Стекло преимущественно для изоляции алюминиевой проводниковой разводки

 

Использование: для изоляции алюминиевой проводниковой разводки газоразрядных индикаторных панелей, а также для межслойной, межкомпонентной изоляции, планаризации, бескорпусной защиты интегральных схем, спаивания кремниевых структур при изготовлении микросборок и сенсоров и в других областях электронной техники. Сущность изобретения: стекло, преимущественно для изоляции алюминиевой проводниковой разводки, содержит, мас.%: оксид свинца 65 - 75 БФ PbO; оксид бора 8 - 17 ВФ B2O3; оксид кремния 8 - 16 БФ SiO2; оксид алюминия 0,1 - 4 БФ Al2O3; оксид цинка 0,5 - 8 БФ ZnO; оксид кадмия 0,5 - 7 БФ CdO; оксид сурьмы 0,1 - 2 БФ Sb2O5 , причем сумма ZnO и CdO равна 5 - 10 мас. % . Свойства стекла: КТЛР (80-85)10-7K-1 температура начала деформации 425 - 440°С, удельное объемное сопротивление при 20>1012Омсм температура оплавления порошковых слоев 570 - 590°С, стекло прозрачное, удельное поверхностное сопротивление алюминиевой металлизации 0,013 - 0,015 Ом/о. 2 табл.

Изобретение относится к составам некристаллизующихся легкоплавких стекол, предназначенных для изоляции алюминиевой проводниковой разводки газоразрядных индикаторных панелей, а также может быть использовано для межслойной, межкомпонентной изоляции, планаризации, бескорпусной защиты интегральных схем, спаивания кремниевых структур при изготовлении микросборок и сенсоров и в других областях электронной техники.

Известно стекло, используемое для защиты полупроводниковых приборов, содержащее, мас. PbO 65-75; SiO2 8-12; B2O3 7-8; CuO 0,5-3; Al2O3 до 0,5; ZnO 5-15; CdO 0,5-15.

Известное стекло имеет температуру оплавления 420-430о С, удельное сопротивление (v) при 200о С 1212 Ом см, коэффициент термического линейного расширения (КТЛР) 85 10-7 1/град.

Недостатками данного стекла являются низкая оптическая прозрачность, склонность к кристаллизации при формировании диэлектрических слоев на основе стекловидных порошков с последующим оплавлением и несогласованность по КТЛР со стеклопластиной, используемой при изготовлении газоразрядных индикаторных панелей.

Достигаемым техническим результатом является уменьшение взаимодействия стекла с алюминиевой металлизацией и снижение удельного сопротивления проводников.

Указанный технический результат достигается тем, что стекло, преимущественно для изоляции алюминиевой проводниковой разводки, содержит следующие компоненты, мас. PbO 65-75; B2O3 8-17; SiO2 8-16; Al2O3 0,1-4; ZnO 0,5-8; CdO 0,5-7; Sb2O5 0,1-2; причем сумма ZnO и CdO равна 5-10 мас.

Изобретение поясняется конкретными составами стекол, приведенными в табл.1.

Стекло синтезировали из оксидов в корундизовых тиглях в электропечах с силитовыми нагревателями при 1000оС с выдержкой 1 ч. Выработку стекла проводили в виде гранулята путем отливки расплава стекломассы в дистиллированную воду. Для измерения КТЛР и tн.д стекол отливали образцы в виде штабиков (50х50х5 мм3). Гранулят стекла измельчали в агатовом барабане на планетарной мельнице до получения порошка с удельной поверхностью 5000 см2/г.

На основе измельченного порошка стекла готовили диэлектрическую пасту с использованием в качестве органического связующего 3%-ного раствора этилцеллюлозы в терпениоле. Диэлектрическую пасту наносили методом трафаретной печати на стеклопластину поверх предварительно отформированной алюминиевой проводниковой разводки. После подсушки на воздухе при 120о С в течение 15 мин осуществляли оплавление диэлектрического слоя в воздушной атмосфере в конвейерной печи с выдержкой 2,5 ч при максимальной температуре.

Свойства описываемых составов приведены в табл.2.

Применение стекол описываемых составов позволяет резко уменьшить взаимодействие стекловидного диэлектрика в процессе его вжигания с алюминиевой проводниковой разводкой и снизить удельное поверхностное сопротивление алюминиевой металлизации по сравнению с прототипом.

Формула изобретения

СТЕКЛО ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ДЛЯ ИЗОЛЯЦИИ АЛЮМИНИЕВОЙ ПРОВОДНИКОВОЙ РАЗВОДКИ, включающее PbO, B2O3, SiO2, ZnO, CdO, Al2O3, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит Sb2O5 при следующем соотношении компонентов, мас.

PbO 65 75 B2O3 8 17 SiO2 8 16 ZnO 0,5 8,0 CdO 0,5 7,0 Al2O3 0,1 4,0 Sb2O5 0,1 2,0 причем ZnO + CdO 5 10 мас.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к составам стекол для получения стеклокристаллических материалов, применяемых при производстве магнитных головок для записывающих устройств в вычислительной технике

Изобретение относится к составам стекол, используемых при изготовлении магнитных головок для звуко- и видеозаписывающих устройств и вычислительной техники

Изобретение относится к электронной и электровакуумной промышленности и может быть использовано для получения прочного спая стекла с платинитом или с другими материалами платиновой группы

Изобретение относится к составам стекол, применяемых для изготовления магнитных головок для видеозаписывающих и вычислительных устройств

Изобретение относится к составам легкоплавких стекол, преимущественно для изготовления многослойных структур на основе алюминия или его сплавов

Изобретение относится к производству оптического стекла и может быть использовано для изготовления очковых одинарных и спеченных бифокальных линз высоких рефракций с невидимой линией раздела, а также призм и линз в различных оптических системах

Стекло // 1675242
Изобретение относится к бесщелочным стеклам, преимущественно для композиционных керметных материалов

Стекло // 1655923
Изобретение относится к свинцовоборосиликатным бесщелочным диэлектрическим стеклам и предназначено для применения в электронной и электротехнической промышленности в качестве материала для защиты активной части кремниевых полупроводниковых приборов от неблагоприятных внешних воздействий среды

Стекло // 1629263
Изобретение относится к производству легкоплавких стекол, которые могут быть использованы в электронной технике, в частности для изготовления конденсаторной керамики на основе титаната бария

Стекло // 1608142
Изобретение относится к составам стекол, используемым при изготовлении толстопленочных низкоомных керметных композиционных резисторов, применяемых в производстве микросборок для радиотехнической и электронной техники

Стекло // 1414808
Изобретение относится к технологии силикатов и может быть использовано в электронной технике как стеклосвязка в конденсаторных пастах

Изобретение относится к составам стекол, применяемых для соединения конструктивных элементов и сердечников в блоке магнитных головок и при соединении элементов магнитных головок для дисковых накопителей

Стекло // 1283228
Изобретение относится к составам стекол, применяемых в качестве изолирующих покрытий для датчиков емкостного типа, и может быть использовано в электронике, технологии электровакуумных материалов
Изобретение относится к области технологии силикатов и касается составов стекла для отделки строительных изделий, например бетонных

Изобретение относится к составам некристаллизующихся легкоплавких стекол, предназначенных для изоляции алюминиевой проводниковой разводки газоразрядных индикаторных панелей, а также может быть использовано для межслойной, межкомпонентной изоляции, планаризации, бескорпусной защиты интегральных схем, спаивания кремниевых структур при изготовлении микросборок и сенсоров и в других областях электронной техники

Наверх