Испаритель

 

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий в вакууме. Жидкий реагент, в частности стирол, заливают в камеру 1 через входной патрубок 5, а вторую камеру 2 вакуумируют до 10-3 - 10-5 мм рт.ст. Из камеры 1 через трубопровод 4 и дозирующее устройство 3 реагент подают в камеру 2. Дозирующее устройство перекрывают и производят нагрев жидкого реагента до 160 - 180oС. Образующиеся пары поступают в вакуумную камеру. Каждая из камер 1 и 2 имеет один патрубок: камера 1 входной, а камера 2 - выходной. Камеры периодически контактируют друг с другом через дозирующее устройство 3, что позволяет, не останавливая процесса, производить заливку жидкого реагента в одну из камер. Соотношение площадей другой камеры и выходного отверстия составляет 5 - 7. Описываемое устройство обеспечивает значительное повышение процесса. 1 ил.

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к устройствам для нанесения покрытий в вакууме.

Известно устройство для термического испарения материалов в вакууме, содержащее квазизамкнутый испаритель, выполненный в виде контейнера закрытого типа с отверстиями для выхода пара, расположенными по поперечной образующей контейнера, и для загрузки испаряемого материала, при этом дно контейнера расположено под углом [1] Недостатком известного устройства является его низкая производительность, вызванная частой разгерметизацией испарителя как при его очередной подпитке, так и при его очистке от высаждаемых элементов на его стенках.

Наиболее близким к предлагаемому является устройство для нанесения покрытий, содержащее вакуумную камеру, соединенную трубопроводом с испарителем. Испаритель содержит тигель с жидким реагентом, выполненный в виде двух герметично отделенных одна от другой и соединенных с откачной системой камер, при этом в одной камере размещена внутренняя часть тигля, а в другой его наружная часть, расположенный с наружной стороны тигля нагреватель, систему подачи инертного газа, соединенную с тиглем, откачную систему [2] Недостатком устройства является низкая производительность, вызванная периодической разгерметизацией испарителя при его загрузке новой порцией жидкого реагента и увеличением межциклового времени.

Цель изобретения повышение производительности и устройства путем исключения разгерметизации устройства при его загрузке новой порцией жидкого реагента и соответственно уменьшения межциклового времени.

Цель достигается тем, что испаритель, содержащий тигель в виде двух герметично отделенных одна от другой камер с входным и выходным патрубками, нагреватель и откачную систему, снабжен дозирующим устройством, установленным между камерами и соединенным с ними, при этом одна из камер имеет входной патрубок для заливки жидкого реагента, другая имеет выходной патрубок, соединенный с откачной системой, а соотношение площади камеры к площади ее выходного патрубка составляет 5-7.

На чертеже изображена схема испарителя.

Испаритель содержит тигель, выполненный в виде двух камер 1 и 2, между камерами размещено дозирующее устройство 3, соединенное трубопроводом 4 с камерами 1 и 2. Камера 1 имеет входной патрубок 5 для заливки жидкого реагента, а камера 2 имеет выходной патрубок 6, соединенный соответственно с откачной системой 7 и вакуумной камерой (на чертеже не показана). Тигель размещен внутри короба 8. Внутри короба 8 сбоку тигля расположен вентилятор-нагреватель 9.

Испаритель работает следующим образом.

Сначала заливают жидкий реагент (например, стирол) в камеру 1 через входной патрубок 5, а вторую камеру 2 откачивают до 10-3-10-5 мм рт.ст. После чего из камеры 1 через трубопровод 4 и дозирующее устройство 3 (например, кран) подают жидкий реагент в камеру 2 (в каждой камере есть уровнемеры, которые на чертеже не показаны). Затем дозирующее устройство 3 закрывают и производят нагрев жидкого реагента до температуры примерно 160-180оС. Образующиеся пары поступают в вакуумную камеру.

Снабжение дозирующим устройством позволяет периодически подпитывать одну из камер тигля без его разгерметизации, что повышает производительность тигля за счет уменьшения межциклового времени.

Каждая из камер тигля имеет один патрубок: входной или выходной, а также камеры периодически контактируют друг с другом через дозирующее устройство, что позволяет не останавливая процесса, без разгерметизации производить заливку жидкого реагента в одну из камер, а при необходимости периодически подпитывать без разгерметизации в рабочем состоянии другую камеру, из которой пары реагента идут в вакуумную камеру. Все это также позволяет повысить производительность испарителя за счет практически исключения межциклового времени.

Соотношение площадей камеры и ее выходного патрубка составляет 5-7. Если это соотношение будет меньше 5, то перестанут справляться насосы откачной системы, весь жидкий реагент попадет в откачную систему, практически минуя вакуумную камеру. Если это соотношение будет больше 7, то откачка будет вялой и производительность резко упадет.

Формула изобретения

ИСПАРИТЕЛЬ, содержащий тигель в виде двух герметично отделенных одна от другой камер с входным и выходным патрубками, нагреватель и откачную систему, отличающийся тем, что он снабжен дозирующим устройством, расположенным между камерами и подсоединенным к дну камер, входной патрубок размещен на одной из камер, а выходной патрубок размещен на другой камере и соединен с откачной системой, причем соотношение площадей и выходного патрубка составляет 5 - 7.

РИСУНКИ

Рисунок 1



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к нанесению лос рытий в вакууме, в частности к технике получения тонкопленочных покрытий, включая диэлектрические и полупроводниковые материалы, ионным распылением в вакууме , и может быть использовано в производстве электровакуумных приборов

Изобретение относится к технологии получения алмазоподобных пленок и может быть использовано для нанесения твердых, износостойких, химически инертных и аморфных алмазоподобных покрытий толщиной до 59 мкм с высокой адгезией к изделиям
Изобретение относится к способам формирования сверхтвердого легированного углеродного покрытия на кремнии в вакууме и может быть использовано в устройствах микромеханики и в качестве покрытий для деталей инфракрасной оптики
Изобретение относится к способу получения композитного материала и может найти применение в различных отраслях промышленности

Изобретение относится к технологии получения углеродсодержащих защитных покрытий пиролизом органосилоксановых соединений и может быть использовано в планарной технологии твердотельной электроники, а также может найти применение в литографических процессах при формировании органосилоксановых актинорезистов и углеродсодержащих маскирующих покрытий на их основе для изготовления фотошаблонов или ионного травления планарных структур

Изобретение относится к получению пленок из полимочевины вакуумным осаждением из паровой фазы

Изобретение относится к области получения пленок и может быть использовано в медицине, оптике, микроэлектронике

Изобретение относится к области машиностроения, а именно к способам получения теплозащитных покрытий на деталях турбин из никелевых или кобальтовых сплавов, в частности газовых турбин авиадвигателей и энергетических установок. Способ включает нанесение жаростойкого подслоя и формирование керамического слоя из диоксида циркония, стабилизированного оксидом иттрия. При этом для формирования керамического слоя на жаростойкий подлой сначала наносят сплав циркония с иттрием с содержанием иттрия 5-9 вес.% толщиной от 28 мкм до 500 мкм, который затем подвергают микродуговому оксидированию до получения керамического слоя заданной толщины. Технический результат - повышение эксплуатационных свойств покрытия, повышение выносливости и циклической прочности деталей с покрытием. 19 з.п. ф-лы, 1 ил., 2 табл.

Изобретение относится к испарителю для испарения органических материалов, в частности меламина, а также к способу нанесения покрытия из органического материала на гибкий субстрат с помощью этого испарителя. Испаритель для испарения органических материалов содержит первую камеру, имеющую сопло, выполненное с возможностью направления на подлежащий покрытию гибкий субстрат, по меньшей мере, одну вторую камеру для испарения органического материала, по меньшей мере, один испарительный трубопровод для направления испаренного органического материала по меньшей мере из одной второй камеры в первую камеру. Первая камера выполнена для обеспечения сопла испаренным органическим материалом, соответствующим первой виртуальной поверхности сублимации. Одна или более камер по меньшей мере из одной второй камеры выполнена с обеспечением во время испарения органического материала объединенной площади второй поверхности сублимации, соответствующей по меньшей мере 70% площади первой виртуальной поверхности сублимации. Упомянутый испаритель, в котором одна или более камер по меньшей мере из одной второй камеры имеет объединенную площадь поверхности сублимации 0,34 м2 или более, используют для испарения меламина. Обеспечивается равномерное или однородное покрытие из органического материала при использовании упомянутого испарителя. 4 н. и 14 з.п. ф-лы, 8 ил.
Наверх