Способ изготовления тонкослойного непроволочного электрического сопротивления

Авторы патента:


 

2l828I

ОПИСАЙИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

/ +\, и.Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 29.Xll.1962 (№ 719572у26-9) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 17 V.1968. Бюллетень ¹ 17

Дата опубликования описания 6.IX.1968

Кл. 21с, 55/01

МПК Н 01с

УДК 621.316.843.002.2 (088.8) ттомитет по делам иаобретений и открытий при Совете Министров

СССР

Автор изобретения

В А. Бочкарева

Заявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОСЛ01т1НОГО

НЕПРОВОЛОЧНОГО ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО СОПРОТИВЛЕНИЯ

Непроволочные электрические сопротивлеттия имеют широкое применение в электротехнике.

Известны способы производства непроволочных сопротивлений на плоских изоляционных основаниях с использованием трафарета.

Процесс изготовления трафаретов трудоемкий и дорогостоящий и потому способ получения непроволочных сопротивлений мало пригоден для массового производства.

Предлагаемый способ основан на использовании законов геометрической оптики, которым подчиняется молекулярный поток, распространяющийся в условиях глубокого вакуума, когда длина свободного пробега молекул много больше размеров эвакуируемой камеры.

Для получения зигзагообразной проводящей ленты сопротивления используется сетка с прямоугольной формой ячейки. Сетка помещается между испарителем и плоским изоля ционным основанием так, что одна половина ее пересекающихся волокон направлена параллельно линейному испарителю, а другая— перпендикулярно ему. Небольшие кусочки во.локон сетки, идущие параллельно испарителю, удаляются.

Сущность способа поясняется фиг. 1; на фиг. 2 показана ячейка с сеткой с неудаленными и удаленными кусочками нитеи.

11сточник света в виде светящейся нити (фиг. 1, а) расположен вертикально. Помещенный горизонтально на некотором расстоянии от нити стержень 2 не даст тени на экране т, находящемся за ним, благодаря засвечиванию экрана косыми лучами, ндущ"ми от светящейся нити. Если положение стержня изменить на вертикальное (фиг. 1, б, то на экране возникнет его тень. Поместив

10 вместо стержня металлическую сетку с квадратными отверстиями таким образом, чтобы ее проволоки были направлены вертикально и горизонтально, можно получить тень на экране в виде вертикально направленных полосок (фиг. 1, в).

Если в сетке (фиг. 2, а) изъять небольшие кусочки вертикальных проволок, как показано на фиг. 2, б, то теневой рисунок на экране будет зигзагообразным.

При замене светящейся нити линейным испарителем имеется полная возможность получить такой рисунок из проводящего конденсата, который представляет собой зигзагооб25 разную ленту. Образование изолирующих частков между двумя соседними зигзагами ленты в условиях достаточно глубокого вакуума будет обязано наличию молекулярной тени от вертикальных проволок сетки. Горн30 зонтальные проволоки не дадут такой тени.

218231

1(9Ъ /Г с

Составигсль М. Порфирова

Редактор Э. H. Шибаева Текред А. А, Камышникова Корректорьн Л. В. Юшина и Л. В. Наделяева

Заказ 2108j16 Тир ага 630 Подписное

ЦНИИПИ Комитета ио делам изобретен.ш itîòêðûòèé при Совете Миш:стров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр, Сапунова, 2

Высокая механическая прочность металлических сеток, пзготазливаемых промышленностью, делает реальным получение свыше 10 и р 0 В Од я щи х II 0 л 0 со к н 2 1 л1,"t1 11 з о;1 я ь;и 0 н и 0 ГО

Основания.

Простот2 !1 де1пеВнзна Осуществления способа при высокой его разрешаго1цсй способности явля1отся очевидными преимушествами предложепногÎ способа.

11редмет изобретения

1, Способ изготовления тонкослойпого непроволочного электрического сопротивления

Н2 плоском изоляционном основании, отличаюи ийся тем, что, с целью получения парал; сльно расположс1ШЫХ Одна ОтпаентЕЛьно

Друг011 пс;100ок из провод11щего слоя, между .инсй ым нспар1ггелем и изоляционным ош10iiанием но.;!åIIIàå !oÿ сеrка с прямоугольной

5 (11ора1ой ячейки, прп =--:ом сетка устанавлип2ется таlI, что О;1на половина пересек210 щихся волокон направлена параллельно линейно:,1у испарител10, а другая — перпендикуляр:10 ему.

10 2. Способ по п. 1, orзичп1оцийся тем, что

;1олуче1пгс зигзагообразной полоски из проводящего слоя с параллельным расположением соссдш1х звеньев зигзага обеспечивается путем удаления из сетки небольших кусочков

15 Вотокон. идущих параллел1я1о испарител10.

Способ изготовления тонкослойного непроволочного электрического сопротивления Способ изготовления тонкослойного непроволочного электрического сопротивления 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано для контроля осаждения резистивных пленок при изготовлении плат микросхем, микросборок и пленочных резисторов

 // 262226

Изобретение относится к синтезу островковых металлических катализаторов и углеродных нанообъектов и может быть использовано в промышленности для производства нанообъектов и наноструктурированных пленок. Способ формирования углеродных нанообъектов на ситалловых подложках включает размещение ситаллового контрольного образца вместе с ситалловыми рабочими подложками в зоне напыления, формирование на упомянутых рабочих подложках и контрольном образце островковой структуры металлического пленочного катализатора с осуществлением контроля электрофизических параметров формируемой островковой структуры металлического катализатора посредством измерения емкости островковой структуры катализатора на контрольном образце, прекращение напыления упомянутого катализатора при достижении пикового значения емкости образованной структуры металлического катализатора на ситалловом контрольном образце, напыление углерода на островковую структуру металлического катализатора, образованную на ситалловых поверхностях контрольного образца и рабочих подложек, контроль сопротивления наноструктуры, состоящей из образующихся углеродных нанообъектов на ситалловом контрольном образце и прекращение напыления углерода при уменьшении сопротивления сформированной структуры из углеродных нанообъектов, синтезированных на поверхности островковой структуры катализатора, до значения, при котором происходит замыкание островковой структуры упомянутого катализатора упомянутыми углеродными нанообъектами. Обеспечивается формирование островкового пленочного катализатора на ситалловых подложках для последующего синтеза углеродных нанообъектов на его поверхности. 6 ил., 2 табл.
Наверх