Сканирующий зондовый микроскоп (варианты), его чувствительный элемент и способ юстировки кантилевера

Авторы патента:

G02B21 - Микроскопы (окуляры G02B 25/00; поляризующие оптические системы G02B 27/28; измерительные микроскопы G01B 9/04; микротомы G01N 1/06; исследование или анализ поверхностных структур в атомном диапазоне с использованием метода сканирующего зонда, например метод с использованием сканирующего туннельного микроскопа или оптического микроскопа, сканирующего в ближней зоне G01N 13/10; конструктивные детали устройств сканирующих зондов вообще G12B 21/00)

1. Сканирующий зондовый микроскоп, содержащий систему подачи и сканирования образца, измерительную головку, включающую платформу, установленные на ней полупроводниковый лазер и фотодатчик отклонения отраженного луча лазера, электронные схемы управления и регистрации, включающие канал сканирующего туннельного микроскопа, канал атомно-силового микроскопа и канал обратной связи, систему акустической, конвекционной и виброзащиты, кантилевер и иглу сканирующего туннельного микроскопа, отличающийся тем, что кантилевер и игла сканирующего туннельного микроскопа закреплены на дополнительно введенном столике, установленном в измерительной головке с возможностью перемещения, а канал обратной связи дополнительно снабжен реле, обеспечивающим подключение канала обратной связи либо к выходу канала сканирующего туннельного микроскопа, либо к выходу канала атомно-силового микроскопа.

2. Сканирующий зондовый микроскоп, содержащий систему подачи и сканирования образца, измерительную головку, включающую платформу, установленные на ней полупроводниковый лазер и фотодатчик отклонения отраженного луча лазера, электронные схемы управления и регистрации, включающие канал сканирующего туннельного микроскопа, канал атомно-силового микроскопа и канал обратной связи, систему акустической, конвекционной и виброзащиты, чувствительные элементы сканирующего туннельного микроскопа и атомно-силового микроскопа, отличающийся тем, что чувствительные элементы сканирующего туннельного микроскопа и атомно-силового микроскопа выполнены в виде комбинированного зонда, включающего держатель кантилевера с закрепленным на нем кантилевером из магнитного или ферромагнитного проводящего материала и электромагнитной катушкой с магнитопроводом, соединяющим электромагнитную катушку и кантилевер, при этом канал обратной связи дополнительно снабжен реле, обеспечивающим подключение входа канала обратной связи либо к выходу канала сканирующего туннельного микроскопа, либо к выходу канала атомно-силового микросокпа.

3. Чувствительный элемент сканирующего зондового микроскопа, содержащий кантилевер, закрепленный на держателе, отличающийся тем, что чувствительный элемент выполнен в виде комбинированного зонда, включающего электромагнитную катушку и магнитопровод, установленные на держателе, при этом магнитопровод соединяет электромагнитную катушку с кантилевером, выполненным из магнитного или ферромагнитного проводящего материала.

4. Способ юстировки кантилевера, включающий подведение кантилевера с помощью двигательных элементов под луч лазера и подведение фотодатчика отклонения отраженного луча лазера, контроль сдвига фотодатчика по электрическому сигналу на основании данных предварительно проведенной калибровки, отличающийся тем, что после наводки луча лазера на кантилевер и перед проведением измерений двигательные элементы отводят от столика, на котором укреплены кантилевер и игла сканирующего туннельного микроскопа, или от столика с комбинированным зондом, оставляя его в ненапряженном состоянии.

Зеркальная система для усиления и концентрации энергии источника излучения // 2060523

Изобретение относится к оптическим приборам и может быть использовано в фото- и кинообъективах, телескопах

Зеркальная система усиления и концентрации энергии источника излучения // 2060522

Изобретение относится к приборостроению, в частности к оптико-механическим приборам для концентрации энергии источников энергии, и может быть использовано в микроскопах, телескопах, фотокинокамерах

Микроманипулятор // 2041480

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано для создания микроперемещений в медико-биологической технике, химической, электронной и других отраслях промышленности

Микроскоп для работы в проходящем и (или) отраженном свете // 2037854

Способ визуализации микроконтрастных объектов и оптический поляризационный наноскоп для его осуществления // 2029976

Конфокальный сканирующий микроскоп // 2018891

Изобретение относится к микроскопии, а именно к устройству конфокальных микроскопов, и может быть использовано при послойном исследовании различных образцов методом сканирования в проходящем или отраженном свете

Способ формирования изображения в растровом оптическом микроскопе // 2018164

Изобретение относится к оптоэлектронике и может быть использовано при разработке конструкции растровых оптических микроскопов (РОМ)

Ахроматический объектив микроскопа // 2017180

Изобретение относится к оптическому приборостроению, а именно к объективам микроскопов

Безрефлексный микрообъектив большого увеличения для отраженного света // 2012909

Изобретение относится к микроскопии и может быть использовано в измерительных микроскопах отраженного света для измерения и фотографирования особо мелких топографических структур в светлом и темном полях при оценке качества изготовления и аттестации в условиях промышленного производства изделия микроэлектроники

Микрообъектив с увеличенным рабочим расстоянием // 2104575

Высокоапертурный планапохроматический микрообъектив // 2104576

Изобретение относится к микроскопии, к планапохроматическим объективам микроскопа и может быть использовано для комплектации лабораторных и исследовательских моделей биологических, поляризационных, люминесцентных и других микроскопов

Портативный микроскоп // 2108607

Изобретение относится к оптической промышленности и может быть использовано при медикобиологических экспресс-анализах

Портативный микроскоп // 2108607

Устройство перемещения держателя объекта // 2112260

Изобретение относится к точному приборостроению и может быть использовано в контрольно-измерительной технике, в частности в микроскопах сравнения и стереоскопических микроскопах

Осветитель // 2113724

Осветительная система микроскопа // 2117970

Устройство для манипулирования, воздействия и наблюдения за маленькими частицами, в особенности биологическими частицами // 2120614

Бинокулярная лупа // 2126546

Увеличивающее стереоскопическое устройство // 2128354