Травильный раствор
Изобретение относится к составам растворов для травления стекла. Техническим результатом изобретения является повышение скорости травления стекла. Травильный раствор содержит HF, Н2SO4, глицерин и К2Cr2O7 при следующем соотношении компонентов, мас.%: HF - 55,0-65,0; H2SO4 - 27,0-32,0; глицерин - 2,0-3,0; К2Cr2O7 - 5,0-10,0. 1 табл.
Изобретение относится к составам растворов для травления стекла.
Известен травильный раствор, содержащий, мас.%: HF 66,0-75,0; H2SO4 20,0-30,0; глицерин - остальное (1).
Задача изобретения состоит в повышении скорости травления стекла. Технический результат достигается тем, что травильный раствор, содержащий HF и Н2SO4, глицерин, дополнительно содержит К2Cr2O7 при следующем соотношении компонентов, мас.%: HF 55,0-65,0; Н2SO4 27,0-32,0; глицерин 2,0-3,0; К2Cr2O7 5,0-10,0.
В таблице приведены составы травильного раствора.
Компоненты | Состав, мас. %: | ||
1 | 2 | 3 | |
HF | 65,0 | 60,0 | 55,0 |
H2SO4 | 27,0 | 30,0 | 32,0 |
СН2OH-СНОН-СН2OH | 3,0 | 2,0 | 3,0 |
К2Cr2O7 | 5,0 | 8,0 | 10,0 |
Скорость травления стекла, мкм/ч | 35-40 | 35-40 | 35-40 |
Для приготовления раствора компоненты дозируют в требуемых количествах. В HF добавляют глицерин и перемешивают. К2Cr2O7 смешивают с H2SO4, вливают в смесь HF и глицерина и перемешивают.
Стекло покрывают слоем парафина, процарапывают на нем рисунок и помещают в травильный раствор, где выдерживают при температуре 50°С. Продолжительность обработки выбирают в зависимости от глубины требуемого травления. После обработки поверхность стекла промывают.
Источники информации
SU 1079621 А1, 1984.
Травильный раствор, содержащий HF, H2SO4, глицерин, отличающийся тем, что дополнительно содержит K2Cr2O7 при следующем соотношении компонентов, мас.%: HF 55,0-65,0; H2SO4 27,0-32,0; глицерин 2,0-3,0; K2Cr2O7 5,0-10,0.