Способ динамического контроля импульсного газонапуска

Авторы патента:

G01L21/34 - с использованием электрических разрядных приборов с холодными катодами

Способ динамического контроля импульсного газонапуска в вакуумную камеру путем измерения давления в камере, в процессе которого контролируют ток, протекающий через зондируемый промежуток газовой среды под действием приложенного к нему напряжения, отличающийся тем, что в процессе газонапуска контролируют скорость изменения тока под действием прикладываемого к зондируемому промежутку нарастающего напряжения, которое сбрасывают каждый раз, как только контролируемый токовый сигнал достигает порогового уровня, установленного выше уровня его шумов, а давление газа определяют по максимальным значениям напряжения на газовом промежутке.

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет повысить точность измерений давления в диапазоне 101-5 103 Па

Способ измерения давления в области газового разряда // 1673902

Изобретение относится к измерительной технике

Способ измерения давления и устройство для его осуществления // 1275240

Способ контроля параметров газовой среды и устройство для его осуществления // 1262317

Изобретение относится к приборостроению и позволяет повысить точность контроля параметров газовой среды при пониженных давлениях

Магниторазрядный датчик давления // 1203389

Магниторазрядный способ измерения давления // 1150506

Электроразрядный датчик давления // 1107021

Магниторазрядный манометр // 1013781

Магнитный электроразрядный датчик давления // 993070

Датчик давления // 979924

Устройство для измерения параметров газовых потоков // 2246707

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для обнаружения потока разреженного газа, измерения его концентрации и направления, в частности, в космонавтике

Датчик вакуума // 2427813

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для контроля герметичности космических аппаратов и орбитальных станций

Датчик вакуума // 2561235

Изобретение относится к области измерительной и космической техники и может быть использовано для контроля герметичности космических аппаратов. Техническим результатом изобретения является увеличение электрической прочности и вибростойкости конструкции датчика вакуума. Датчик вакуума содержит корпус, коаксиальный цилиндрический анод, дисковые катоды и магнитную систему, составленную из двух дисковых постоянных магнитов, которые вместе с коаксиальным цилиндрическим анодом и дисковыми катодами размещены в корпусе датчика с отверстиями. Коаксиальный цилиндрический анод выполнен с отверстиями, внутри коаксиального цилиндрического анода на дисковых катодах расположены дисковые постоянные магниты, и каждая пара дисковых катодов и дисковых магнитов скреплена между собой и закреплена внутри цилиндрического анода диэлектрическими держателями. Верхний и нижний диэлектрические держатели выполнены из фторопласта или материала с подобными диэлектрическими свойствами, нижний диэлектрический держатель с клеммами для подачи высокого напряжения установлен на основании, которое прикреплено к корпусу винтами, а воздушные полости между корпусом и верхним диэлектрическим держателем и основанием и нижним диэлектрическим держателем заполнены герметиком. 1 ил.