Шестиосный электростатический акселерометр

 

1. Шестиосный электростатический акселерометр, содержащий крестообразную чувствительную массу, сформированную тремя взаимно перпендикулярными пластинами с электропроводящими поверхностями, единую систему электродов подвеса и съема информации, следящую систему, корпус, отличающийся тем, что пластины выполнены в виде равных по площади квадратов и образуют восемь равных квадрантов, в каждом из которых расположен элемент с тремя взаимно перпендикулярными поверхностями, обращенными к чувствительной массе, с нанесенными на них квадратными электродами площадью 0,95 - 0,85 от соответствующей площади чувствительной массы.

2. Акселерометр по п.1, отличающийся тем, что по периметру каждой пластины чувствительной массы закреплен обод, выполненный из материала с плотностью, превышающей плотность материала чувствительной массы.

3. Акселерометр по пп.1 и 2, отличающийся тем, что электроды подвеса и съема информации утоплены относительно поверхности элементов их крепления в корпусе, а на поверхность элементов, выступающую над электродами и обращенную к чувствительной массе, нанесено поликристаллическое покрытие из металла электропроводящей поверхности чувствительной массы, соприкасающейся с этой поверхностью, при этом это покрытие изолировано от электродов и электрически соединено с корпусом.

4. Акселерометр по пп.1 и 2, отличающийся тем, что диагональные емкости, образованные каждой пластиной и электродами, включены попарно в один канал электростатического подвеса.