Частично металлизированный резонатор

Авторы патента:

G01C19/5691 - Гироскопы; поворотно-чувствительные устройства с колеблющимися массами; Поворотно-чувствительные устройства без движущихся масс

Владельцы патента RU 2498218:

САЖЕМ ДЕФАНС СЕКЮРИТЕ (FR)

Изобретение относится к полусферическому резонатору, являющемуся элементом вибродачика угловой скорости. Полусферический резонатор (7) содержит колоколообразный элемент (4), закрепленный на основе (3), которая несет основные электроды (2), обращенные к кольцевому ободу (6.2) колоколообразного элемента, и, по меньшей мере, один охранный электрод (1), располагаемый рядом с основными электродами (2). По меньшей мере, часть внутренней поверхности (6.1) колоколообразного элемента и указанный кольцевой обод (6.2) покрыты электропроводящим слоем (6), который к тому же покрывает участок (6.3) наружной поверхности колоколообразного элемента, примыкающий к его кольцевому ободу. Изобретение обеспечивает минимизацию ошибок измерения угловой скорости и ограничивает демпфирование колебаний колоколообразного элемента, что повышает точность и надежность. 5 з.п. ф-лы, 3 ил.

Область техники, к которой относится изобретение

Настоящее изобретение относится к полусферическому резонатору, который является, в частности, элементом вибродатчика угловой скорости, например, гироскопа.

Уровень техники

В документе FR-A-2851040 описывается полусферический резонатор с колоколообразным вибрационным элементом, ножка которого закреплена на основе, несущей основные электроды, обращенные к ободу колоколообразного элемента, и охранный электрод, располагаемый рядом с основными электродами,

Основные электроды служат, во-первых, для приведения в колебательное движение колоколообразного элемента при приложении к электродам, по меньшей мере, одного переменного напряжения, в то время как колоколообразный элемент поддерживается при постоянном потенциале, и, во-вторых, способствуют обнаружению колебаний колоколообразного элемента, поскольку сигнал обнаружения считывается с основных электродов.

Охранный электрод, будучи заземленным, может выполнять свою обычную функцию, которая состоит в уменьшении взаимного влияния электродов, а также он может использоваться в качестве управляющего электрода и/или электрода обнаружения при поступлении соответствующих сигналов к каждому из участков охранного электрода.

Согласно указанному документу колоколообразный элемент изготавливают из диоксида кремния, который обладает электроизоляционными свойствами. Внутренняя поверхность, обод колоколообразного элемента и основа резонатора имеют электропроводящее металлическое покрытие.

В документе US-A-2003/0019296 описывается резонатор с колоколообразным элементом, изготовленным из диоксида кремния, на внутренней поверхности и наружной поверхности которого имеется покрытие, причем, каждая из поверхностей полностью покрыта электропроводящим металлическим слоем.

Поскольку металлизация колоколообразного элемента вблизи обода приводит к демпфированию колебаний и ухудшению ухода гироскопа, было предложено не наносить покрытие на наружную поверхность колоколообразного элемента, изготовленного из диоксида кремния.

Например, в документе US-B-6474161 описывается полусферический резонатор с колоколообразным вибрационным элементом, изготовленным из диоксида кремния и покрытым электропроводящим металлическим слоем лишь частично. Электропроводящий металлический слой покрывает поверхность кольцевого обода колоколообразного элемента и формирует проводящие дорожки, продолжающиеся по внутренней поверхности колоколообразного элемента от полюса резонатора до указанного обода. Наружная поверхность колоколообразного элемента не покрыта электропроводящим металлическим слоем.

К тому же, в документе US-A-2004/0154396 описывается резонатор, в котором вся внутренняя поверхность колоколообразного элемента покрыта электропроводящим металлическим слоем.

Однако было установлено, что если примыкающая к ободу наружная поверхность колоколообразного элемента, изготовленного из диоксида кремния, не имеет покрытия, то определяемое электрическое изображение искажается и, как следствие, при угловом измерении возникает ошибка. Указанные изменения связаны с силовыми линиями, которые проходят между электродами и зонами смещения резонатора, пересекая диоксид кремния, который не является идеальным изолятором, при этом заряд в диоксиде кремния медленно перемещается вдоль силовых линий до достижения потенциала равновесия. Таким образом, эффективность электростатического поля изменяется с течением времени. Такое изменение, происходящее с течением времени, очень трудно корректировать расчетным путем.

Раскрытие изобретения

В связи с вышесказанным, имеется необходимость в резонаторе, при использовании которого можно минимизировать ошибки измерения угловой скорости и ограничить демпфирование колебаний колоколообразного элемента, что позволит получить измерительный прибор, который в течение длительного времени будет обладать высокой точностью и надежностью.

Изобретение относится к полусферическому резонатору, содержащему колоколообразный элемент, закрепленный на основе, которая несет основные электроды, обращенные к кольцевому ободу колоколообразного элемента, и, по меньшей мере, один охранный электрод, располагаемый рядом с основными электродами, причем, по меньшей мере, часть внутренней поверхности колоколообразного элемента и указанный кольцевой обода покрыты электропроводящим слоем, к тому же, указанный электропроводящий слой покрывает участок наружной поверхности колоколообразного элемента, примыкающий к его кольцевому ободу.

Таким образом, согласно настоящему изобретению можно максимально отклонить к охранному электроду силовые линии, расположенные с двух сторон по отношению к ободу колоколообразного элемента, и, наряду с этим, можно минимизировать ошибку измерения угловой скорости за счет покрытия электропроводящим слоем, по меньшей мере, части внутренней поверхности колоколообразного элемента, кольцевого обода и лишь участка наружной поверхности колоколообразного элемента, который примыкает к его кольцевому ободу. Кроме того, чтобы минимизировалось поглощение колебаний колоколообразного элемента, электропроводящий слой должен иметь малую толщину, однако достаточную для обеспечения требуемой проводимости. Поскольку поглощение колебаний находится в непосредственной зависимости от толщины электропроводящего слоя, то за счет уменьшения толщины слоя можно добиться снижения демпфирования колебаний колоколообразного элемента. Кроме того, основные электроды больше не воспринимают изменение заряда резонатора, теперь изменение заряда резонатора воспринимает охранный электрод, таким образом, изменение заряда больше не оказывает влияния на коэффициент усиления резонатора. Также на участке наружной поверхности колоколообразного элемента, который примыкает к его кольцевому ободу, можно снизить прогрессирующую миграцию заряда по направлению к диоксиду кремния. Таким образом, полусферический резонатор согласно настоящему изобретению имеет преимущества с точки зрения точности измерения и стабильности его работы в течение продолжительного времени.

Согласно предпочтительному варианту осуществления изобретения, заземленный охранный электрод содержит центральный участок, расположенный с внутренней стороны по отношению к основным электродам, по меньшей мере, один периферийный участок, расположенный с наружной стороны по отношению к основным электродам, а также содержит соединительные участки, расположенные между основными электродами и соединяющие центральный участок с периферийными участками.

Указанный вариант осуществления изобретения является особенно эффективным.

Краткое описание чертежей

Другие признаки и преимущества изобретения будут понятны из следующего описания конкретного варианта осуществления изобретения со ссылкой на прилагаемые чертежи.

Фиг.1 - вид полусферического резонатора в продольном разрезе по линии 1-1, обозначенной на фиг.2.

Фиг.2 - вид сверху основных электродов и охранного электрода резонатора в разрезе по линии II-II, обозначенной на фиг.1.

Фиг.3 - увеличенное изображение полусферического резонатора в продольном разрезе по линии III, обозначенной на фиг.1.

Осуществление изобретения

На фиг.1 представлен полусферический резонатор 7, согласно указанному варианту осуществления изобретения, содержащий колоколообразный элемент 4, который изготовлен из материала на основе кремния, и его нога 5 закреплена на основе 3.

Основа 3 несет основные электроды 2, обращенные к кольцевому ободу 6.2 колоколообразного элемента 4, которые соединены с электронным блоком управления (не показано) с целью создания средств обнаружения и возбуждения, взаимодействующих с резонатором 7.

Также основа 3 несет заземленный охранный электрод 1. Охранный электрод содержит центральный участок 1.1, расположенный с внутренней стороны по отношению к основным электродам 2, периферийные участки 1.2, расположенные в круговых сегментах с наружной стороны по отношению к основным электродам 1.1, и соединительные участки 1.3, которые расположены между двумя смежными основными электродами 1.1 и соединяют центральный участок 1.1 с периферийными участками 1.2. Охранный электрод 1 используется для уменьшения взаимного влияния электродов, как описано в документе FR-A-2851040.

Электропроводящий слой нанесен на всю внутреннюю поверхность 6.1 колоколообразного элемента, на кольцевой обод 6.2 и на участок 6.3 наружной поверхности колоколообразного элемента 4. Указанный участок 6.3 наружной поверхности колоколообразного элемента примыкает к кольцевому ободу 6.2. В качестве примера, указанный участок 6.3 наружной поверхности колоколообразного элемента, примыкающий к его кольцевому ободу 6.2, имеет высоту менее 1 мм. Согласно конкретным вариантам осуществления изобретения электропроводящий слой также может быть нанесен на поверхность ножки 6.4, а внутренняя поверхность колоколообразного элемента может быть покрыта электропроводящим слоем частично или полностью. Указанный электропроводящий слой также связан с блоком управления известным способом.

На фиг.2 представлен вид сверху в разрезе по линии II-II (обозначенной на фиг.1) основы, несущей основные электроды 2 и охранный электрод 1, причем, размещение указанных компонентов показано более подробно. При указанном размещении можно добиться максимально возможного отклонения к участкам 1.1 или 1.2 охранного электрода силовых линий 8.1 и 8.3, показанных на фиг.3, которые расположены с двух сторон по отношению к ободу колоколообразного элемента. Как упоминалось выше, охранный электрод 1 содержит центральный участок 1.1, расположенный с внутренней стороны по отношению к основным электродам 2 и имеющий посадочное место для основания ножки 5, и периферийные участки 1.2, расположенные с наружной стороны по отношению к основным электродам 2, а также содержит соединительные участки, которые расположены между основными электродами 2 и соединяют центральный участок с периферийными участками.

Каждый основной электрод 2 имеет Т-образный участок 2.1, который продолжается по направлению к краю 9 основы между периферийными участками (1.2) охранного электрода в регулярном чередовании.

Само собой разумеется, что при любом подходящем размещении основные электроды 2 и участки охранного электрода 1 отделены друг от друга интервалами и, соответственно, изолированы (на чертежах указанные интервалы показаны тонкими линиями).

На фиг.3 представлен местный вид функционирующего полусферического резонатора согласно изобретению. Для облегчения понимания изобретения приведен пример расположения силовых линий, которые показаны на чертеже схематично. Электростатическое поле, создающееся между кольцевым ободом 6.2 колоколообразного элемента 4 и основными электродами 2, и характеризуемое силовыми линиями 8.2, способствует выполнению измерений, необходимых для обеспечения надлежащего функционирования полусферического резонатора. Силовые линии 8.1 и 8.2, проходящие с двух сторон по отношению к кольцевому ободу 6.2 колоколообразного элемента отклоняются к разным участкам охранного электрода. Наряду с тем, что, как и в известном варианте, силовые линии 8.3, расположенные со стороны внутренней поверхности 6.1 колоколообразного элемента, отклоняются к центральному участку охранного электрода 1.1, согласно изобретению, силовые линии 8.1, расположенные со стороны наружной поверхности 6.3 колоколообразного элемента 4, в свою очередь, отклоняются к периферийному участку 1.2 охранного электрода.

Как упоминалось выше, электропроводящий слой, покрывающий колоколообразный элемент 4, демпфирует колебания устройства, в результате чего, могут искажаться данные измерений, которые являются существенными для обеспечения надлежащей работы резонатора. Именно поэтому, согласно изобретению толщина указанного слоя должна быть малой, насколько это возможно, однако она должна обеспечивать требуемую проводимость указанного покрывающего слоя.

В качестве примера приводятся цифровые данные:

- расстояние между кольцевым ободом 6.2 колоколообразного элемента 4 и основными электродами 2 составляет 80 микрометров (мкм);

- интервал между основными электродами и охранным электродом, являющийся, по существу, постоянным, имеет ширину 50 мкм;

- толщина электропроводящего слоя 6 составляет от 1 нанометра (нм) до 10 нм;

- высота участка 6.3 наружной поверхности колоколообразного элемента 4, примыкающего к кольцевому ободу 6.2, составляет менее 1 миллиметра (мм); и

- выступ 10 основного электрода 2, относительно кольцевого обода 6.2 колоколообразного элемента (между осями Х и X', параллельными центральной оси колоколообразного элемента), составляет менее 1 мм с каждой стороны основного электрода.

Несомненно, изобретение не ограничивается описанным выше вариантом его осуществления, и специалистами в данной области техники могут быть выполнены различные изменения и модификации, не выходящие за рамки объема изобретения, определяемого формулой изобретения.

Размеры, приведенные в качестве примера, могут быть изменены, например, чтобы они согласовывались с размерами резонатора, и/или материалами резонатора и/или проводящим слоем, и/или электрическими параметрами резонатора.

1. Полусферический резонатор (7), содержащий колоколообразный элемент (4), закрепленный на основе (3), которая несет основные электроды (2), обращенные к кольцевому ободу (6.2) колоколообразного элемента, и, по меньшей мере, один охранный электрод (1), располагаемый рядом с основными электродами (2), причем, по меньшей мере, часть внутренней поверхности (6.1) колоколообразного элемента и указанный кольцевой обод (6.2) покрыты электропроводящим слоем (6), к тому же указанный электропроводящий слой (6) покрывает участок (6.3) наружной поверхности колоколообразного элемента, примыкающий к его кольцевому ободу (6.2).

2. Резонатор по п.1, в котором колоколообразный элемент (4) изготовлен из материала на основе кремния.

3. Резонатор по п.1, в котором указанный участок (6.3) наружной поверхности колоколообразного элемента, примыкающий к его кольцевому ободу (6.2), имеет высоту менее 1 мм.

4. Резонатор по п.1, в котором охранный электрод (1) содержит центральный участок (1.1), расположенный с внутренней стороны по отношению к основным электродам, и содержит, по меньшей мере, один периферийный участок (1.2), расположенный с наружной стороны по отношению к основным электродам (2), а также содержит соединительные участки (1.3), расположенные между основными электродами (2) и соединяющие центральный участок с периферийными участками.

5. Резонатор по п.4, в котором каждый основной электрод (2) имеет участок (2.1), который продолжается по направлению к краю основы (3) между периферийными участками (1.2) охранного электрода в регулярном чередовании.

6. Резонатор по п.5, в котором:
- расстояние между кольцевым ободом (6.2) колоколообразного элемента (4) и основными электродами (2) составляет 80 микрометров (мкм);
- интервал между основными электродами и охранным электродом, являющийся, по существу, постоянным, имеет ширину 50 мкм;
- толщина электропроводящего слоя (6) составляет от 1 нм до 10 нм;
- высота участка (6.3) наружной поверхности колоколообразного элемента (4), примыкающего к кольцевому ободу (6.2), составляет менее 1 миллиметра (мм); и
- выступ (10) основного электрода (2), относительно кольцевого обода (6.2) колоколообразного элемента (перпендикулярного центральной оси колоколообразного элемента), составляет менее 1 мм с каждой стороны основного электрода.

Предлагаемое техническое решение относится к области космической техники и может быть использовано при создании гирокомпасной системы ориентации искусственного спутника Земли для околокруговой орбиты.

Способ ориентации космического аппарата в путевой системе координат с приводом поворота аппаратуры наблюдения наземных объектов и устройство для его осуществления // 2497728

Изобретения относятся к управлению угловым движением космических аппаратов (КА) и, в частности, к гироскопическим системам ориентации КА, снабженным аппаратурой наблюдения (АН) наземных объектов, на околокруговой орбите.

Вибродатчик с двумя каналами, активируемыми последовательно // 2491506

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в гиродатчиках. .

Интегральный микромеханический гироскоп // 2490593

Изобретение относится к области измерительной техники и интегральной электроники, а именно к интегральным измерительным элементам величины угловой скорости. .

Микрогироскоп профессора вавилова // 2490592

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в навигационно-пилотажных системах летательных аппаратов. .

Способ подавления ложного сигнала в измерителе угловой скорости с микромеханическими гироскопами // 2486469

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам вибрационного типа. .

Инерциальный датчик угловой скорости с компенсацией отклонения // 2483278

Изобретение относится к инерциальному датчику угловой скорости с компенсацией отклонения. .

Способ алгоритмической компенсации температурной скорости дрейфа твердотельного волнового гироскопа // 2480713

Изобретение относится к области точного приборостроения, преимущественно гироскопического, и может быть использовано при создании твердотельных волновых гироскопов и систем ориентации и навигации на их основе.

Гироазимуткомпас с автоматической выработкой навигационной информации // 2470260

Изобретение относится к области навигационного приборостроения подвижных объектов и может найти применение во всех районах Мирового океана, включая высокие и приполюсные широты.

Устройство поворотное двухосное // 2465553

Изобретение относится к области точного приборостроения и может быть использовано при разработке устройства, предназначенного для задания углов поворота изделия, например, датчика, закрепленного на его платформе, относительно двух горизонтальных осей.

Способ определения курса путем поворота инерциального устройства // 2499225

Изобретение относится к навигации и может быть использовано, например, в качестве компаса и для определения севера. Способ определения курса осуществляется с помощью инерциального устройства (1), содержащего, как минимум, один вибрационный угловой датчик (3) с резонатором, связанным с детекторным устройством и устройством для ввода данного резонатора в состояние вибрации, соединенными с управляющим устройством, служащим для обеспечения первого режима работы, при котором вибрация может свободно изменяться в угловой системе координат резонатора, и второго режима работы, при котором поддерживается определенный угол колебаний вибратора в системе координат резонатора. Способ включает в себя управление указанным датчиком во втором режиме работы для сохранения заданного электрического угла поворота, соответствующего наименьшей величине погрешности датчика, и управление указанным датчиком в первом режиме работы для измерения курса и управления указанным датчиком во втором режиме работы после измерения курса и до следующего измерения с целью сохранения заданного электрического угла поворота. Изобретение позволяет ограничить нежелательное влияние режима прецессионного гироскопа на точность измерений. 5 з.п. ф-лы, 1 ил.

Интегральный микромеханический гироскоп // 2503924

Изобретение относится к области измерительной техники и интегральной электроники, а именно к интегральным измерительным элементам величины угловой скорости. Гироскоп содержит две инерционные массы, выполненные в виде пластин с гребенчатыми структурами, на которых расположены пластины электродов, образующие с пластинами электродов, закрепленных на гребенчатых структурах диэлектрической подложки, плоские конденсаторы, являющиеся датчиками колебаний инерционных масс относительно диэлектрической подложки. Каждая инерционная масса закреплена в раме с помощью упругих элементов, которые размещены с возможностью совершения поступательных колебаний инерционных масс вдоль двух взаимно перпендикулярных осей, расположенных в плоскости диэлектрической подложки. Рама закреплена на диэлектрической подложке через торсионы, которые одними концами жестко соединены с рамой, а другими - с диэлектрической подложкой. Инерционные массы, рама, упругие элементы и гребенчатые структуры, закрепленные на раме и двух инерционных массах, расположены с зазором относительно диэлектрической подложки. Изобретение обеспечивает возможность измерения величины угловой скорости вокруг осей X и Y, расположенных взаимно перпендикулярно в плоскости диэлектрической подложки гироскопа. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Магнитная система динамически настраиваемого гироскопа // 2505784

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при создании динамически настраиваемых гироскопов (ДНГ). Сущность изобретения заключается в том, что магнитная система содержит кольцевой магнитопровод с П-образным сечением из магнитомягкого материала, на внутреннем выступе которого закреплен магнит с радиальной намагниченностью, образующий с внешним выступом магнитопровода рабочий зазор, при этом кромки полюсного наконечника и магнита закруглены. Закругление кромок приводит к снижению энергии магнитного поля у кромок полюса. Техническим результатом является снижение потерь энергии магнитной системы ДНГ, вызванной концентрацией поля у кромок магнита в пользу энергии поля рабочего зазора. 2 н.п.ф-лы, 4 ил.

Калибровка гироскопических систем с вибрационными гироскопами // 2509981

Изобретение относится к гироскопическим системам, которые основаны на использовании вибрационных гироскопов. В гироскопической системе, содержащей по меньшей мере четыре вибрационных гироскопа, первое измерение обеспечивается вибрационным гироскопом, подлежащим калибровке, и второе измерение обеспечивается комбинацией измерений из других вибрационных гироскопов системы. На уровне вибрационного гироскопа, подлежащего калибровке, применяют начальную команду для предписания изменения позиции из первой вибрационной позиции во вторую вибрационную позицию. Калиброванное значение масштабного коэффициента вибрационного гироскопа, подлежащего калибровке, определяют на основании вычисленного значения в отношении изменения позиции, на основании периода времени, в течение которого применяется начальная команда, начальной команды, разности углов между первой и второй вибрационными позициями, измеренной согласно первому измерению, и разности углов, измеренной согласно второму измерению. Изобретение обеспечивает повышение точности калибровки в отношении значения масштабного коэффициента. 2 н. и 9 з.п.ф-лы, 3 ил.

Способ возбуждения колебаний в чувствительном элементе твердотельного волнового гироскопа и устройство для его осуществления // 2518632

Изобретение относится к твердотельным волновым гироскопам (ТВГ), которые используются для определения угловых перемещений в составе блоков навигационных устройств наземной, морской, авиационной и космической техники. Способ возбуждения колебаний в чувствительном элементе ТВГ заключается в том, что для первоначального возбуждения и/или корректировки колебаний на рабочей и/или околорабочей частоте чувствительного элемента используются электромагниты (электромагнитные преобразователи), а для поддержания и/или корректировки колебаний на рабочей частоте используют электроды конденсаторов (электростатические преобразователи). Изобретение позволяет повысить точность измерений угла поворота и угловой скорости объектов. 2 н.п. ф-лы, 1 ил.

Универсальный неконтактный гироскоп // 2521765

Изобретение относится к области точного приборостроения и может быть использовано в различных устройствах ориентации подвижных объектов, в частности при производстве надежных малогабаритных гироскопов-акселерометров для приборов подземной навигации - инклинометров. Гироскоп содержит сферический ротор в корпусе с тремя парами ортогонально расположенных поддерживающих элементов, электронный блок управления подвесом ротора и блок определения положения вектора кинетического момента ротора. Каждый поддерживающий элемент выполнен в виде двухфазного статора вращения с основной и управляющей обмотками на зубцовом магнитопроводе. Магнитопроводы изолированы от корпуса и применены в качестве измерительных и (или) поддерживающих емкостных электродов, а магнитопроводы с основными обмотками использованы как поддерживающие и (или) измерительные электромагниты. Динамически несбалансированный ротор выполнен с вытянутым эллипсоидом инерции. Выходы блока определения положения вектора кинетического момента ротора (по сигналам биения несбалансированного ротора) соединены через усилительно-преобразовательные устройства с управляющими обмотками статоров вращения, что позволило придать предложенному гироскопу свойства свободного гироскопа при ограниченном времени выбега ротора, обусловленном, например, трением ротора об остатки газа в вакуумированном кожухе. Предложенный универсальный гироскоп может использоваться также в режиме датчика угловой скорости (ДУС) и как трехкомпонентный акселерометр. Гироскоп отличается простотой конструкции, его предполагается выполнять малогабаритным, с диаметром ротора менее 10 мм, для использования, например, в подземной навигации, в частности при определении траекторий буровых скважин. При этом малый размер ротора (особенно при полой конструкции) обусловливает высокую перегрузочную способность гироскопа (до 100g), необходимую при работе в забойном инклинометре. 5 з.п. ф-лы, 9 ил.

Чувствительный элемент твердотельного волнового гироскопа (варианты) // 2521783

Изобретение относится к твердотельным волновым гироскопам (ТВГ), которые используются для определения угловых перемещений в составе блоков навигационных устройств наземной и авиационно-космической техники. Резонатор ТВГ можно рассматривать как тонкий упругий цилиндр, имеющий возможность совершать изгибные колебания в своей плоскости. Поведение цилиндрической оболочки в краевой области компенсируется использованием кольцевого цилиндрического элемента в резонаторе. Применение кольцевого цилиндрического элемента в конструкции цилиндрического резонатора способствует увеличению стабильности волновой картины в зависимости от выбранного варианта его расположения. 3 н. и 41 з.п. ф-лы, 6 ил.

Способ балансировки металлического зубчатого резонатора волнового твердотельного гироскопа // 2526217

Изобретение может быть использовано при производстве навигационных приборов. Способ балансировки металлического зубчатого резонатора волнового твердотельного гироскопа заключается в том, что измеряют параметры неуравновешенной массы, рассчитывают массу, подлежащую удалению с каждого балансировочного зубца, и удаляют неуравновешенную массу с поверхности балансировочных зубцов путем электрохимического растворения, при этом каждый зубец погружают в отдельную ванну с электролитом и через поверхность каждого зубца пропускают заранее рассчитанный электрический заряд, величину которого регулируют временем пропускания постоянного тока. Изобретение позволяет довести точность удаления массы с балансировочного зубца до 0.01-0.1%. 3 з.п. ф-лы, 3 ил.

Резонатор с защитным слоем, вибрационный датчик, включающий в себя такой резонатор, и способ изготовления резонатора // 2527319

Изобретение относится к вибрационным датчикам гироскопического типа. Резонатор (3)датчика содержит корпус из материала на основе кремния с по меньшей мере одной резонансной частью (Z), имеющей по меньшей мере один участок, покрытый электропроводящим слоем, и по меньшей мере один участок, не покрытый проводящим слоем. Участок, не покрытый электропроводящим слоем, покрыт защитным слоем (10) таким образом, что в резонансной части материал на основе кремния полностью покрыт комбинацией электропроводящего и защитного слоев. Изобретение позволяет улучшить рабочие характеристики датчика. 3 н. и 6 з.п. ф-лы, 2 ил.

Способ и система для гироскопических измерений с использованием вибрационного гироскопа // 2528037

Изобретение относится к вибрационным гироскопам. Гироскопическая система производит измерения при помощи вибрационного гироскопа, который вибрирует в первом положении вибрации и передает сигнал измерений. На вибрационный гироскоп в течение некоторого временного периода подают периодический управляющий сигнал, обеспечивающий поворот геометрического положения вибрации в первом направлении в течение части временного периода с переходом от первого ко второму положению в соответствии с первым скоростным профилем, поворот геометрического положения вибрации во втором направлении, противоположном первому направлению, в течение оставшейся части временного периода с переходом от второго к первому положению в соответствии со вторым скоростным профилем. Скоростные профили задают изменения скорости изменения положения. Формируют результаты измерений, произведенных системой, на основе скорректированного сигнала, полученного путем вычитания управляющего сигнала из сигнала измерений гироскопа. Изобретение обеспечивает повышение точности измерений. 2 н. и 11 з.п. ф-лы, 5 ил.