Устройство для автоматического регулирования

 

Ьбесок. втатеитно-тех;

О П И""С" А Н И Е

ИЗОБРЕТЕНИЯ

212235

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Зависимое от авт. свидетельства ¹

Заявлено 02Л.1967 (№ 1125221/22-1) с присоединением заявки ¹

Приоритет

Опубликовано 14.Ч.1969. Бюллетень № 17

Дата опубликования описания 14.X.1969

Кл. 12g, 17/18

МПК В 011

УДК 669-172.002.2.002.5 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

В. А. Андрианов, И. К. Бронштейн, В. Ю. Жвирблянский, И. П. Кагановский Б. М. Каневский, Г. П. Максимов, В. И. Прокофьев, M. А. Сиваков, Б. И. Синчук, И. Л. Шендерович и Г. И. Шубский

Государственный научно-исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ АВТОМАТИЧЕСКОГО РЕГУЛИРОВАНИЯ

ПРОЦЕССА ВЫТЯГИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ

ИЗ РАСПЛАВА

В известных устройствах для автоматического регулирования процесса вытягивания монокристаллов из расплава по заданной програм. ме, включающих задающее и программирующее устройства, программирование осуществляется по ступеням в функции времени. При этом, вследствие нестабильности скорости вытягивания, точность воспроизведения программы уменьшается.

Описываемое устройство отличается от известных тем, что задающее устройство выполнено в виде ряда кулачков, фиксированных на жестко прикрепленной к колонне печи вытягивания параллельно штоку затравки, на правляющей и переключателя, установленного подвижно по вертикали на каретке привода перемещения штока затравки, связанного электрически с программирующим устройством. Число кулачков соответствует количеству ступеней прог,раммы.

Это позволяет получать монокристаллы более правильной геометрической формы.

На фиг. 1 изображена печь вытягивания с задающим и программирующим устройствами; на фиг. 2 — задающее устройство; на фиг. 3 — программирующее устройство.

Задающее устройство состоит из фиксированных на направляющей 1 колонны 2 печи 3 кулачков 4, число которых соответствует количеству ступеней программы, и подвижного по вертикали переключателя 5, установленного на каретке 6 привода перемещения штока 7 затравки 8.

После расплавления металла в тигле 9 и затравления переключатель подводят к нижнему кулачку при помощи винта 10; при срабатывании переключателя шаговый искатель 11 программирующего устройства включает первую ступень программного изменения температуры.

Кулачки могут перемещаться по направляющей и устанавливаться в местах, определяемых программой. По мере вытягивания перемещающийся переключатель в зависимости от длины вытянутого монокристалла переключает ступени программы. Программа в течение ,процесса вытягивания может быть изменена.

Положение кулачков на направляющей определяют с помощью линейки 12.

При включении первой ступени программного изменения температуры реверсивный двигатель 13 приводит в движение реохорд-задатчик 14 со скоростью, определяемой положением переменного сопротивления 15, в связи с чем изменяется регулируемый параметр (температура, напряжение, мощность, скорость вытягивания).

Предмет изобретения

Устройство для автоматического регулиро8О вания процесса вытягивания монокристаллов

212235

Составитель Т. Фирсова

Текред Л. Я. Левина Корректор Е. Н, Зубкова

Редактор Е. Поздняк

Заказ 2422 Тираж 480 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и OTKpbll èé при Совете Министров СССР

Москва, Центр, лр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2 из расплава по заданной ступенчатой программе, включающее задающее и программирующее устройства, отличающееся тем, что, с целью получения монокристаллов более правильной геометрической формы, задающее устройство выполнено в виде ряда кулачков, фиксированных на жестко прикрепленной к колонне печи вытягивания направляющей, параллельной штоку затравки, число которых соответ твует количеству ступеней программы, и переключателя, установленного подвижно по вертикали на каретке привода перемещения штока затравки и связанного электрически с программирующим устройством.

Устройство для автоматического регулирования Устройство для автоматического регулирования 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к устройству для управления процессом выращивания монокристаллов из расплава по методу "Чохральского" и может быть использовано в полупроводниковом производстве, для получения монокристаллических слитков германия

Изобретение относится к выращиванию монокристаллов из расплавов или раствор-расплавов

Изобретение относится к выращиванию кристаллов

Изобретение относится к выращиванию монокристаллов, в частности к стадии предподготовки раствор-расплавов или расплавов, т.е

Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых материалов для электронной техники, в частности кремния, получаемого для этих целей методом Чохральского

Изобретение относится к производству, для управления процессом выращивания монокристаллов из расплава по методу "Чохральского" и может быть использовано в полупроводниковом производстве, для получения монокристаллических слитков германия

Изобретение относится к области получения монокристаллов полупроводниковых материалов и может быть использовано при получении монокристаллов кремния методом Чохральского

Изобретение относится к области определения структуры кристалла кремния и может быть использовано при определении бездефектной зоны монокристалла кремния при выращивании кристаллов по методу Чохральского

Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых материалов и может быть использовано при выращивании монокристаллов кремния по методу Чохральского
Наверх