Устройство для контроля толщины пленки в процессе их нанесения на изделие
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
241 200
Союз Советских
Социалистических
Республик
Зависимое от авт. свидетельства №
Кл. 42Ь, 12/06
Заявлено 26.1.1968 (№ 1214955/25-28) с присоединением заявки ¹
Приоритет
МПК G 01Ь
УДК 531.717.1:
:621.383.4 (088.8) Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Опубликовано 18.1V.1969. Бюллетень № 14
Дата опубликования описания 25Л 111.1969
Авторы изобретения
И. А. Прудвиблох, Ю. И. Гребень, Ю. В. Кедра, В. M. ларец, Л. В. Траубе, Г. А. Оранский и Б. П. Сорока
Заявитель
Львовский политехнический институт
УСТРОИСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ
В ПРОЦЕССЕ ИХ НАНЕСЕНИЯ НА ИЗДЕЛИЕ
Известны успройства для ко нтроля толщины пленки в процессе их нанесения на изделие, например на катод, содержащие источник света, прозрачный свидетель, эталон, фотоприемники, расположенные соответственно за свидетелем и эталоном, и исполнительный орган для прекращения процесса нанесения пленки. Предлагаемое устройство отличается от известных тем, что оно снабжено электронной схемой,выда чи .команд исполнительному органу, содержащей,задатчик длительности измерения, сум мирую щий блок, входы кото1рого с вязаны с выходами фотоприемнико в, усилитель, IBxog,,êоторого связан с выходом суммирующего блока, и, логическую ячейку «И», один из входов;которой связали с усилителем, другой, подсоединен к выходу задагчика длительности измерения, причем выход логической ячейки «И» связа|н с исполнительным органном, а источник света выполнен B. виде им пульсной лампы с приспособлением для ее за пупскав,включающим датчик .положения свидетеля и блок задержки, начала измерения, cBrr|3BIHIHbIH с,этим датчиком.
Это по вы шает тонность контроля.
На чертеже изображена схема предлагаеxroIro устройст|ва.
Описьвваемое у стройство содержит источник 1 авета, эталон 2 оптической:плотности, прозрачный свидетель 3, фотоприемники 4 и 5, ржположенные соогветственно за свидетелем и эталоном, исполнительный орган б для прекращения процесса нанесения пленки и электронную схему выдачи команд исполнительному органу. Эта схема содержит задатчик 7 длительности измерения, суммирующий блок 8, усилитель 9 сигналов и логическую ячейку 10 «И». Входы суммирующего, блока 8 связаны с выходамтт фотоприемников 4 и 5, а,выход — с усилителем 9 сигналов. Один вход логической ячейки 10 «И» соединен с выходом усилителя 9, другой — с,выходом задатчика 7, а выход — с иополHèòåëüHым органом б.
Исто LHHII< 1 света .выполнен IB виде ихопульсной лампы с .приспособлением для ее запуска, включающим датчик 11 положения свидетеля и блок 12 задержки начала измерения, свя20 занный с этим,да,тчиком.
Свидетель 8 и катод 18 устано влены на кассете 14, при вращении которой происходит нанесение пленки на них пульверизатором 15.
Работает предлагаемое устройспво. следую25 щим образо м.
При прохождении свидетеля 8 возле источ;ника 1 света срабатывает датчик 11, за пускающий источник с вета и одновременно,включающий блок 12. Из источника света выходят два потомака лучистой энергии,, один из IKQTQ241700
Предмет изобретений
Составитель М. Б. Нанкин
Редактор М. В. Афанасьева Техред T. П. Курилко
Корректоры: Л. Корогод и А. Абрамова
Заказ 2076(3 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва, Центр, пр, Серова, д. 4
Типография, пр. Сапунова, 2 рых, проходя через эталон 2, попадает на фотоприемник 4, а другой — через свидетель
З,попадает на, фотоприемник 5. В фотоприемниках 4 и 5 Bозбуждается два электрических импульса, которые в проти|вофазе подаются на суммирующии блок 8; с выхода посл днего снимается разностный сипнал, например отрицательный импульс, подаваемый на вход усилителя 9. Далее усиленный им пульс посту пает на один из входов ячей ки 10 «И».
Блок 12, выключенный датчиком, дает при эгом зара нее устано влен ную,выдерноку времени, втече,ние которой разностный сигнал достигает своего максимального значения. По истечении выдержки времени срабатывает задатчик 7, выдающий положительный импульс на другой вход ячейки 10.
По мере увеличения толщины,на носимого слоя величина, разномастного HMIIIyëüñà, имеющая отрицательный знак, уменьшается по амплитуде и становится pBIBiHoй нулю при достижении толщины, пленки на катоде, ра вно и эталон ной. В этот момент ячейка 10 выдает сигнал ис пол нительному органу б,на прекраще ние,нанесения пленки.
Устройство для контроля толщины пленки в процессе ее нанесения на изделие, например на катод, содержащее источник света, прозрачный свидетель, эталон, фотоприемники, расположенные соответственно за свидетелем и эталоном, и исполнительный орган для прекращения процесса нанесения пленки, отличаюи1ееся тем, что, с целью повышения точности контроля, оно снабжено электронной схемой выдачи команд исполнительному органу, содержащей задатчик длительности измерения, суммирующий блок, входы которого связаны с выходами фотоприемников, усилитель, вход которого связан с IBBIxolgioM суммирующего блока, и логическую ячейку «И», один из входо в которой связан с усилителем, друго й,подсоединен к выходу задатчи ка длительности
20 измерения и выход овязан с исполнителыным
OPI BHOIM,, а ИСТОЧНИК аВЕта iBbIIIOvTHBH В ВИДЕ импульсной лампы с приспособлением для ее за пус ка, включающим датчик положения с видетеля и блок задержки начала измерения, 25 авя за н ный с этим датчиком.
