Датчик резонаторный
Изобретение относится к измерениям механических параметров. Датчик содержит основание из монокристалла, в котором выполнены сквозные прорези с образованием чувствительного элемента с маятниковым подвесом в виде двух стержней и стержневого резонатора, концы которых соединены с основанием с одной стороны и чувствительным элементом - с другой. Чувствительный элемент свободно размещен в углублениях крышек, которые расположены по обе стороны основания и соединены с ним по периметру. Основание выполнено в виде скобы, с незамкнутой стороны которой расположен свободный конец чувствительного элемента, на котором установлено и зафиксировано дополнительное тело, выполненное в виде электропроводящего короткозамкнутого витка, взаимодействующего с магнитным полем, создаваемым магнитной системой. Техническим результатом является обеспечение работоспособности датчика резонаторного, выполненного по микроэлектронной технологии, в условиях действия вибраций и упрощение технологии регулировки коэффициента преобразования. 5 ил.
Таблицын
Формула изобретения
Датчик резонаторный, содержащий основание из монокристалла, в котором выполнены сквозные прорези с образованием чувствительного элемента и его подвесов в виде, по крайней мере, двух стержней и стержневого резонатора, одни концы которых соединены с основанием, а другие концы соединены с чувствительным элементом, свободно размещенным в углублениях крышек, которые расположены по обе стороны основания и соединены с ним по периметру, на стержнях подвеса выполнены упругие шарниры для перемещения чувствительного элемента относительно основания в направлении измерительной оси, стержневой резонатор электрически и механически соединен с электромеханическим преобразователем, отличающийся тем, что основание выполнено в виде скобы, с незамкнутой стороны которой расположен свободный конец чувствительного элемента, на котором установлено и зафиксировано дополнительное тело, выполненное в виде электропроводящего короткозамкнутого витка с возможностью взаимодействия с магнитным полем, создаваемым магнитной системой.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2, Рисунок 3, Рисунок 4, Рисунок 5, Рисунок 6, Рисунок 7, Рисунок 8, Рисунок 9, Рисунок 10, Рисунок 11
