Диффузионный насос для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов

 

Насос использован для откачки вакуумного объема линии изготовления кинескопов. Насос включает нагреватель, систему охлаждения, систему улавливания паров масла и корпус. Корпус насоса выполняют составным из трех частей, герметично связанных между собой. Нижняя и верхняя части выполнены металлическими, а средняя - из керамики. Верхняя часть связана с системой охлаждения. Внутренняя поверхность средней части выполнена из материала с коэффициентом теплопроводности 380-420 Вт/(м·K), например меди, толщиной 3-5 мм. На внутренней поверхности средней части расположена дополнительная система охлаждения. Отношение длин каждой из частей к общей длине корпуса диффузионного насоса составляет 1/3 : 1/3 : 1/3. Применение предлагаемого диффузионного насоса для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов обеспечивает повышение экологичности откачного поста и снижение стоимости насоса за счет отсутствия дорогостоящих материалов типа тепловой трубы. 1 з.п.ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в диффузионных насосах для откачки вакуумного объема линии изготовления кинескопов.

Известен диффузионный насос, содержащий нагреватель, систему охлаждения, систему улавливания паров масла и корпус, выполненный составным из трех частей, герметично связанных между собой, нижняя из которых - металлическая, средняя выполнена из материала с низким коэффициентом теплопроводности, а верхняя связана с системой охлаждения (а.с.N 1276856, МКИ F 04 F 9/00, 1985 г.).

Недостатком известного диффузионного насоса является низкая экологичность при высокой стоимости.

Наиболее близким техническим решением является диффузионный насос для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов, содержащий нагреватель, систему охлаждения, система улавливания паров масла и корпус, выполненный составным из трех частей, герметично связанных между собой, нижняя из которых - металлическая, средняя выполнена из керамики, а верхняя выполнена в виде цилиндрической тепловой трубы и связана с системой охлаждения (а.с. N 1813933, МКИ F 04 F 9/00, 1993).

Недостатком известного диффузионного насоса является низкая экологичность при высокой стоимости насоса из-за использования дорогостоящей тепловой трубы.

Задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является обеспечение высокой экологичности диффузионного насоса при его низкой стоимости.

Поставленная задача решается тем, что в диффузионном насосе для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов, содержащем нагреватель, систему охлаждения, систему улавливания паров масла и корпус, выполненный составным из трех частей, герметично связанных между собой, нижняя из которых - металлическая, средняя выполнена из керамики, верхняя - металлическая и связана с системой охлаждения, внутренняя поверхность средней части выполнена из материала с коэффициентов теплопроводности 380 - 420 Вт/(м·K) толщиной 3 - 5 мм, на внутренней поверхности средней части расположена дополнительная система охлаждения. Отношение длин каждой из частей к общей длине корпуса диффузионного насоса составляет 1/3:1/3:1/3.

Введение в диффузионный насос для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов дополнительной системы охлаждения на внутренней поверхности средней части, выполненной из материала с коэффициентом теплопроводности 380 - 420 Вт/(м·K), обеспечивает эффективное охлаждение диффузионного масла и снижает количество паров масла в вакуумном объеме, а отсутствие дорогостоящей тепловой трубы снижает стоимость насоса, что и позволяет обеспечить высокую экологичность диффузионного насоса при его низкой стоимости. В качестве материала, из которого выполнена внутренняя часть корпуса, может быть использована медь.

На чертеже представлена конструкция диффузионного насоса.

Диффузионный насос для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов (фиг. 1) содержит нагреватель 1, систему охлаждения 2, систему улавливания паров масла 3 и корпус 4, выполненный составным из трех частей, герметично связанных между собой. Нижняя часть 5 корпуса 4 - металлическая, средняя часть 6 выполнена из керамики, а верхняя часть 7 - металлическая. Верхняя часть 7 корпуса 4 связана с системой охлаждения 2. Внутренняя поверхность 8 средней части 6 выполнена из материала с коэффициентом теплопроводности 380 - 420 Вт/(м·K), например меди, толщиной 3 - 5 мм. На внутренней поверхности 8 средней части 6 расположена дополнительная система охлаждения 9, выполненная в виде змеевика. Конструктивное выполнение подобных систем охлаждения известно и описано, например, в учебнике Розанова Л.Н. "Вакуумная техника", М., "Высшая школа", 1990 г., с.79 - 114. Отношение длин каждой из частей 5, 6, 7 к общей длине корпуса 4 составляет соответственно 1/3: 1/3: 1/3. Это соотношение оптимально и получено на основе экспериментальных исследований.

Диффузионный насос для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов работает следующим образом.

На нагреватель 1 подается напряжение, происходит нагрев и испарение масла. Посредством системы охлаждения 2 и системы улавливания паров масла 3 происходит удаление паров масла и молекул воздуха из вакуумного объема. Дополнительная система охлаждения 9 обеспечивает независимое охлаждение средней части 6, что уменьшает количество паров масла в вакуумном объеме.

Причем через дополнительную систему охлаждения 9 подается вода, а через основную 2 - жидкий азот.

Применение предлагаемого диффузионного насоса для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов обеспечивает повышение экологичности откачного поста и снижение стоимости насоса за счет отсутствия дорогостоящих материалов, типа тепловой трубы.

Формула изобретения

1. Диффузионный насос для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов, содержащий нагреватель, систему охлаждения, систему улавливания паров масла и корпус, выполненный составным из трех частей, герметично связанных между собой, нижняя из которых - металлическая, средняя выполнена из керамики, верхняя - металлическая и связана с системой охлаждения, отличающийся тем, что внутренняя поверхность средней части выполнена из материала с коэффициентом теплопроводности 380 - 420 Вт/(м·K) толщиной 3 - 5 мм, на внутренней поверхности средней части расположена дополнительная система охлаждения.

2. Диффузионный насос для откачки вакуумного объема линии изготовления цветных кинескопов по п.1, отличающийся тем, что отношение длин каждой из частей к общей длине корпуса диффузионного насоса составляет 1/3 : 1/3 : 1/3.

РИСУНКИ

Рисунок 1