Кассета для нанесения металлических покрытий в вакууме на изделия, преимущественно на световоды

 

Использование: изобретение касается нанесения покрытий в вакууме, в частности конструкции кассеты для изделия, и может быть использовано для двусторонней металлизации концов световодов при создании элементов волоконно-оптических линий связи, волоконно-оптических датчиков. Сущность изобретения: кассета представляет собой прямоугольную рамку, имеющую основание с окном и крышку. По всей площади кассеты поверх крышки и основания за исключением области окна установлены отражатели и тепловые экраны, которые являются преградой для прохождения тепловых лучей внутрь кассеты и нагрева оболочек кабеля. 2 ил.

Изобретение касается нанесения покрытий в вакууме, в частности конструкции кассеты для изделий, и может быть использовано для двусторонней металлизации концов световодов при создании элементов волоконно-оптических линий связи, волоконно-оптических датчиков. Одно может быть использовано и в других областях науки и техники.

Известна конструкция кассеты, входящая в состав устройства для нанесения покрытий в вакууме (см. а. с. СССР N 1501538, кл. С 23 С 14/00). Кассета представляет собой установленную в кассетодержателе рамку, в которой закрепляются световоды. Нанесение покрытий производится поочередно с двух сторон через окно путем поворота кассетодержателя на 180о. Недостаток данной конструкции кассеты невозможность получения равномерного по толщине металлического покрытия по поверхности световода. Кроме того, отсутствует защита световода от высокой температуры в процессе нанесения покрытия (напыления). При низкой же температуре напыления, например комнатной, адгезия металла к поверхности стекловолокна недостаточна.

Известно приспособление для крепления световодов при нанесении металлических покрытий, содержащее основание, круглое днище, на котором установлены кольца (см. "Приборостроение", 1989, N 6, с. 86-89). В основании выполнено центральное сквозное отверстие, где на планке закреплена серьга, в которой имеется четыре соосных отверстия. В эти отверстия приспособления проводится по окружности укладка кабеля. Концы волокон крепятся скобами и винтами. Световоды с соединителями закрываются крышкой. Таким образом, световодные кабели внутри приспособления полностью закрепляются, кроме участков волокон, размещенных в центральном отверстии, на которые осаждается металлизация в вакууме. Напыление металлических пленок на волокна проводится на установке УВН-62-П3, внутри которой закрепляется приспособление. Поскольку в данном случае напыление осуществляется на всю поверхность окончания волоконного световода, то увеличивается трудоемкость процесса: дополнительно проводится операция по снятию металлизации с торцов световодов. Кроме того, процесс напыления проводится при низкой температуре и, как следствие, ведет к снижению адгезии (от 1,5102 до 10105 Нм-2).

Наиболее близким к изобретению прототипом является кассета, используемая в настоящее время на предприятии в серийном производстве. Кассета (см. АО3 2996. СБ) предствляет собой прямоугольную рамку, имеющую основание с окном и крышку. Оптические кабели закрепляются на поверхности основания с помощью фиксаторов. Окончания световодов оптических кабелей, на которые предусматривается осаждение металлических покрытий, располагают в области окна. Кассеты с загруженными оптическими кабелями устанавливаются в вакуумной установке типа УВН-73П2 в камере-барабане с планетарным вращением и инфракрасным нагревом.

Недостатком кассеты является ее быстрый и значительный нагрев в процессе напыления слоев металла, поэтому время прогрева ограничено из-за возможности повреждения полиамидных оболочек оптических кабелей. По этой же причине ограничена и максимальная температура нагрева напыленных окончаний световодов, что существенно снижает адгезию и качество напыляемых металлических слоев. В конечном счете вышеуказанный недостаток снижает выход годных приборов.

Для решения задачи повышения выхода годных приборов путем улучшения адгезии напыляемых металлических слоев с внешней стороны известной кассеты, представляющей собой рамку, имеющую основание с окном и крышку, по всей ее площади поверх крышки и основания за исключением области окна установлены отражатели и тепловые экраны.

На фиг. 1, 2 изображена конструкция предлагаемой кассеты.

Кассета содержит основание 1, крышку 2, экраны 3 и 4 и отражатели 5 и 6, установленные по всей площади кассеты поверх крышки и основания, держатели 7, в пазах которых крепятся оптические кабели с оптическими соединителями, винт 8, скрепляющий детали кассеты и носитель 9, с помощью которого кассета закрепляется на роторе установки напыления. В основании кассеты имеется окно 10.

Кассета в процессе напыления вращается вокруг оси носителя 9 таким образом, что окно 10 все время остается над испарителем, и окончания световодов покрываются равномерным слоем металла.

П р и м е р. Основание 1 кассеты было изготовлено из дюралюминия, крышка 2 из стали, экраны 3 и 4 из алюминия, отражатели 5 и 6 из алюминия, держатели 7 из фторопласта, остальные детали из стали. Оптические кабели с оптическими соединителями РФ 3.906.019 ТУ с разделанными окончаниями световода и длиной 240 мм в количестве 7 шт размещали внутри кассеты.

ИК-излучение от источника попадает на экраны кассеты и нагревает их. От нагретых экранов тепловое излучение попадает на отражатели, которые представляют собой металлические пластинки с высокой отражающей способностью, например пластинки из никеля, алюминия и др. При этом большая часть теплового излучения отражается и внутрь практически не попадает. Температура участков волокон, на которые наносится металлический слой в вакууме в момент прогрева кассет, не превышает 120-150оС.

Таким образом, отражатели и экраны, которые установлены кассете, являются преградой для прохождения тепловых лучей внутрь кассеты и нагрева оболочек кабеля.

Формула изобретения

КАССЕТА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ НА ИЗДЕЛИЯ, ПРЕИМУЩЕСТВЕННО НА СВЕТОВОДЫ, содержащая держатель изделия с гнездами для его размещения и тепловой экран с окнами для прохождения пара, совмещенными с гнездами держателя, размещенный со стороны нанесения металлического покрытия по всей площади держателя изделий, отличающаяся тем, что она снабжена отражателем с окнами, совмещенными с окнами теплового экрана, размещенным между держателем изделия и тепловым экраном.

РИСУНКИ

Рисунок 1, Рисунок 2



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области нанесения покрытий в экологически чистых вакуумных технологических установках

Изобретение относится к изготовлению вакуумных установок для нанесения ионно-плазменным напылением защитно-упрочняющих и декоративных покрытий на изделиях

Изобретение относится к электротехнике и может быть использовано для электронно-лучевых процессов обработки, в том числе полировки, изделий оптики и микроэлектроники

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в установках для изготовления приборов с селеновым покрытием, наносимым методом термического испарения или ионного распыления

Изобретение относится к технологии нанесения покрытий в вакууме и может быть использовано в производстве изделий микроэлектронной и вычислительной техники

Изобретение относится к области нанесения вакуумных покрытий и может быть использовано для нанесения различных покрытий и тонких пленок

Изобретение относится к нанесению тонких пленок в вакууме и направлено на снижение неравномерности толщины пленки

Изобретение относится к вспомогательным устройствам, входящим в технологический комплекс для нанесения покрытий при производстве изделий электронной техники

Изобретение относится к области аппаратурного оформления технологий нанесения покрытий, различных по назначению и составу, и может быть использовано в машиностроении, электронной, электротехнической, медицинской и других отраслях промышленности

Изобретение относится к устройству для нанесения покрытия на бутылки и к транспортирующему средству для них

Изобретение относится к способу нанесения нанокомпозитных покрытий на плоские поверхности деталей и устройству для его реализации

Изобретение относится к области электронной техники, а более конкретно к устройствам для закрепления подложек, работающим в экологически чистых средах и вакууме

Изобретение относится к области технологической обработки подложек в вакууме, а более конкретно к устройствам для охлаждения подложек в вакууме

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий, в частности к кассете для обрабатываемых деталей. Несколько дисков (7) кассеты расположены вдоль центрального вала и снабжены держателями (8), равномерно распределенными по окружности, наклоненными в направлении наружу и предназначенными для установки в них обрабатываемых деталей. Диски (7) опираются на окружающее их кольцо (5). Расположенные последовательно кольца (5) образуют приблизительно цилиндрическую оболочку, предотвращающую нежелательное нанесение покрытия на диски (7). Оболочка имеет группу отверстий для держателей (8) диска (7), равномерно распределенных по окружности на одной и той же высоте, и каждое из отверстий образовано верхним вырезом (14) в кольце (5), на котором установлен диск (7), и смежным нижним вырезом (15) на следующем кольце. Граничные линии (17) между последовательно установленными кольцами (5) начинаются несколько ниже самых узких точек перемычек, разделяющих смежные отверстия, таким образом, чтобы нижние вырезы (15) не сужались в направлении кромки кольца (5), и верхние вырезы (14) слегка сужались таким образом, чтобы обеспечивалась простая сборка кассеты для обрабатываемых деталей снизу вверх. В результате обеспечивается быстрота установки и демонтажа дисков и легкая их очистка без риска повреждения компонентов устройства. 14 з.п. ф-лы, 3 ил.
Наверх