вид спереди; на фиг. 2 - то же, вид сверху; на фиг. 3 - вид по стрелке А на фиг. 1; на фиг. 4 - кассетодержатель, вид спереди; на фиг. 5 - вид по стрелке Б на фиг. 4; на фиг. 6 - сечение В-В.

Кассета для микросхем с двухрядным расположением выводов выполнена цельнометаллической из алюминиевого сплава в виде рамки 6 с направляющими выступами 4 для размещения интегральных схем. С одной стороны кассеты имеется ограничивающий упор 1, удерживающий микросхемы 3 при загрузке их в кассету. На направляющих 4 имеются заходные фаски 5, пазы 2, облегчающие загрузку и скольжение микросхем по направляющим.

Кассета устанавливается на наклонную плоскость устройства загрузки-выгрузки. При этом микросхемы 6 скользят под собственным весом вдоль направляющих 4 до ограничивающего упора 1. Заходные фаски направляющих облегчают загрузку микросхем.

Конструкция кассет позволяет использовать их в автоматических устройствах загрузки-выгрузки, как поштучно, так и в штабеле.

В данном случае штабелирование производится посредством кассетодержателя. Кассетодержатель состоит из двух стенок, соединенных между собой стяжками 14. В стяжках 11 имеются пазы, в которых перемещаются гребенки 10, опоры которых центрируются во втулках 8. Пружина 9 подпружинивает штырь 13. Ручка 7 используется для переноса кассетодержателя и установки его в устройство загрузки-выгрузки. На стенках кассетодержателя закреплены кодовые пластины 15. Кассета 6 устанавливается на уступы стенок кассетодержателя. Микросхемы в кассете располагаются на направляющих выступах. Кассета выполнена открытой с одной стороны, но конструкция кассетодержателя позволяет устанавливать ее в необходимом положении для загрузки-выгрузки.

Кассетодержатель работает следующим образом. При установке на плоскость штырь 13 поднимает гребенку 10, совмещая ее с уступами стенок 11, тем самым освобождая кассету для пошагового перемещения. Стенка 11 выполняет роль отсекателя для неработающих рядов. При съеме кассетодержателя с устройства загрузки-выгрузки пружина 9 отжимает гребенку вниз, запирает кассету, штырь 13 выдвигается за плоскость кассетодержателя. При установке кассетодержателя в устройство загрузки-выгрузки кодовая пластина встает между системой фотодатчиков 16, автоматически регистрирующих данную партию микросхем на операции технологического процесса.

Штабелирование посредством кассетодержателя запирает микросхемы со свободного конца кассеты, а также сами кассеты при его переносе.

Преимуществом данной конструкции является автоматическое освобождение кассет при установке на плоскость устройства загрузки-выгрузки, а также отсутствие отсекателя для неработающих рядов кассеты.

Штабелирование кассет дает возможность вести автоматизированный учет микросхем при перемещении их по технологической цепочке. Цельнометаллическая конструкция кассеты из алюминиевого сплава защищает микросхемы от статистического заряда, механических повреждений, а также простые геометрические формы позволяют изготавливать ее на станках с ЧПУ.

Формула изобретения

1. Кассета для микросхем, содержащая основание с направляющими выступами для корпусов микросхем и ограничительный упор, отличающаяся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных возможностей, ограничительный упор выполнен из нескольких частей, каждая из которых размещена на одном из направляющих выступов.

2. Кассетодержатель, содержащий прямоугольный корпус с основанием и с полками-уступами, которые снабжены ограничительными упорами, отличающийся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных возможностей, ограничительные упоры выполнены в виде гребенок, расположенных в вертикальных относительно основания пазах, выполненных в стенках корпуса, причем корпус снабжен кодовыми пластинами, закрепленными в нижней части его стенок со стороны основания.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к электронике и радиотехнике, а именно к креплению плоских деталей с малой жесткостью при изготовлении электрорадиоизделий, и позволяет повысить удобство в работе и предотвратить деформацию изделия

Изобретение относится к устройствам для изготовления или обработки преимущественно полупроводниковых приборов и может быть использовано в качестве технологической оснастки для изготовления других малогабаритных радиоэлементов с проволочными выводами, например импульсных микротрансформаторов

Изобретение относится к разработке конструктивных элементов общего назначения для различных электрических приборов и узлов

Изобретение относится к полупроводниковой измерительной технике и предназначено для использования при контроле толщины пластин и покрытия, квадрата сопротивления и т.д

Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, и Moxej быть использовано в автоматизированных технологических линиях для межмодульной транспортировки полупроводниковых пластин

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания кремниевых пластин во время термообработки при изготовлении полупроводниковый приборов

Изобретение относится к электростатическому держателю, используемому для обработки подложек, таких как полупроводниковые пластины

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий и может быть использовано в качестве приспособления для закрепления пластинчатых деталей в технологическом оборудовании при нанесении на пластинах различных покрытий и тонких пленок, например на подложках полупроводниковых элементов

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования

Изобретение относится к способу формирования штабелей легируемых с одной стороны полупроводниковых пластин, в частности солнечных полупроводниковых пластин, для загрузки технологической лодочки партиями полупроводниковых пластин, в которой предопределенное четное число полупроводниковых пластин рядами устанавливают в установочные шлицы подлежащего расположению точно в горизонтальной плоскости транспортировочного держателя с обращенным кверху отверстием для штабелирования

Изобретение относится к устройству и способу управления температурой поверхности, по меньшей мере, одной подложки, лежащей в технологической камере реактора CVD

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме
Наверх