Датчик давления

Авторы патента:

Л. В. Новиков , Р. С. Смирнова

G01L9/06 - пьезорезистивных устройств

,,210436

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскик

Социалистическик

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 21.III. 1966 (№ 1063854/26-10) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 06.1!.1968. Бюллетень № 6

Дата опубликования описания 9.IV.1968

Комитет по делам изобретений и открытиЯ при Совете Мииистров

СССР

8.8) Авторы изобретения

Л. В. Новиков и P. С. Смирнова

Центральный научно-исследовательский институт машиностроения

Заявитель

ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

Известные датчики давления содержат корпус и мембрану с тензометрами.

Предлагаемый датчик давления отличается от известных тем, что в нем тензометры BL. полнены из полупроводниковой пленки и нанесены на мембрану в виде двух концентрических колец. Такое выполнение датчика позволяет повысить его чувствительность.

На чертеже схематически изображена конструкция описываемого датчика давления.

На круглую мембрану 1, жестко закрепленную по контуру, предварительно наносится плазменным методом тонкий слой изоляции 2 из окиси алюминия, который затем шлифуется.

На слой изоляции 2 в вакууме с использованием трафарета методом термического испарегия и конденсации наносится германий концентрическими кольцами около центра мембраны в областях максимальных радиальнь;х напряжений от места заделки мембраны.

В местах пайки выводов наносится серебро.

Под воздействием давления мембрана 1 прогнется и ее деформация преобразуется чензометрами 8 в электрический сигнал.

Датчик давления по данному изобретению может быть использован для статических и динамических измерений давления без приме10 нения усилителя.

Предмет изобретения

Датчик давления, содержащий корпус и мембрану с тензометрами, отличающийся тем, 15 что, с целью повышения чувствительности, тензометры выполнены из полупроводниковой пленки и нанесены на мембрану в виде двух концентрических колец.

210436

Составитель Г. Н. Невская

Редактор П. И. Шлайн Техред A. А. Камышникова Корректоры: М. П. Ромашова и T. Д. Чунаева

Заказ 594/20 Тираж 530 Подписное

Ц1(ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

Похожие патенты:

Патент 192465 // 192465

Патент 153138 // 153138

Устройство с применением пьезометров для замера среднего давления из замеряемых ими давлений в различных местах водовода // 129854

Устройство для измерения давлений // 75909

Измерительный преобразователь разности давлений // 2114407

Изобретение относится к измерительному преобразователю разности давлений с разделенным на две части поперек его продольной оси внутренним корпусом, между двумя частями корпуса которого закреплена несущая датчик давления 6 центральная мембрана 7

Полупроводниковый датчик давления // 2134869

Изобретение относится к преобразователям давления в дискретный электрический сигнал и может быть использовано автоматизированных системах управления

Датчик давления // 2137099

Изобретение относится к датчикам давления с защитой хрупкой мембраны от избыточного давления

Устройство для измерения давления // 2139509

Изобретение относится к измерительной технике

Датчик давления (варианты) // 2143673

Устройство искробезопасного питания двухпроводного датчика // 2149490

Изобретение относится к области элетротехники и может быть использовано при проектировании устройств искробезопасного питания двухпроводных датчиков, например датчиков давления

Мультипликативный микроэлектронный датчик давления (варианты) // 2247342

Изобретение относится к измерительной технике, в частности, к технике измерения неэлектрических величин, а именно, к полупроводниковым датчикам давления

Измеритель пульсовой активности // 2402977

Изобретение относится к медицинской технике, а именно к устройствам диагностической кардиологической техники, и представляет собой измеритель пульсовой активности

Датчик давления в трубопроводе // 2054166

Изобретение относится к приборостроению и может быть использовано в датчиках давления, предназначенных для использования в условиях, когда в рабочей среде или снаружи датчика присутствуют воспламеняющиеся смеси

Устройство искробезопасного питания двухпроводного датчика // 2082955

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам искробезопасного питания двухпроводного датчика, например, давления