Стекло преимущественно для изоляции алюминиевой проводниковой разводки

 

Использование: для изоляции алюминиевой проводниковой разводки газоразрядных индикаторных панелей, а также для межслойной, межкомпонентной изоляции, планаризации, бескорпусной защиты интегральных схем, спаивания кремниевых структур при изготовлении микросборок и сенсоров и в других областях электронной техники. Сущность изобретения: стекло, преимущественно для изоляции алюминиевой проводниковой разводки, содержит, мас.%: оксид свинца 65 - 75 БФ PbO; оксид бора 8 - 17 ВФ B2O3; оксид кремния 8 - 16 БФ SiO2; оксид алюминия 0,1 - 4 БФ Al2O3; оксид цинка 0,5 - 8 БФ ZnO; оксид кадмия 0,5 - 7 БФ CdO; оксид сурьмы 0,1 - 2 БФ Sb2O5 , причем сумма ZnO и CdO равна 5 - 10 мас. % . Свойства стекла: КТЛР (80-85)10-7K-1 температура начала деформации 425 - 440°С, удельное объемное сопротивление при 20>1012Омсм температура оплавления порошковых слоев 570 - 590°С, стекло прозрачное, удельное поверхностное сопротивление алюминиевой металлизации 0,013 - 0,015 Ом/о. 2 табл.

Изобретение относится к составам некристаллизующихся легкоплавких стекол, предназначенных для изоляции алюминиевой проводниковой разводки газоразрядных индикаторных панелей, а также может быть использовано для межслойной, межкомпонентной изоляции, планаризации, бескорпусной защиты интегральных схем, спаивания кремниевых структур при изготовлении микросборок и сенсоров и в других областях электронной техники.

Известно стекло, используемое для защиты полупроводниковых приборов, содержащее, мас. PbO 65-75; SiO2 8-12; B2O3 7-8; CuO 0,5-3; Al2O3 до 0,5; ZnO 5-15; CdO 0,5-15.

Известное стекло имеет температуру оплавления 420-430о С, удельное сопротивление (v) при 200о С 1212 Ом см, коэффициент термического линейного расширения (КТЛР) 85 10-7 1/град.

Недостатками данного стекла являются низкая оптическая прозрачность, склонность к кристаллизации при формировании диэлектрических слоев на основе стекловидных порошков с последующим оплавлением и несогласованность по КТЛР со стеклопластиной, используемой при изготовлении газоразрядных индикаторных панелей.

Достигаемым техническим результатом является уменьшение взаимодействия стекла с алюминиевой металлизацией и снижение удельного сопротивления проводников.

Указанный технический результат достигается тем, что стекло, преимущественно для изоляции алюминиевой проводниковой разводки, содержит следующие компоненты, мас. PbO 65-75; B2O3 8-17; SiO2 8-16; Al2O3 0,1-4; ZnO 0,5-8; CdO 0,5-7; Sb2O5 0,1-2; причем сумма ZnO и CdO равна 5-10 мас.

Изобретение поясняется конкретными составами стекол, приведенными в табл.1.

Стекло синтезировали из оксидов в корундизовых тиглях в электропечах с силитовыми нагревателями при 1000оС с выдержкой 1 ч. Выработку стекла проводили в виде гранулята путем отливки расплава стекломассы в дистиллированную воду. Для измерения КТЛР и tн.д стекол отливали образцы в виде штабиков (50х50х5 мм3). Гранулят стекла измельчали в агатовом барабане на планетарной мельнице до получения порошка с удельной поверхностью 5000 см2/г.

На основе измельченного порошка стекла готовили диэлектрическую пасту с использованием в качестве органического связующего 3%-ного раствора этилцеллюлозы в терпениоле. Диэлектрическую пасту наносили методом трафаретной печати на стеклопластину поверх предварительно отформированной алюминиевой проводниковой разводки. После подсушки на воздухе при 120о С в течение 15 мин осуществляли оплавление диэлектрического слоя в воздушной атмосфере в конвейерной печи с выдержкой 2,5 ч при максимальной температуре.

Свойства описываемых составов приведены в табл.2.

Применение стекол описываемых составов позволяет резко уменьшить взаимодействие стекловидного диэлектрика в процессе его вжигания с алюминиевой проводниковой разводкой и снизить удельное поверхностное сопротивление алюминиевой металлизации по сравнению с прототипом.

СТЕКЛО ПРЕИМУЩЕСТВЕННО ДЛЯ ИЗОЛЯЦИИ АЛЮМИНИЕВОЙ ПРОВОДНИКОВОЙ РАЗВОДКИ, включающее PbO, B2O3, SiO2, ZnO, CdO, Al2O3, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит Sb2O5 при следующем соотношении компонентов, мас.

PbO 65 75 B2O3 8 17 SiO2 8 16 ZnO 0,5 8,0 CdO 0,5 7,0 Al2O3 0,1 4,0 Sb2O5 0,1 2,0 причем ZnO + CdO 5 10 мас.

Рисунок 1, Рисунок 2



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к составам стекол для получения стеклокристаллических материалов, применяемых при производстве магнитных головок для записывающих устройств в вычислительной технике

Изобретение относится к составам стекол, используемых при изготовлении магнитных головок для звуко- и видеозаписывающих устройств и вычислительной техники

Изобретение относится к электронной и электровакуумной промышленности и может быть использовано для получения прочного спая стекла с платинитом или с другими материалами платиновой группы

Изобретение относится к составам стекол, применяемых для изготовления магнитных головок для видеозаписывающих и вычислительных устройств

Изобретение относится к составам легкоплавких стекол, преимущественно для изготовления многослойных структур на основе алюминия или его сплавов

Изобретение относится к производству оптического стекла и может быть использовано для изготовления очковых одинарных и спеченных бифокальных линз высоких рефракций с невидимой линией раздела, а также призм и линз в различных оптических системах

Стекло // 1675242
Изобретение относится к бесщелочным стеклам, преимущественно для композиционных керметных материалов

Стекло // 1655923
Изобретение относится к свинцовоборосиликатным бесщелочным диэлектрическим стеклам и предназначено для применения в электронной и электротехнической промышленности в качестве материала для защиты активной части кремниевых полупроводниковых приборов от неблагоприятных внешних воздействий среды

Стекло // 1629263
Изобретение относится к производству легкоплавких стекол, которые могут быть использованы в электронной технике, в частности для изготовления конденсаторной керамики на основе титаната бария

Стекло // 1608142
Изобретение относится к составам стекол, используемым при изготовлении толстопленочных низкоомных керметных композиционных резисторов, применяемых в производстве микросборок для радиотехнической и электронной техники

Стекло // 1414808
Изобретение относится к технологии силикатов и может быть использовано в электронной технике как стеклосвязка в конденсаторных пастах

Изобретение относится к составам стекол, применяемых для соединения конструктивных элементов и сердечников в блоке магнитных головок и при соединении элементов магнитных головок для дисковых накопителей

Стекло // 1283228
Изобретение относится к составам стекол, применяемых в качестве изолирующих покрытий для датчиков емкостного типа, и может быть использовано в электронике, технологии электровакуумных материалов
Изобретение относится к области технологии силикатов и касается составов стекла для отделки строительных изделий, например бетонных

 

Наверх