Способ получения антидинатронного покрытия на керамике
23IOO 5
ОПИСАНИ Е
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советских
Социалистических
Республик I бибгдЮЪе44 фФ т
Зависимое от авт. свидетельства Хе
Заявлено 28.I V.1967 (.% 1154752/26-25) с присоединением заявки Мд
Приоритет
Опубликовано 15.XI.1968. Бюллетень М 35
Дата опубликования описания 1З.Ш.1969
Кл, 21g, 13/08
МПК Н Olj
УД К 621.3.032.7.55 (088.8) Номитет по делам изобретений и открытий при Совете министрое
СССР
Авторы изобретения В. Г. Аветиков, М. Д. Бершадская, А. А. Звягильский, Г. М. Приезжев и О. И. Павлов
Заявитель
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ АНТИДИНАГРОННОГО
ПОКРЫТИЯ HA КЕРАМИКЕ
Способ относится к технологии получения антидинатронного покрытия на алюмооксидной керамике, например, для подавления вторичного электронного резонансного разряда на керамических выводах энергии.
Известны способы получения антидинатронного покрытия на керамике нанесением тонкой пленки металла (титана, золота и др.) обычно путем распыления их в вакууме. Толщина распыленного металла должна находиться в строго определенных пределах, что технологически трудно осуществимо, особенно на изделиях сложной конфигурации. Кроме того, металлическое покрытие вызывает дополнительные омические потери и, следовательно, нежелательный дополнительный разогрев керамики.
Предлагаемый способ получения антидинатронного покрытия отличается тем, что на керамические изделия наносят порошкообразный диэлектрик, например нитрид бора, а затем проводят термообработку в защитной среде при температуре 700 — 1400 С в зависимости от типа керамики.
Благодаря этому толщина покрытия может колебаться в широких пределах, покрытие не ухудшает диэлектрических свойств керамики и, следовательно, не вызывает дополнительных потерь. Последнее обусловлено высокими диэлектрическими свойствами самого покры= тия — нитрида бора.
Способ осуществляют, например, следующим образом.
Порошкообразный нитрид бора обрабатывают соляной кислотой и горячей дистиллированной водой для очистки от примесей и тщательно высушивают при температуре 100 С.
Очищенный и высушенный порошок нитрида бора смешивают с биндером в мешалке. Полученную суспензию наносят на керамику пульверизацией, окунанием или намазкой в зависимости от вида покрываемых изделий.
Нанесенное покрытие закрепляют путем термической обработки в защитной среде (азот„ водород, формиргаз или аммиак) при температуре 700 †14 С в зависимости от вида керамики.
Испытание образцов с покрытием нитрида бора в резонаторах показало резкое снижение резонансного электронного тока.
Предмет изобретения
Способ получения антидинатронного покрытия на керамике, отличающийся тем, что, с целью снижения разогрева керамики, на ее поверхность наносят слой диэлектрика, например нитрида бора, а затем проводят термообработку в защитной среде при температуре
ЗО 700 — 1400 С в зависимости от типа керамики.
