Способ ремонта лопаток из титановых сплавов

Изобретение относится к области машиностроения и может использоваться в турбомашиностроении при восстановлении эксплуатационных свойств рабочих и направляющих лопаток паровых турбин, газоперекачивающих установок и компрессоров газотурбинных двигателей, изготовленных из титановых сплавов. Способ включает снятие лопаток с ротора, удаление поверхностного дефектного слоя металла лопатки и термическую обработку. Термическую обработку осуществляют путем нагрева лопатки до температуры 200°С…540°С, выдержки в вакууме при этой температуре в течение не менее 40 минут для обеспечения процесса дегазации металла лопатки и восстановления его дислокационной структуры и охлаждения в вакууме до температуры окружающей среды. Изобретение позволяет снизить трудоемкость процесса, повысить эксплуатационные свойства лопаток за счет восстановления свойств материала еще до начала возникновения процессов ее интенсивного разрушения. 25 з.п. ф-лы, 9 табл.

 

Изобретение относится к области машиностроения и может быть использовано в турбомашиностроении при восстановлении рабочих и направляющих лопаток паровых турбин, газоперекачивающих установок и компрессоров газотурбинных двигателей, изготовленных из титановых сплавов.

Рабочие лопатки компрессора газотурбинного двигателя (ГТД) и газотурбинной установки (ГТУ), а также паровых турбин в процессе эксплуатации подвергаются воздействиям значительных динамических и статических нагрузок, а также коррозионному и эрозионному разрушению. Исходя из предъявляемых к эксплуатационным свойствам требований, для изготовления лопаток компрессора газовых турбин применяются титановые сплавы, которые по сравнению с техническим титаном имеют более высокую прочность, в том числе и при высоких температурах, сохраняя при этом достаточно высокую пластичность и коррозионную стойкость (например, титановые сплавы марок ВТ6, ВТ14, ВТ3-1, ВТ22 и др.). Указанные сплавы широко применяются, например, для изготовления лопаток турбин, работающих в условиях газоабразивной и влажно-паровой среды, при температурах до 500-540°С.

Лопатки турбин из титановых сплавов обладают повышенной чувствительностью к концентраторам напряжения. Поэтому дефекты, образующиеся в процессе эксплуатации деталей из этих сплавов, вызывают возникновение интенсивных процессов разрушения. Кроме того, при изготовлении или ремонте деталей из титановых сплавов необходимо учитывать ряд таких требований, как повышенное качество поверхности, увеличение радиусов перехода от одних сечений к другим и др.

Возникающий в процессе эксплуатации износ лопаток требует проведения либо их преждевременной замены, либо их восстановительного ремонта.

При длительной эксплуатации в поверхностном слое материала лопаток образуются различного рода дефекты и, кроме структурных изменений, происходит ухудшение физико-механических свойств поверхности и основы материала из-за насыщения газами (примесями внедрения - кислородом, азотом, углеродом, водородом, которые резко снижают пластичность, причем наиболее сильное отрицательное действие оказывают примеси внедрения, особенно газы. При насыщении всего лишь 0,003% Н, 0,02% N или 0,7% О титан полностью теряет способность к пластическому деформированию и хрупко разрушается. Особенно вреден водород, он малорастворим в α-титане и образует пластинчатые частицы гидрида, снижающего, в частности, ударную вязкость и отрицательно проявляющегося в испытаниях на замедленное разрушение.). Поскольку физико-механические свойства титана и титановых сплавов зависят от содержания примесей в металле, то при дальнейшей эксплуатации таких лопаток начинается ускоренный процесс разрушения (возникновение трещин, дефектов основы и др.), который проводит к сильному повреждению или разрушению лопатки.

В некоторых случаях лопатки, имеющие сильные повреждения, восстанавливают сварочными методами с последующей механообработкой (например, приваркой вставки с последующей механообработкой) [Патент РФ №2240215, МПК В23Р 6/00, 2004 г.] или [Патент РФ №2153965. Колосов В.И. Способ восстановления длины пера лопаток компрессора газотурбинного двигателя и устройство для его осуществления. МПК В23Р 6/00, 2000 г.], при этом устанавливают и фиксируют лопатку в охлаждаемом приспособлении, а затем осуществляют дуговую наплавку по торцу переменного профиля неплавящимся электродом в среде защитного газа с присадочной проволокой. Недостатки указанных способов ремонта - сложность обеспечения величины усталостной прочности сварного соединения, сопоставимой с усталостной прочностью основного материала, и вследствие этого низкое качество восстановления эксплуатационных свойств лопаток.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ ремонта лопаток из титановых сплавов, включающий снятие лопаток с ротора, дефектоскопию и оценку состояния материала лопатки, удаление поверхностного дефектного слоя металла лопатки и термическую обработку (Патент РФ №2316418 С1. СПОСОБ РЕМОНТА ЛОПАТОК ТУРБИННЫХ МАШИН. МПК В23Р 6/00, Бюл. №4, 2008 г.).

Основными недостатками аналогов и прототипа являются высокая трудоемкость и низкое качество восстановления эксплуатационных свойств лопаток. При этом термообработка после сварки не позволяет повысить весь комплекс физико-механических и технологических свойств (а в некоторых случаях приводит к охрупчиванию материала поверхностного слоя).

Известно, что для повышения ударной вязкости сварных соединений титановых сплавов производят высокотемпературный объемный отжиг (Г.А.Ильченко и др. Термическая обработка подвижным электронным лучом сварных соединений разноименных титановых сплавов. // Материалы VIII Всесоюзной конференции по электронно-лучевой сварке. М., МЭИ, 1983, с.59-65). Однако высокотемпературный объемный отжиг приводит к изменению геометрии маложестких деталей, а также деталей, имеющих неоднородности, образованные при восстановлении материала лопатки наплавочными или сварочными методами.

Более целесообразным является использование методов восстановления материалов лопаток, осуществляемых еще до начала процессов интенсивного разрушения детали.

Техническим результатом заявляемого способа является снижение трудоемкости процесса и повышение эксплуатационных свойств лопаток из титановых сплавов за счет восстановления свойств материала лопатки еще до начала возникновения процессов ее интенсивного разрушения.

Технический результат достигается тем, что в способе ремонта лопаток из титановых сплавов, включающем снятие лопаток с ротора, дефектоскопию и оценку состояния материала лопатки, удаление поверхностного дефектного слоя металла лопатки и термическую обработку, в отличие от прототипа термическую обработку осуществляют путем нагрева лопатки до температуры 200…540°С, выдержки в вакууме при этой температуре в течение не менее 40 минут для обеспечения процесса дегазации металла лопатки и восстановления его дислокационной структуры, охлаждения в вакууме до температуры окружающей среды с последующей упрочняющей обработкой.

Технический результат достигается также тем, что в способе ремонта лопаток из титановых сплавов после термообработки металла лопатки производят ее упрочняющую обработку электролитно-плазменным полированием, а вакуумное охлаждение лопатки осуществляют со скоростью 10…50°С/мин.

Технический результат достигается также тем, что в способе ремонта лопаток из титановых сплавов после термообработки металла лопатки производят ее упрочняющую обработку поверхностным пластическим деформированием (ППД), причем упрочняющую обработку ППД могут производить микрошариками.

Технический результат достигается также тем, что в способе ремонта лопаток из титановых сплавов либо непосредственно после термообработки в вакууме лопатки, либо после электролитно-плазменного полирования, либо после упрочняющей обработки ППД, в том числе после упрочняющей обработки микрошариками, производят ионную имплантацию и постимплантационный отпуск, при этом в качестве ионов для имплантации могут использоваться ионы Cr, Y, Yb, С, В, Zr, N, La, Ti или их комбинации, а ионная имплантация проводиться при энергии ионов 0,2-30 кэВ и дозе имплантации ионов 10¹⁰ до 5·10²⁰ ион/см².

Технический результат достигается также тем, что в способе ремонта лопаток из титановых сплавов после имплантации производят нанесение на лопатку защитного покрытия, в том числе и многослойного, причем при нанесении защитного покрытия может производится дополнительная ионная имплантация, а в качестве материала защитного покрытия могут использоваться нитриды металлов Me-N, карбиды металлов Ме-С и карбо-нитриды металлов Me-NC, где Me - Ti, Zr, TiZr, N - азот, С - углерод, а толщины слоев многослойного защитного покрытия из чередующихся слоев металлов Me и нитридов металлов Me-N, карбидов металлов Ме-С или карбо-нитридов металлов выбираться из диапазонов: δ_Me=0,20…10 мкм, δ_Ме-N=0,10…6 мкм, где δ_Ме - толщина слоя металла, δ_Me-N - толщина слоя нитрида металла. При этом нанесение покрытия могут осуществлять ионно-плазменными методами и/или электронно-лучевым испарением и конденсацией в вакууме. А также газотермическими методами (плазменным, детонационным, газопламенным напылением и др.).

Таким образом, осуществление нагрева лопатки до температуры 200…540°С с осуществлением термообработки в вакууме при этой температуре в течение не менее 40 мин позволяет произвести как дегазацию материала лопатки, так и восстановить его физико-химические и структурные свойства. Кроме того, применение дополнительных методов упрочняющей обработки, модифицирования поверхностного слоя материала лопатки и нанесения защитных покрытий, в сочетании с улучшенными свойствами материала лопатки, а также устранение необходимости наплавки и размерной механообработки позволяют достичь эффекта предлагаемого технического решения - снижение трудоемкости процесса и повышение надежности при восстановлении эксплуатационных свойств лопаток из титановых сплавов. Причем применение этих методов упрочнения, модифицирования и нанесения покрытий для способа-прототипа в результате возникновения неоднородностей материала детали, связанных с необходимостью наплавки (нанесения) чужеродного материала и проведением размерной механообработки, не позволяют достичь такого же высокого технического результата по надежности, как в заявляемом техническом решении.

Для оценки стойкости лопаток, восстановленных по прототипу и предлагаемому способам, были проведены следующие исследования.

Режимы и условия восстановления лопаток из титановых сплавов ВТ6, ВТ3-1, охватывающие как режимы обработки по способу-прототипу, так и предлагаемому способу обработки, приведены в таблицах с 1 по 7. По способу-прототипу использовались образцы с восстановленным наплавкой материалом с последующей механической обработкой до получения требуемого размера.

Проведенные исследования позволили оценить влияние процесса термообработки и дегазации в вакууме на свойства восстановленных деталей как после наплавки материала на детали (способ-прототип), так и непосредственно после эксплуатации до начала процессов разрушения детали (предлагаемый способ).

Таблица 1
№	Марка титанового сплава	Режимы восстановления лопаток
		Способ-прототип (Вариант А1)	Предлагаемый способ (Вариант В1)
Т, °С	Среда	τвыд, час	Vохл	Т, °С	Среда	τвыд, час	Vохл, °С/мин
1	ВТ6	540	Вакуум	3	30	540	Вакуум	3	30
2	ВТ3-1	540	3	30	540	3	30

Таблица 2
№	Марка титанового сплава	Режимы восстановления лопаток
		Способ-прототип (Вариант А2)	Предлагаемый способ (Вариант В2)
Т, °С	Среда	τвыд, мин	Vохл	Т, °С	Среда	τвыд, мин	Vохл, °С/мин
1	ВТ6	540	Вакуум	40	20	540	Вакуум	40	20
2	ВТ3-1	540		40	20	540		40	20

Таблица 3
№	Марка титанового сплава	Режимы восстановления лопаток
		Способ-прототип (Вариант A3)	Предлагаемый способ (Вариант В3)
Т, °С	Среда	τвыд, час	Vохл	Т, °С	Среда	τвыд, час	Vохл, °С/мин
1	ВТ6	200	Вакуум	7	10	200	Вакуум	7	10
2	ВТ3-1	200	7	10	200	7	10

Таблица 4
№	Марка титанового сплава	Режимы восстановления лопаток
		Способ-прототип (Вариант А4)	Предлагаемый способ (Вариант В4)
Т, °С	Среда	τвыд, час	Vохл	Т, °С	Среда	τвыд, час	Vохл, °С/мин
1	ВТ6	500	Вакуум	1,5	20	500	Вакуум	1,5	20
2	ВТ3-1	500	1,5	20	500	1,5	20

Таблица 5
№	Марка титанового сплава	Режимы восстановления лопаток
		Способ-прототип (Вариант А5)	Предлагаемый способ (Вариант В5)
Т, °С	Среда	τвыд, час	Vохл	Т, °С	Среда	τвыд, час	Vохл, °С/мин
1	ВТ6	300	Вакуум	5	15	300	Вакуум	5	15
2	ВТ3-1	300	5	15	300	5	15

Таблица 6
№	Марка титанового сплава	Режимы восстановления лопаток
		Способ-прототип (Вариант А6)	Предлагаемый способ (Вариант В6)
Т, °С	Среда	τвыд, час	Vохл	Т, °С	Среда	τвыд, час	Vохл, °С/мин
1	ВТ6	540	Вакуум	1,5	20	540	Вакуум	1,5	20
2	ВТ3-1	540	1,5	20	540	1,5	20

Таблица 7
№	Марка титанового сплава	Режимы восстановления лопаток
		Способ-прототип (Вариант А7)	Предлагаемый способ (Вариант В7)
Т, °С	Среда	τвыд, час	Vохл	Т, °С	Среда	τвыд, час	Vохл, °С/мин
1	ВТ6	540	Вакуум	5	25	540	Вакуум	5	25
2	ВТ3-1	540	5	25	540	5	25

Таблица 8
№	Марка титанового сплава	Режимы восстановления лопаток
		Способ-прототип (Вариант А8)	Предлагаемый способ (Вариант В8)
Т, °С	Среда	τвыд, мин	Vохл	Т, °С	Среда	τвыд, мин	Vохл, °С/мин
1	ВТ6	500	Вакуум	30	25	500	Вакуум	30	25
2	ВТ3-1	500	30	25	500	30	25

Таблица 9
№	Марка титанового сплава	Режимы восстановления лопаток
		Способ-прототип (Вариант А9)	Предлагаемый способ (Вариант В9)
Т, °С	Среда	τвыд, мин	Vохл	Т, °С	Среда	τвыд, мин	Vохл, °С/мин
1	ВТ6	150	Вакуум	40	25	150	Вакуум	40	25
2	ВТ3-1	150	40	25	150	40	25

Анализ результатов сравнительных испытаний показал, что наилучшие свойства лопаток из титановых сплавов обеспечивает предлагаемый способ восстановления деталей. Образцы, обработанные по предлагаемому способу, характеризуются лучшими эксплуатационными свойствами и наименьшим количеством дефектов материала детали.

Были также проведены испытания на выносливость и циклическую прочность лопаток в условиях эксплуатационных температур (при 300-450°С) на воздухе. В результате эксперимента было установлено следующее: условный предел выносливости (σ_-1) лопаток (после ремонта) в среднем составляет:

1. После восстановления и механообработки лопаток:

1) по способу-прототипу: 290-325 МПа;

2) по предлагаемому способу: 405-420 МПа;

2. После обработки микрошариками:

1) по способу-прототипу: 315-440 МПа;

2) по предлагаемому способу: 418-430 МПа;

3. После имплантации ионов Cr, Y, Yb, С, В, Zr:

1) по способу-прототипу: 334-352 МПа;

2) по предлагаемому способу: 446-460 МПа;

4. После обработки микрошариками и имплантации ионов Cr, Y, Yb, С, В, Zr:

1) по способу-прототипу: 345-360 МПа;

2) по предлагаемому способу: 476-482 МПа;

5. После обработки микрошариками и имплантации ионов Cr, Y, Yb, С, В, Zr и нанесения защитного покрытия

1) по способу-прототипу: 330-344 МПа;

2) по предлагаемому способу: 460-476 МПа;

6. После обработки микрошариками и имплантации ионов Cr, Y, Yb, С, В, Zr и нанесения защитного многослойного покрытия

1) по способу-прототипу: 330-350 МПа;

2) по предлагаемому способу: 370-384 МПа.

У образцов группы, обработанной по режимам, представленным в таблицах №№8 и 9 (с параметрами обработки, выходящей за пределы оптимальных значений - вариант В8: τ_выд=30 мин; вариант В:Т=150°С), после восстановления и механообработки, σ_-1 лопаток в среднем составляют:

1) по способу-прототипу: 285-320 МПа;

2) по предлагаемому способу: 300-330 МПа.

Повышение предела выносливости у восстановленных и обработанных лопаток во всех видах проведенных испытаний указывает на то, что при применении одного из следующих вариантов проведения дополнительной упрочняющей обработки восстановленной лопатки и нанесения покрытия: упрочняющая обработка микрошариками; ионная имплантация ионами одного из следующей группы химических элементов: Cr, Y, Yb, С, В, Zr или их комбинации; постимплантационный отпуск; нанесение покрытия (нитридные покрытия Me-N, где Me - Ti, Zr, TiZr, a N - азот; многослойное покрытие из чередующихся слоев Me и соединений металлов с азотом - Me-N, где Me - Ti, Zr, TiZr, a N - азот), полученного либо ионно-плазменным методом, либо электронно-лучевым испарением в вакууме, достигают технического результата заявляемого способа - снижения трудоемкости процесса и повышения эксплуатационных свойств лопаток из титановых сплавов за счет восстановления свойств материала детали еще до начала возникновения процессов интенсивного разрушения детали. При этом снижение трудоемкости восстановления лопаток связано с упрощением технологии ремонта лопаток в связи с отсутствием таких наиболее трудоемких и дорогих процессов, как наплавка, размерная механообработка, и связанных с ними операций контроля.

Таким образом, проведенные исследования показали, что применение предлагаемого способа восстановления эксплуатационных свойств лопаток из титановых сплавов позволяет увеличить по сравнению с прототипом условный предел выносливости (σ_-1) в среднем с 320-330 МПа до 420-440 МПа, а при применении дополнительных вариантов упрочняющей обработки и нанесения покрытий до 450-470 МПа, что подтверждает заявленный технический результат (повышение эксплуатационных свойств лопаток из титановых сплавов). При этом простое использование упрочняющих видов обработки для способа-прототипа не позволяет достичь поставленного технического результата.

Пример реализации способа.

После проведения дефектоскопии и оценки состояния материала ремонтной лопатки, изготовленной из титанового сплава ВТ6, осуществлялся нагрев до температуры термообработки в вакууме (500°С, время выдержки 1 час, вакуум 6·10^-2 Па), затем охлаждение в вакууме в камере до температуры окружающей среды (28°С). В результате термообработки в вакууме произошла дегазация дефектных участков металла лопатки и восстановление дислокационной структуры металла, что сказалось на повышении эксплуатационных свойств детали.

Ионная имплантация. Обработку поверхности лопаток по предлагаемому способу проводят в следующей последовательности. Либо после термообработки металла лопатки, либо после ППД, либо после электролитно-плазменного полирования лопатку тщательно обезжиривают в ультразвуковой ванне и протирают бензино-ацетоновой смесью. Для удаления остатков влаги лопатку подвергают термообработке в сушильном шкафу при температуре от 60 до 65°С. После сушки лопатку устанавливают в вакуумную камеру, где создают вакуум не ниже 2·10⁴ Па и проводят очистку ионами аргона в течение 12 мин с последующей ионной имплантацией хрома по режиму: имплантируемый ион N⁺; энергия ионов 300-3000 эВ; плотность ионного тока 5·10 мА/см²; доза имплантации ионов 3·10¹⁹ ион/см².

После этого в том же рабочем пространстве проводят вакуумный постимплантационный отпуск при температуре 400°С в течение 1 ч. Постимплантационный отпуск можно совмещать с нанесением ионно-плазменных покрытий. (Режимы при нанесении покрытия: ток I=140 А, напряжение U=140 В).

1. Способ ремонта лопаток из титановых сплавов, включающий снятие лопаток с ротора, дефектоскопию и оценку состояния материала лопатки, удаление поверхностного дефектного слоя металла лопатки и термическую обработку, отличающийся тем, что термическую обработку осуществляют путем нагрева лопатки до температуры 200°С…540°С, выдержки в вакууме при этой температуре в течение не менее 40 мин для обеспечения процесса дегазации металла лопатки и восстановления его дислокационной структуры и охлаждения в вакууме до температуры окружающей среды.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что после термообработки металла лопатки производят ее упрочняющую обработку электролитно-плазменным полированием.

3. Способ по п.1, отличающийся тем, что вакуумное охлаждение лопатки осуществляют со скоростью 10…50°С/мин.

4. Способ по п.1, отличающийся тем, что после термообработки металла лопатки производят ее упрочняющую обработку поверхностным пластическим деформированием (ППД).

5. Способ по п.4, отличающийся тем, что упрочняющую обработку ППД производят микрошариками.

6. Способ по п.1, отличающийся тем, что после термообработки в вакууме лопатки производят ионную имплантацию и постимплантационный отпуск.

7. Способ по п.2, отличающийся тем, что после электролитно-плазменного полирования производят ионную имплантацию и постимплантационный отпуск.

8. Способ по п.4, отличающийся тем, что после упрочняющей обработки ППД производят ионную имплантацию и постимплантационный отпуск.

9. Способ по п.5, отличающийся тем, что после упрочняющей обработки микрошариками производят ионную имплантацию и постимплантационный отпуск.

10. Способ по п.6, отличающийся тем, что в качестве ионов для имплантации используют ионы Cr, Y, Yb, С, В, Zr, N, La, Ti или их комбинацию.

11. Способ по п.7, отличающийся тем, что в качестве ионов для имплантации используют ионы Cr, Y, Yb, С, В, Zr, N, La, Ti или их комбинацию.

12. Способ по п.8, отличающийся тем, что в качестве ионов для имплантации используют ионы Cr, Y, Yb, С, В, Zr, N, La, Ti или их комбинацию.

13. Способ по п.9, отличающийся тем, что в качестве ионов для имплантации используют ионы Cr, Y, Yb, С, В, Zr, N, La, Ti или их комбинацию.

14. Способ по п.10, отличающийся тем, что ионную имплантацию проводят при энергии ионов 0,2-30 кэВ и дозе имплантации ионов 10¹⁰ до 5·10²⁰ ион/см².

15. Способ по п.11, отличающийся тем, что ионную имплантацию проводят при энергии ионов 0,2-30 кэВ и дозе имплантации ионов 10¹⁰ до 5·10²⁰ ион/см².

16. Способ по п.12, отличающийся тем, что ионную имплантацию проводят при энергии ионов 0,2-30 кэВ и дозе имплантации ионов 10¹⁰ до 5·10²⁰ ион/см².

17. Способ по любому из пп.1-5, отличающийся тем, что на лопатку наносят защитное покрытие.

18. Способ по любому из пп.6-16, отличающийся тем, что после постимплантационного отпуска производят нанесение на лопатку защитного покрытия.

19. Способ по п.18, отличающийся тем, что при нанесении защитного покрытия производят дополнительную ионную имплантацию.

20. Способ по п.18, отличающийся тем, что в качестве материала защитного покрытия используют нитриды металлов Me-N, карбиды металлов Ме-С и карбо-нитриды металлов Me-NC, где Me - Ti, Zr, TiZr, N - азот, С - углерод.

21. Способ по п.19, отличающийся тем, что в качестве материала защитного покрытия используют нитриды металлов Me-N, карбиды металлов Ме-С и карбо-нитриды металлов Me-NC, где Me - Ti, Zr, TiZr, N - азот, С - углерод.

22. Способ по п.18, отличающийся тем, что наносят многослойное защитное покрытие из чередующихся слоев металлов Me и нитридов металлов Me-N, карбидов металлов Ме-С или карбо-нитридов металлов - Me-NC, где металлы Me - Ti, Zr, TiZr, a N - азот, С - углерод.

23. Способ по п.19, отличающийся тем, что наносят многослойное защитное покрытие из чередующихся слоев металлов Me и нитридов металлов Me-N, карбидов металлов Ме-С или карбо-нитридов металлов - Me-NC, где металлы Me - Ti, Zr, TiZr, a N - азот, С - углерод.

24. Способ по п.22, отличающийся тем, что толщину слоев многослойного защитного покрытия выбирают из диапазонов: δ_Ме=0,20…10 мкм, δ_Me-N=δ_Me-C=δ_Ме-NC=0,10…6 мкм, где δ_Ме - толщина слоя металла, δ_Me-N (δ_Me-C δ_Me-NC) - толщина слоя нитрида (карбида, карбо-нитрида) металла.

25. Способ по п.23, отличающийся тем, что толщину слоев многослойного защитного покрытия выбирают из диапазонов: δ_Me=0,20…10 мкм, δ_Me-N=δ_Me-C=δ_Me-NC=0,10…6 мкм, где δ_Ме - толщина слоя металла, δ_Me-N (δ_Ме-C, δ_Me-NC) - толщина слоя нитрида (карбида, карбо-нитрида) металла.

26. Способ по любому из пп.19-25, отличающийся тем, что нанесение защитного покрытия осуществляют вакуумными ионно-плазменными методами и/или электронно-лучевым испарением и конденсацией в вакууме и/или газотермическими методами - плазменным, детонационным, газопламенным напылением.