Чувствительный элемент микромеханического компенсационного акселерометра

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в микромеханических компенсационных акселерометрах. Чувствительный элемент содержит инерционную массу, упругие элементы, катушку обратной связи, проводящие дорожки для электрической связи катушек обратной связи со схемой управления, стеклянные обкладки, внешнюю рамку, с расположенными на ней площадками крепления к стеклянным обкладкам. Упругие элементы расположены по оси симметрии инерционной массы. Один конец которых закреплен с внешней рамкой, другой - с инерционной массой. На одной стороне инерционной массы закреплена катушка обратной связи, другая сторона инерционной массы является пластиной емкостного датчика угла. Магнитопровод с постоянными магнитами и катушками обратной связи образуют магнитную систему акселерометра. Соединение катушек обратной связи со схемой управления осуществляется проводящими дорожками, раположенными над упругими элементами, вдоль оси симметрии инерционной массы и оси крутильных колебаний упругих элементов. Изобретение позволяет повысить точность измерений. 3 ил.

 

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в микромеханических датчиках линейных ускорений.

Известен чувствительный элемент микромеханического компенсационного акселерометра, содержащий каркасную катушку обратной связи, которая одновременно является маятником и подвешенная на упругих металлических растяжках, датчик угловых перемещений каркасной катушки [1].

Недостатком этого устройства является сложность конструкции, нетехнологичность, трудоемкость сборки.

Известен другой чувствительный элемент микромеханического компенсационного акселерометра, выполненный из плавленого кварца [2].

Недостатком этого устройства является трудоемкость изготовления упругих элементов чувствительного элемента, которые повергаются сложной механической обработке и, соответственно, сложной регулировке нулевого сигнала.

Известен чувствительный элемент микромеханического компенсационного акселерометра, содержащий инерционную массу, соединенную с внешней рамкой через упругие элементы, катушку обратной связи, закрепленную на инерционной массе, стеклянные обкладки дифференциального датчика угла, площадки крепления к стеклянным обкладкам, расположенные на внешней рамке, канавку на которой напылены проводящие дорожки для связи катушки обратной связи со схемой управления.

Инерционная масса представляет собой маятник, подвешенный одной стороной на упругих элементах, соединенных с внешней рамкой. Катушка обратной связи крепится на электропроводящей стороне маятника, которая является обкладкой дифференциального датчика угла. Такое совмещение - усложняет конструкцию чувствительного элемента. В частности обкладка датчика угла имеет сквозное отверстие в центре, для установки на маятнике катушки обратной связи, что усложняет сборку и приводит к погрешности установки, следовательно, увеличивает систематическую погрешность, которая проявляется в дополнительных вредных моментах ухудшающих нулевой сигнал. Упругие элементы, реализованные в этом чувствительном элементе, работают на изгиб. Их формирование сопряжено с определенными трудностями. При изготовлении чувствительного элемента травлением очень важно остановить процесс обработки при достижении необходимой толщины. Канавки, находящийся между двумя рабочими упругими элементами, по поверхности, которого с обеих сторон нанесена проводящая дорожка для соединения катушки обратной связи со схемой управления, являтся источником дополнительной погрешности. Это приводит к дополнительному повышению нулевого сигнала и его нестабильности, а так же повышает температурную погрешность. Так как невозможно точно воспроизвести дополнительный элемент химическим анизотропным травлением, имеем «слоеный» элемент, который из-за погрешности изготовления формируется несимметрично относительно центральной плоскости то есть в ее середине, что ведет к появлению дополнительного нулевого сигнала. Неравномерное положение проводящих дорожек с обеих сторон создает упругодеформированную растяжку. И это приводит к появлению дополнительного нулевого сигнала, его нестабильности, так же повышению температурной погрешности. Другим недостатком является то, что анодное соединение диэлектрической пластиной (стеклянная подложка типа ЛК-105) с кремниевым чувствительным элементом осуществляется непосредственно в зоне сопряжения с упругими элементами. Это существенным образом влияет на стабильность упругих свойств последних. Это приводит к тому, что при воздействии возмущающих факторов, в частности плюсовых и минусовых температур, конструкция чувствительного элемента будет деформирована, что приведет к появлению нестабильности нулевого сигнала, его высокому уровню. Изменится так же жесткость упругих элементов и как следствие уход крутизны преобразователя перемещений. Все это существенно снижает точность прибора в целом. Так после присоединения, возникающие контактные напряжения влияют на упругий подвес, за счет чего увеличивается нестабильность смещения нуля и, как следствие, понижается точность прибора в целом. Задачей, на решение которой направлено изобретение, является увеличение точности измерения линейных ускорений.

Для достижения этого в чувствительном элементе микромеханического компенсационного акселерометра, содержащего инерционную массу, упругие элементы, катушку обратной связи, проводящие дорожки для электрической связи катушек со схемой управления, стеклянные обкладки датчика угла, внешнюю рамку, с расположенными на ней площадками крепления к стеклянным обкладкам, согласно изобретению, инерционная масса повешена на упругих элементах Х-образного профиля, расположенных по оси симметрии инерционной массы, в вдоль ее оси, разделяющей инерционную массу на две равные части, причем на одной сформирована обкладка датчика угла, на другой, приклеена катушка обратной связи, при этом проводящие дорожки для электрической связи со схемой управления расположены на оси симметрии инерционной массы над упругими элементами, площадки крепления максимально удалены от мест сопряжения упругих элементов с внешней рамкой, на двух сторонах которой расположены две площадки, а третья, на стороне, примыкающей к этим двум сторонам.

Признаками, отличающими предложенный чувствительный элемент от известного, является то, что инерционная масса подвешена на упругих элементах Х-образного профиля, расположенных по оси симметрии инерционной массы, вдоль ее оси и проходит через ее центр масс. Эта ось делит инерционную массу на две равные части. Это означает, что сформированный таким образом чувствительный элемент абсолютно симметричен относительно оси, проходящей через центр масс, совпадающей с осью крутильных колебаний упругих элементов. Формирование X-образного профиля при химическом анизотропном травлении исключает погрешность при изготовлении упругого элемента. Так как контроль заданных параметров упругого элемента сводится изначально к формированию планарных размеров маски на кремниевой пластине таким образом, чтобы происходило «стоп-травление», когда [111] направление плоскостей «сходились» в кубической кристаллографической решетке и травление самопроизвольно остановилось (так как плотность [111] направления самая высокая в монокристаллическом кремнии). Разделение датчика угла и катушек обратной связи, на разных сторонах инерционной массы, обеспечивает низкую трудоемкость, следовательно, уменьшает систематическую погрешность так как исключает погрешность установки катушки обратной связи. Проводящие дорожки электрической связи расположены по оси симметрии инерционной массы, и оси крутильных колебаний упругих элементов, через центр масс ее и проходят над упругими элементами. Это исключает возникновение моментов тяжения, а следовательно дополнительную температурную погрешность. Максимальное удаление площадок крепления от мест сопряжения упругих элементов со сторонами внешней рамки минимизирует вредных контактных напряжений. Причем именно расположение двух площадок на двух сторонах внегней рамки, сопряженных с упругими элементами, а третьей на стороне, прилегающей к этим двум сторонам, обеспечивает плотное прилегание стеклянных обкладок к внешней рамке по минимальной площади, что в свою очередь тоже уменьшает контактные напряжения, а следовательно снижает, нулевой сигнал и его нестабильность.

Предложенный чувствительный элемент микромеханического компенсационного акселерометра иллюстрируется чертежами фиг.1, 2, 3.

На фиг.1 изображен чувствительный элемент в сборе,

где:

1 - инерционная масса;

2 - внешняя рамка;

3 - магнитопровод;

4 - катушка обратной связи;

5 - магниты;

6 - стеклянные обкладки;

7 - площадки крепления к стеклянным обкладкам;

8 - контактная площадка дифференциального датчика угла.

На фиг.2 изображен кристалл чувствительного элемента а в плане,

где:

9 - упругие элементы;

10 - дорожки с контактными площадками для соединения катушек обратной связи со схемой управления, расположенные на инерционной массе.

11 - дорожки с контактными площадками, расположенными на внешней рамке;

12 - технологическая метка для установки и крепления катушки обратной связи.

На фиг.3 изображен чувствительный элемент в сборе, вид сверху.

Чувствительный элемент содержит инерционную массу 1, изготовленную из монокристаллического кремния, подвешенную на упругих элементах 9 X-образного профиля, которые сопрягаются с внешней рамкой 2, с расположенными на них площадками крепления 7, к стеклянным обкладкам 6. Катушка обратной связи 4 обеспечивает маятниковость и крепится с одной " стороны инерционной массы 1. Инерционная масса 1 с другой стороны анодно соединена со стеклянными обкладками 6 дифференциального датчика угла. Электрическое соединении катушек обратной связи 4 со схемой управления (не показано) осуществляется через дорожки с контактными площадками 10 на инерционной массе 1 и дорожек с контактными площадками 11 на внешней рамке 6, путем установления проводящих дорожек (например, золотым проводом) над упругими элементами 9, по оси симметрии инерционной массы 1. Один контакт проводящей дорожки приваривается к контакту 10, другой - к 11. Таким образом проводящая дорожка зависает над упругим элементом 9, расположенным вдоль оси симметрии инерционной массы 1 и оси крутильных колебаний упругих элементов 9. Магнитопровод 3 собирается совместно с магнитами 5 и устанавливается на кристалл чувствительного элемента после анодного соединения стеклянных обкладок 6 с внешней рамкой 2, через площадки крепления 7. При этом площадки крепления 7 максимально удалены от упругих элементов 9.

Чувствительный элемент микромеханического компенсационного акселерометра работает следующим образом. При воздействии линейного ускорения инерционная масса 1 отклоняется от своего нейтрального положения.

При этом упругие элементы 9 закручиваются на определенный угол. На стеклянных обкладках 6 дифференциального датчика угла появляется сигнал разбаланса, который через контакты на стеклянных обкладках 6 и контактные площадки 8 поступает в схему оправления и оттуда подается в катушку обратной связи 4. Возникающий момент обратной связи, действующий в зазоре магнита 5 и магнитопровода 3, вызывает уравновешивающий момент, действующий на инерционную массу 1 с прикрепленной на ней катушкой обратной связи 4, который пропорционален действующему ускорению.

Проведенные макетные испытания показали положительный эффект предлагаемого устройства и по технологии, и по точности.

Источники информации

1. Акселерометр капиллярный А5-15, ТУ 611.781.ТУ 1984 г.

2. Патент США №3702073.

3. Патент РФ №2247323 (прототип).

Чувствительный элемент микромеханического компенсационного акселерометра, содержащий инерционную массу, упругие элементы, катушку обратной связи, проводящие дорожки для электрической связи со схемой управления, стеклянные обкладки датчика угла, внешнюю рамку с расположенными на ней площадками крепления к стеклянным обкладкам, отличающийся тем, что инерционная масса повешена на упругих элементах Х-образного профиля, расположенных по оси симметрии инерционной массы, вдоль ее оси, разделяющей инерционную массу на две равные части, причем на одной сформирована обкладка датчика угла, а на другой приклеена катушка обратной связи, при этом проводящие дорожки для электрической связи со схемой управления расположены на оси симметрии инерционной массы над упругими элементами, площадки крепления максимально удалены от мест сопряжения упругих элементов с внешней рамкой, на двух сторонах которой расположены две площадки крепления, а третья - на стороне, примыкающей к этим двум сторонам.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к области точного приборостроения, в частности к приборам измерения параметров движения летательных аппаратов, и может быть использовано при изготовлении маятниковых компенсационных акселерометров, предназначенных для измерения значительных линейных ускорений.

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для использования в приборах компенсационного типа в системах стабилизации и навигации. .

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к компенсационным преобразователям линейного ускорения. .

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к средствам корректировки коэффициента усиления емкостного элемента. .

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в интегральных акселерометрах и микрогироскопах с силовой компенсацией. .

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в качестве элемента в системах стабилизации и навигации. .

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в качестве элемента в системах стабилизации и навигации. .

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для использования в приборах компенсационного типа с дискретным выходом в системах стабилизации, навигации и наведения. Компенсационный акселерометр содержит чувствительный элемент, датчик угла, усилитель, фазовый детектор отрицательной обратной связи, интегрирующую отрицательную обратную связь с выхода компаратора на вход датчика момента через последовательно соединенные по информационным входам компаратор, преобразователь уровня, пару ждущих синхронных генераторов, реверсивный двоичный счетчик, схему сравнения, триггер, электронный ключ. Кроме того, введены фильтр с выхода схемы сравнения на вход триггера и аналого-цифровой преобразователь, пороговый элемент и интегратор с выхода фазового детектора отрицательной обратной связи на вход компаратора. Выход реверсивного двоичного счетчика является цифровым выходом компенсационного акселерометра. Введение в компенсационный акселерометр фильтра, интегратора, аналого-цифрового преобразователя, порогового элемента, и интегрирующей отрицательной обратной связи позволяет стабилизировать параметры компенсационного акселерометра, повысить точность измерения и расширить полосу пропускания за счет реализации в устройстве автоколебательного режима. 1 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для использования в приборах компенсационного типа с дискретным выходом в системах стабилизации, навигации и наведения. Компенсационный акселерометр содержит чувствительный элемент, датчик угла, усилитель, фазовый детектор отрицательной обратной связи, интегрирующую отрицательную обратную связь с выхода компаратора на вход датчика момента через последовательно соединенные по информационным входам компаратор, преобразователь уровня, пару ждущих синхронных генераторов, реверсивный двоичный счетчик, схему сравнения, триггер, электронный ключ. Кроме того, введена местная отрицательная обратная связь с выхода усилителя на вход фазового детектора отрицательной обратной связи через последовательно соединенные по информационным входам сумматор, пороговый элемент, интегродифференцирующее звено и звено запаздывания. Выход фазового детектора отрицательной обратной связи соединен с входом компаратором через дифференцирующее звено. Выход реверсивного двоичного счетчика является цифровым выходом компенсационного акселерометра. Введение в компенсационный акселерометр местной отрицательной обратной связи позволяет стабилизировать параметры компенсационного акселерометра, а реализация в интегрирующей отрицательной обратной связи интегродифференцирующего и дифференцирующего звена позволяет повысить точность измерения и расширить полосу пропускания за счет реализации автоколебательного режима. 4 ил.

Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к измерительным преобразователям линейного ускорения. Компенсационный акселерометр содержит корпус со стойкой, первую пластину из монокристаллического кремния, вторую пластину с двумя неподвижными электродами дифференциального емкостного преобразователя положения, третью пластину, магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянным магнитом, усилитель, причем последовательно по длине стойки от основания стойки установлены постоянный магнит, вторая пластина, первая пластина и третья пластина. В соответствии с изобретением на стойку установлена втулка из инвара, на которой расположены вторая пластина, первая пластина и третья пластина. Вторая и третья пластины выполнены из пирекса. Технический результат - повышение точности измерения ускорения. 3 ил.

Изобретение относится к системам навигации и может применяться в приборах измерения механических величин компенсационного типа. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерения. Акселерометр содержит чувствительный элемент, датчик момента, включенный в отрицательную обратную связь. В акселерометр введены две отрицательные интегрирующие обратные связи, одна с выхода датчика угла на один из входов датчика момента одновременно через усилитель обратной связи и первый интегратор, другая, отрицательная интегрирующая обратная связь, реализована с выхода датчика угла на другой вход датчика момента последовательно по информационным входам через усилитель, фильтр, компаратор, преобразователь уровня, пару ждущих синхронных генераторов, реверсивный двоичный счетчик, схему сравнения, второй интегратор, триггер, электронный ключ. Дополнительные входы компаратора соединены с выходом генератора вспомогательной частоты. Вход электронного ключа соединен с выходом генератора тока, и вход схемы сравнения соединен с выходом генератора вспомогательной частоты через суммирующий двоичный счетчик, и выход реверсивного двоичного счетчика является цифровым кодом устройства. 3 ил.

Акселерометр предназначен для применения в качестве чувствительного элемента в системах стабилизации и навигации. Изобретение может найти применение в приборах измерения механических величин компенсационного типа. Акселерометр содержит чувствительный элемент, отклонение которого фиксируется датчиком угла, выходы которого соединены с входами сумматора через пороговый элемент и интегрирующий усилитель, и датчик момента, включенный в отрицательную обратную связь. Выход сумматора является аналоговым выходом устройства. Для повышения точности и расширения полосы пропускания в акселерометр введены две отрицательные обратные связи: одна - с выхода датчика угла на один из входов датчика момента через дифференцирующий фильтр, другая - отрицательная интегрирующая обратная связь, реализована с выхода сумматора на другой вход датчика момента последовательно по информационным входам через компаратор, преобразователь уровня, пару ждущих синхронных генераторов, реверсивный двоичный счетчик, схему сравнения, триггер, электронный ключ. Дополнительные входы компаратора, реверсивного двоичного счетчика, ждущих синхронных генераторов соединены с генератором вспомогательной частоты. Кроме того, вход электронного ключа соединен с выходом генератора тока. Вход схемы сравнения соединен с выходом генератора вспомогательной частоты через суммирующий двоичный счетчик. Выход реверсивного двоичного счетчика является цифровым выходом устройства. Отрицательная обратная связь, реализованная с выхода датчика угла на вход датчика момента, через дифференцирующий фильтр, осуществляет стабилизацию параметров акселерометра. Введение в акселерометр интегрирующей отрицательной обратной связи позволяет создать устройство с астатизмом по отклонению, работающее в автоколебательном режиме, с расширенной полосой пропускания и значительным быстродействием. 2 ил.

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для высокоточного измерения ускорений в системах коррекции дальности полета реактивных снарядов. Целью предлагаемого изобретения является уменьшение температурной нестабильности коэффициента преобразования акселерометра. Компенсационный акселерометр содержит инерционный элемент (1), колебательную систему (2), преобразователь перемещения (3), усилитель цепи уравновешивания (4), обратный преобразователь (5), узел подключения масштабирующего резистора (6), термокомпенсирующий усилитель (7). В цепь отрицательной обратной связи термокомпенсирующего усилителя между его инвертирующим входом и резистором обратной связи включена цепь, состоящая из датчика температуры R01, зашунтированного резистором RШ1, значение электрического сопротивления которого выбирается из условия: где где K∑(t) - скомпенсированное значение температурной нестабильности коэффициента преобразования акселерометра; Kt0(t0), Kt0(Δt1), Kt0(Δt2) - температурная характеристика усилителя термокомпенсации при отключенных датчиках температуры в условиях воздействия номинальной, пониженной и повышенной рабочих температур акселерометра соответственно; KA(t0), KA(Δt1), KA(Δt2) - температурная характеристика акселерометра при отключенных датчиках температуры в условиях воздействия номинальной, пониженной и повышенной рабочих температур акселерометра соответственно; Kt(t0), Kt(Δt1), Kt(Δt2) - температурная характеристика выбранной конфигурации термокомпенсирующего усилителя в условиях воздействия номинальной, пониженной и повышенной рабочих температур акселерометра соответственно; R0, R01 - электрическое сопротивление медных катушек, подключенных ко входу термокомпенсирующего усилителя и в цепь его отрицательной обратной связи соответственно, при номинальном значении окружающей среды; αR, αM - температурные коэффициенты сопротивления резисторов RП, RП1 и медных катушек R0, R01 соответственно; Δt - приращение значения температуры окружающей среды акселерометра относительно ее номинального значения. Подключение двух датчиков температуры в схему термокомпенсирующего усилителя позволяет линеаризовать скомпенсированную температурную характеристику акселерометра, что обеспечивает уменьшение температурной нестабильности его коэффициента преобразования и снижение трудоемкости процесса его температурной отладки. 3 ил.

Изобретение относится к устройствам для измерения ускорений и может быть использовано в системах стабилизации и навигации. Сущность: устройство содержит чувствительный элемент (1), датчик положения (2), выход которого соединен с входом усилителя (4) со стабильным коэффициентом усиления, магнитоэлектрический силовой преобразователь (15), включенный в отрицательную обратную связь. При этом в него введены аналоговая, интегрирующая и дискретная отрицательные обратные связи. Аналоговая отрицательная обратная связь реализована с выхода датчика (2) положения на один из входов магнитоэлектрического силового преобразователя (15) через последовательно соединенные по информационным входам усилитель (4) переменного тока, первый логический элемент (5), схему (8) исключающее ИЛИ, фильтр (9), первый преобразователь (10) напряжение-ток и сумматор (11). Интегрирующая отрицательная обратная связь реализована с выхода схемы (8) исключающее ИЛИ на вход магнитоэлектрического силового преобразователя (15) через последовательно соединенные по информационным входам первый интегратор (12), второй преобразователь (13) напряжение-ток и сумматор (11). Дискретная отрицательная обратная связь введена с выхода схемы (8) исключающее ИЛИ на вход магнитоэлектрического силового преобразователя (15) через последовательно соединенные по информационным входам триггер (14) и сумматор (11). Кроме того, генератор (3) опорного напряжения соединен как с датчиком (2) положения, так и с фазовым сдвигателем (6). Выход фазового сдвигателя (6) соединен с одним из входов схемы (8) исключающее ИЛИ через второй логический элемент (7). Один из выходов триггера (14) соединен с входом реверсивного двоичного счетчика (16), выход которого является дискретным выходом акселерометра. Технический результат: расширение полосы пропускания и увеличение точности измерения ускорений. 6 ил.

Компенсационный акселерометр предназначен для применения в системах стабилизации и навигации. Устройство содержит чувствительный элемент, датчик положения, выход которого соединен с входом усилителя со стабильным коэффициентом усиления, магнитоэлектрический силовой преобразователь, включенный в отрицательную обратную связь. При этом в него дополнительно введены аналоговая, интегрирующая и дискретная интегрирующая отрицательные обратные связи. Аналоговая отрицательная обратная связь реализована с выхода датчика положения на один из входов магнитоэлектрического силового преобразователя через последовательно соединенные по информационным входам усилитель переменного тока, первый логический элемент, схему исключающее ИЛИ, фильтр, первый преобразователь напряжение-ток и сумматор. Интегрирующая отрицательная обратная связь реализована с выхода схемы исключающее ИЛИ, на вход магнитоэлектрического силового преобразователя через последовательно соединенные по информационным входам первый интегратор, второй преобразователь напряжение-ток и сумматор. Дискретная интегрирующая отрицательная обратная связь введена с выхода схемы исключающее ИЛИ на вход магнитоэлектрического силового преобразователя через последовательно соединенные по информационным входам второй интегратор, триггер и сумматор. Кроме того, генератор опорного напряжения соединен как с датчиком положения, так и с фазовым сдвигателем, выход которого соединен с одним из входов схемы исключающее ИЛИ через второй логический элемент, а один из выходов триггера соединен с входом реверсивного двоичного счетчика, выход которого является дискретным выходом компенсационного акселерометра. Технический результат заключается в расширении полосы пропускания и увеличении точности измерения ускорений. 3 ил.

Изобретение относится к датчикам первичной информации (приборам) для измерения линейного ускорения. Сущность изобретения заключается в том, что в компенсационном маятниковом акселерометре, в котором магнитоэлектрический датчик момента представляет собой две магнитные системы, состоящие из постоянных магнитов, закрепленных с торцевой части в магнитопроводы в виде обода, катушка датчика момента напылена на верхней и нижней поверхностях единой пластины монокристаллического кремния маятникового чувствительного элемента, измерительный узел выполнен в виде компактного пакета, склеенного в не менее чем в четырех местах контакта пазов на плоских изолирующих платах и платиках единой пластины монокристаллического кремния маятникового чувствительного элемента, подача и вывод электрического сигнала на элементы измерительного узла от элементов электроники осуществляется с помощью токопроводящих контактов, выполненных в виде штырей, крепление элементов магнитных систем, измерительного узла и элементов электроники осуществляется с помощью направленных навстречу друг другу пар винтов, закрепленных в общей трубке с внутренней резьбой, при этом в основаниях головок которых расположены уплотняющие прокладки, элементы электроники и термодатчик расположены в отдельном отсеке, который изолируется крышкой, а в месте контакта элементов магнитной системы и платы электроники расположена изолирующая прокладка, кроме того, в защитном кожухе предусмотрено отверстие для осуществления вакуумирования внутреннего пространства прибора. Технический результат - повышение точности измерения. 3 ил.

Изобретение относится к измерительной технике, представляет собой компенсационный акселерометр и предназначено для использования в качестве измерительного преобразователя линейных ускорений. Акселерометр содержит корпус, первую пластину из монокристаллического кремния с подвижной и неподвижной частями и соединяющими их упругими перемычками по оси подвеса, дифференциальный емкостный преобразователь положения с двумя неподвижными электродами на второй пластине, третью пластину, магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянным магнитом и компенсационной катушкой, установленной на двух подставках на подвижной части, груз на подвижной части, усилитель. Для минимизации угловой деформации подвижной части первой пластины при температурных воздействиях на ней в области расположения установленных симметрично относительно оси подвеса подставок выполнены прорези. Техническим результатом является повышение точности измерения ускорения. 4 з.п. ф-лы, 5 ил.
Наверх