Способ изготовления фотоэлектронного прибора
Использование: технология изготовления фотоэлектронных приборов методом раздельной обработки фотокатода и корпусной части (методом переноса). Сущность изобретения: после изготовления фотокатода (ФК) в отдельном активировочном баллоне его помещают в общую камеру установки переноса. Корпусную часть прибора обезгаживают, затем вскрывают актиблокировочный баллон с ФК и производят его сочленение с прибором. При этом перед помещением в общую камеру активировочный баллон с ФК предварительно помещают в шлюзовую непрогреваемую камеру через шиберное устройство, затем проводят вскрытие баллона, а при обезгаживании корпусной части прибора проводят одновременно обезгаживание общей камеры до помещения в ней вскрытого баллона с ФК. 1 ил.
Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления фотоэлектронных приборов методом раздельной обработки фотокатода и корпусной части.
Целью изобретения является получение высокой чувствительности фотокатода при обеспечении высокой надежности и производительности оборудования. Для этого в известном способе переноса, включающем изготовление фотокатода в отдельном активировочном баллоне на откачном посту, помещение баллона с готовым фотокатодом и корпуса изделия в вакуумную камеру установки переноса, откачку камеры, обезгаживание корпусной части, вскрытие активировочного баллона и перенос из него фотокатодного узла к корпусу изделия с последующим их герметичным сочленением, корпусные части помещают в прогреваемую вакуумную камеру, а баллоны с фотокатодами в шлюзовую непрогреваемую камеру установки, сообщающуюся с прогреваемой камерой через шиберное устройство. Затем камеру с корпусами термически обезгаживают, производят вскрытие баллона с фотокатодом в шлюзовой камере, вскрытый баллон с фотокатодом передают через шиберное устройство в термически обезгаженную камеру, фотокатодный узел с фотокатодом переносят из баллона к корпусной части в объеме камеры со сверхвысоким вакуумом, прошедшей цикл термического обезгаживания. На чертеже изображена схема установки переноса. Установка имеет прогреваемую сверхвысоковакуумную камеру 1 и непрогреваемую шлюзовую камеру 2, камеры соединяются между собой шиберным устройством 3. Корпусные части и баллоны с фотокатодами помещают в разные камеры установки переноса; корпуса в прогреваемую камеру 1, баллоны с фотокатодами в непрогреваемую шлюзовую камеру 2, сообщающуюся с прогреваемой камерой 1 через шиберное устройство 3. Обе камеры откачивают, затем прогреваемую камеру 1 вместе с помещенными в нее корпусами при непрерывной откачке термически обезгаживают, при этом вакуум достигает до 10-8 Па. В условиях полученного вакуума проводят необходимую технологическую обработку корпусов (термическое и термоэлектронное обезгаживание). В шлюзовой непрогретой камере 2 с фотокатодными баллонами обеспечивают вакуум 10-3-10-5 Па. После завершения технологической обработки корпусов в прогретой камере 1 баллоны с фотокатодами в шлюзовой камере 2 вскрывают, в результате чего обеспечивают доступ к фотокатодному узлу. Конструкция баллона обеспечивает сохранение чувствительности фотокатода при вскрытии баллона в вакууме 10-3 Па и ниже при условии сохранения положения катодного узла в соответствующем гнезде баллона. Вскрытые баллоны с фотокатодными узлами передают через кратковременно открытый шибер 3 из шлюзовой камеры 2 в прогреваемую камеру 1 со сверхвысоким вакуумом. При передаче баллонов с фотокатодными узлами в прогреваемой камере 1 наблюдается кратковременное повышение давления, которое полностью восстанавливается после закрытия шибера 3. После восстановления давления в прогреваемой камере 1 фотокатодные узлы извлекают из баллонов и переносят к торцам изделий с дальнейшим их сочленением по известному способу. Ввиду того, что перенос фотокатодных узлов производят в условиях сверхвысокого вакуума с низким содержанием активных газов, что обусловлено термическим обезгаживанием камеры, чувствительность заранее изготовленного фотокатода полностью сохраняется. На основе предлагаемого способа разработана серийноспособная технология изготовления различных ФЭП методом переноса. Изготовлены образцы электронно-оптических преобразователей второго поколения с прямым переносом изображения с чувствительностью 400-500 мкА/лм, также изготовлены плоские фотоэлементы с квантовым выходом на длине волны 410 нм 20-30% (диаметр 30 мм, высота 8 мм) для использования в сцинтилляционных счетчиках на кристаллах NaJ.Формула изобретения
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОЭЛЕКТРОННОГО ПРИБОРА методом переноса, включающий предварительное изготовление фотокатода в отдельном активировочном баллоне, обеспечивающем защиту фотокатода от его вскрытия в атмосфере остаточных газов с давлением не больше 10-4 мм рт.ст. помещение активировочного баллона с фотокатодом и корпусной части прибора в общую камеру установки переноса, обезгаживание корпусной части прибора, вскрытие активировочного баллона с фотокатодом и сочленение корпусной части прибора с фотокатодом, отличающийся тем, что, с целью увеличения чувствительности, активировочный баллон с фотокатодом перед его помещением в общую камеру предварительно помещают в шлюзовую непрогреваемую камеру через шиберное устройство, затем проводят вскрытие баллона, а при обезгаживании корпусной части прибора проводят одновременно обезгаживание общей камеры до помещения в ней вскрытого баллона с фотокатодом.РИСУНКИ
Рисунок 1
Похожие патенты:
Изобретение относится к пленочной технологии и может быть использовано в производстве фотоэлектронных электровакуумных приборов (ФЭЦ), в частности для формирования фоточувствительных слоев фотокатодов
Источник для вакуумного напыления марганца // 2017256
Изобретение относится к пленочной технологии и может быть использовано в производстве фотоэлектронных электровакуумных приборов (ФЭП), в частности для формирования подложки к фоточувствительному слою фотокатодов
Способ изготовления фотокатода // 1816329
Изобретение относится к электронной технике, в частности к способам изготовления фотоэлектронного умножителя (ФЭУ) с фотокатодом на основе щелочных металлов
Способ изготовления фотоэлектронного прибора // 1780445
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано, например, в аппаратуре для каротажа нефтяных и газовых скважин
Способ изготовления фотокатода // 1322895
Изобретение относится к электровакууммой технике
Изобретение относится к получению паров щелочных элементов, в частности к источникам паров калия, рубидия и цезия, которые используются при изготовлении эммитеров в термоэмиссионных и электронно-оптических преобразователях
Металлосплавной катод // 2231855
Изобретение относится к электронной технике, а именно к конструкции катодных узлов на основе металлического эмиттера
Способ обезгаживания микроканальной пластины // 2304821
Изобретение относится к технике высоких напряжений, в частности к области электрической изоляции в вакууме, и может быть использовано в электронной промышленности для повышения качества микроканальных фотоэлектронных приборов
Способ изготовления фотокатода (варианты) // 2346352
Изобретение относится к фотоэлектронным приборам, а более конкретно к технологии изготовления фотокатода
Изобретение относится к области электротехники, в частности к способу одновременного активирования нескольких фотокатодов, которые используются в электронно-оптических преобразователях (ЭОП), фотоэлектронных умножителях, счетчиках фотонов и других фоточувствительных приборах
Изобретение относится к электронной технике, в частности к способу изготовления многощелочного фотокатода в индивидуальном стеклянном вакуумном баллоне, так называемом контейнере
Изобретение относится к области электронной техники, а именно к способам изготовления фотокатодов и устройствам для изготовления фотокатодов для использования их в различных областях промышленности, техники, а также для научных исследований. Технический результат - упрощение способа изготовления фотокатода, обеспечение высокой повторяемостью результатов, повышение квантовой эффективности. При изготовлении фотокатодов осуществляют наращивание тонкого покрытия на поверхности подложки как гомогенного, так и комбинированного посредством импульсного лазерного напыления тонких пленок, обеспечивают взаимодействие лазерного луча с мишенью, поглощение электромагнитной энергии, отвод тепла мишенью, расплавление материала мишени, испарение, многофотонную ионизацию, образование плазмы, свечение плазмы, обратное тормозное излучение, расширение плазменного облака, включающего материал мишени, которое осуществляют при начальной температуре плазмы в облаке в диапазоне 5000-15000 К. Описаны также вариант способа изготовления фотокатода и варианты устройств для их осуществления. 4 н.п. ф-лы, 2 ил.
Способ электронного обезгаживания микроканальной пластины при изготовлении вакуумного прибора // 2594986
Изобретение относится к области электронной техники, в частности к технологии изготовления вакуумных фотоэлектронных приборов (ФЭП), содержащих микроканальные пластины (МКП), такие как бипланарные и инверсионные электронно-оптические преобразователи (ЭОП), фотоэлектронные умножители (ФЭУ) и позиционно-чувствительные детекторы, и может быть использовано при производстве этих приборов. Технический результат - повышение производительности и эффективности обезгаживания МКП для улучшения параметров и повышения надежности вакуумного прибора. Способ включает облучение МКП входным электронным потоком при заданных напряжении и выходном токе. Обезгаживание осуществляют электронным потоком в пять этапов: первый этап проводят при входном токе 4·10-9-8·10-9 Α и выходном токе 0,05-,01 от тока проводимости МКП, второй этап обезгаживания осуществляют при напряжении на МКП 1000-1050 В при том же входном токе, на третьем этапе ступенчато снижают напряжение на МКП через каждые 50-100 В от 1000-1050 В до 650 - 600 В при постоянно поддерживаемом выходном токе 2,7-3,2 мкА, на четвертом этапе обезгаживание проводят при том же выходном токе и входном токе, соответствующем входному току предельного режима эксплуатации вакуумного прибора, на пятом этапе обезгаживание осуществляют при напряжении на МКП 1000-1050 В и выходном токе 10-12 мкА. 2 ил., 2 табл.
