Зонд для измерения электрических характеристик планарных элементов интегральных схем



Зонд для измерения электрических характеристик планарных элементов интегральных схем
Зонд для измерения электрических характеристик планарных элементов интегральных схем

 

G01R1/067 - Измерение электрических и магнитных величин (измерение физических величин любого вида путем преобразования их в электрические величины см. примечание 4 к кл. G01; измерение диффузии ионов в электрическом поле, например электрофорез, электроосмос G01N; исследование неэлектрических и немагнитных свойств материалов с помощью электрических и магнитных методов G01N; индикация точности настройки резонансных контуров H03J 3/12; контроль электрических счетчиков H03K 21/40; контроль работы системы связи H04)

Владельцы патента RU 2439587:

Закрытое акционерное общество "Научно-производственная фирма "Микран" (RU)

Изобретение относится к области электронной техники, а именно к устройствам для измерения электрических характеристик планарных элементов интегральных схем на полупроводниковых или диэлектрических пластинах. В устройстве согласно изобретению коаксиальный разъем с помощью гермоввода соединен с копланарной линией передачи, проводники которой зажаты между двумя диэлектрическими пластинами. Копланарная линия передачи и гермоввод расположены в корпусе. Одни концы проводников воздушной копланарной линии передачи соединены с проводниками копланарной линии передачи, другие ее концы выполнены усеченными, а диаметр гермоввода d находится в пределах: h≤d≤l, где l - ширина копланарной линии передачи; h - высота копланарной линии передачи. Изобретение обеспечивает улучшение воспроизводимости электрических характеристик, повышение надежности зонда и упрощение технологии его изготовления. 2 ил.

 

Изобретение относится к области электронной техники, а именно к устройствам для измерения электрических характеристик планарных элементов интегральных схем на полупроводниковых или диэлектрических пластинах.

Известен зонд для измерения электрических характеристик планарных элементов интегральных схем (http://www.cmicro.com/products/engineering-probes/-z-probe-family/-z-probe-family), который содержит коаксиальный разъем, коаксиальную линию передачи, переходящую на копланарную линию передачи, заключенную между двумя диэлектриками, и воздушную копланарную линию передачи. На концах проводников воздушной копланарной линии передачи созданы выступы для контактирования с контактными площадками планарных элементов интегральных схем. Соединение проводников коаксиальной линии передачи с проводниками копланарной линии передачи выполнено внахлест. Проводники воздушной копланарной линии передачи закреплены между двумя диэлектрическими брусками, которые закреплены в корпусе. Конструкция данного зонда несимметрична.

Недостатком технического решения являются избыточное затухание сверхвысокочастотного (СВЧ) сигнала вследствие достаточно длинного тракта, изгиба СВЧ тракта в устройстве при переходе от коаксиального тракта к копланарному, а также низкая прочность соединения конструкции и сложная технология изготовления.

Известен зонд для измерения электрических характеристик планарных элементов интегральных схем, который содержит коаксиальный разъем, коаксиальный кабель с поглощающим СВЧ-излучение слоем на поверхности, контактную группу (http://www.cmicro.com/products/engineering-probes).

Контактная группа представляет собой копланарную линию передачи, которая припаивается к коаксиальному кабелю, на котором произведен срез под углом к оси для удобства монтажа контактной группы.

Недостатком технического решения является невоспроизводимость характеристик, низкая надежность.

Наиболее близким техническим решением, выбранным нами за прототип, является зонд для измерения электрических характеристик планарных элементов интегральных схем (Патент RU №2285930, МПК G01R 1/067, опубл. 20.10.2006 г.), который содержит коаксиальный разъем, коаксиальную линию передачи, воздушную копланарную линию передачи из плоских упругих проводников. Проводники воздушной копланарной линии передачи имеют выступы для контактирования с контактными площадками планарных элементов интегральных схем. На торцах проводников коаксиальной линии передачи выполнены прорези. В этих прорезях токопроводящим клеем закреплены проводники воздушной копланарной линии передачи. На конце коаксиальной линии передачи в области прорезей размещена диэлектрическая втулка. На поверхность коаксиальной линии передачи нанесен слой, поглощающий СВЧ-излучение.

Недостатками известного технического решения являются плохая воспроизводимость электрических характеристик, низкая надежность зонда и сложная технология его изготовления.

Основной задачей предложенного технического решения является улучшение воспроизводимости электрических характеристик, повышение надежности зонда и упрощение технологии его изготовления.

Поставленная техническая задача достигается тем, что в зонд для измерения электрических характеристик планарных элементов интегральных схем, содержащий коаксиальный разъем и воздушную копланарную линию передачи из плоских упругих проводников, согласно предложенному решению коаксиальный разъем с помощью гермоввода соединен с копланарной линией передачи, проводники которой расположены между двумя диэлектрическими пластинами, при этом копланарная линия передачи и гермоввод расположены в корпусе, одни концы проводников воздушной копланарной линии передачи соединены с проводниками копланарной линии передачи, другие ее концы выполнены усеченными, а диаметр гермоввода d находится в пределах:

,

где l - ширина копланарной линии передачи;

h - высота копланарной линии передачи.

Изобретение поясняется чертежами, где на фиг 1. представлен общий вид устройства, а на фиг.2 представлен пример выполнения проводников воздушной копланарной линии передачи устройства.

Коаксиальный разъем 1 соединяется с гермовводом 2 посредством цангового сочленения. Гермоввод 2, установленный во вставную часть 3 корпуса 4, соединяется с копланарной линией передачи, проводники 5 которой зажаты между двумя диэлектрическими пластинами 6. Диэлектрические пластины 6 металлизированы с внешней стороны для уменьшения влияния факторов внешней среды, а также для уменьшения количества участков геометрических неоднородностей между ними и корпусом 4 или вставной частью 3 корпуса 4 устройства.

Жесткое крепление проводников 5 копланарной линии передачи, изготовленных, к примеру, из никеля толщиной около 100 мкм, между двумя диэлектрическими пластинами 6, повышает надежность предложенного устройства.

Концы проводников 6 воздушной копланарной линии передачи 7 выполнены усеченными для обеспечения надежного контактирования с планарными элементами интегральных схем.

Для повышения точности установки проводников 6 воздушной копланарной линии передачи 7 относительно друг друга используют оснастку.

Проводники 5 копланарной линии передачи зажимают между диэлектрическими пластинами 6, которые вклеивают в корпус 4 и во вставную часть 3 корпуса 4, тем самым исключают попадание клея в зазоры между проводниками 5 копланарной линии передачи. Для улучшения качества передачи сигнала волноводный тракт выполняют осесимметричным.

В предложенном устройстве волноводный тракт представляет экранированную конструкцию, что минимизирует влияние внешних факторов при работе.

Зонд для измерения электрических характеристик планарных элементов интегральных схем, содержащий коаксиальный разъем и воздушную копланарную линию передачи из плоских упругих проводников, отличающийся тем, что коаксиальный разъем с помощью гермоввода соединен с копланарной линией передачи, проводники которой расположены между двумя диэлектрическими пластинами, при этом копланарная линия передачи и гермоввод расположены в корпусе, одни концы проводников воздушной копланарной линии передачи соединены с проводниками копланарной линии передачи, другие ее концы выполнены усеченными, а диаметр гермоввода d находится в пределах:
h≤d≤l, где l - ширина копланарной линии передачи;
h - высота копланарной линии передачи.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области преобразовательной техники, в частности к устройствам, позволяющим нагружать различные преобразователи с выходом на постоянном токе при проведении различных видов испытаний.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к электрической схеме декады сопротивлений, применяемой в многозначных мерах электрического сопротивления и измерительных мостах.

Изобретение относится к электротехнике, в частности, к демпфирующим устройствам индукционного типа, работающим на принципе торможения вихревыми токами, и может быть использовано для демпфирования движения, например колебаний в механических системах.

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано в приборах, работающих в условиях механических воздействий. .

Изобретение относится к электроизмерительной технике и предназначено для использования при эталонных измерениях в широком диапазоне измеряемых напряжений и частот.

Изобретение относится к электронной технике, а именно к устройствам для испытания планарных элементов интегральных схем на полупроводниковых пластинах. .

Изобретение относится к электронной технике, а именно к устройствам для измерения электрических характеристик планарных элементов интегральных схем на полупроводниковых или диэлектрических пластинах.

Изобретение относится к ядерной технике, а более конкретно к устройствам для контроля геометрических параметров технологических каналов ядерных реакторов типа РБМК.

Изобретение относится к электроизмерительной технике и может быть использовано для имитации приращения сопротивления тензорезисторов. .

Изобретение относится к области электрических измерений. .

Изобретение относится к средствам защиты электроизмерительной техники от влияния низкочастотных магнитных полей и может быть использовано для экранирования приборов, расположенных вблизи с высоковольтным оборудованием

Изобретение относится к области магнитобиологии, в частности к научным исследованиям

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к технике контроля и защиты приборов учета электроэнергии

Изобретение относится к области методологии измерения параметров внутренних электромагнитных импульсов (ВЭМИ), формируемых в корпусах аппаратуры, при действии ионизирующих излучений (ИИ) и может быть использовано при исследованиях механизмов образования электромагнитных наводок в цепях радиоэлектронной аппаратуры. Способ основан на выделении соответствующих составляющих сигнала, формируемого в одновитковой рамочной антенне. При этом рамочная антенна не имеет прямой гальванической связи с корпусом облучаемого объекта, начало и конец антенны замыкают через согласующие нагрузки осциллографа, регистрацию сигналов с выводов антенны производят но независимым каналам, а выделение магнитной и зарядовой составляющих сигнала производят путем вычитания либо сложения (соответственно) сигналов с начала и конца рамочной антенны. Технический результат заключается в повышении достоверности экспериментальных исследований ВЭМИ за счет получения количественных данных о физических эффектах, обуславливающих формирование регистрируемого сигнала, и минимизации количества экспериментов. 1 ил.

Изобретение относится к области испытания компьютерной техники и может быть использовано для проверки, тестирования и анализа компьютерных блоков питания (далее БП) на предмет соответствия их нагрузочных характеристик заявленным производителем, а также спецификации ATX. Система функционального тестирования блоков питания включает измерительный блок (мультиметр), который состоит из вольтметра, амперметра и ваттметра, реализованных с помощью микроконтроллера фирмы Microchip PIC 16F886. При этом с помощью встроенного 10-канального, 10-битного АЦП производятся измерения напряжения и силы тока тестируемого компьютерного блока питания. Ваттметр реализован программно, путем перемножения показателей вольтметра и амперметра. В состав системы входит также силовой блок, который предоставляет динамическую нагрузку для основных каналов тестируемого блока питания (12B, 5B, 3,3B), статическую нагрузку для дежурного питания тестируемого блока питания, индикацию сигнала Power Good и схему включения тестируемого блока питания. Технический результат заявленного изобретения заключается в увеличении функциональных возможностей, обеспечении полного непрерывного функционального контроля блоков питания, сокращении времени испытаний. 4 ил.

Изобретение относится к области измерений в электроэнергетике и может быть использовано для определения расстояния до мест повреждения при двойных замыканиях на землю на одной линии электропередачи распределительной сети 6-35 кВ. Технический результат: повышение точности определения. Сущность: способ заключается в измерении активной и реактивной составляющей фазного тока и напряжения в аварийной режиме и последующем расчете индуктивного сопротивления до каждого места замыкания, пропорционального расстоянию до мест повреждения. 1 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и представляет собой систему магнитного экранирования аппарата литографии пучками заряженных частиц. Система содержит первую камеру, вторую камеру и набор из двух катушек. Стенки первой и второй камер содержат магнитный экранирующий материал. Вторая камера заключает в себе первую камеру, набор из двух катушек, имеющих общую ось и расположенных на противоположных сторонах от первой камеры, подвижную опору для подложкодержателя, как минимум один датчик магнитного поля в пределах второй камеры, систему управления токами в катушках на основании данных датчика. Первая камера по меньшей мере частично заключает в себе аппарат литографии и имеет отверстие на стороне, обращённой к подложкодержателю.3 н. и 26 з.п. ф-лы, 9 ил.

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к декадам сопротивлений, применяемым в многозначных мерах электрического сопротивления и измерительных мостах. Декада сопротивлений содержит переключатель 1, имеющего всего две платы, цепочку последовательно соединенных резисторов 2, соединенных соответствующим образом с контактами первой, второй плат и зажимами 3 и 4 декады. Технический результат заключается в упрощении конструкции за счет применения известного двухплатного переключателя, коммутирующего резисторы для получения значений сопротивлений на выходных зажимах декады с весовыми коэффициентами 0,1,2…10. 2 ил.
Наверх