Кхййческая ' s?ifi.7hoteшг

 

ОЛИСАНИЕ

ИЗОБ РЕ ТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

252803

Союз Советских

Социалистических

Республик

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 30,1V.1968 (№ 1239613/22-1) с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 22.!Х.1969. Бюллетень № 29

Дата опубликования описания 24.II.1970

Кл. 48а, 1/06

48а, 5/68

МПК С 236

С 23b

УД К 629.9.047.4:658.562 (088.8) Комитет по долее изобретеиий и открытий при Совете Министров

СССР

Авторы изобретения

1И ((1ЮЗИАя

tg ытейтнр

Т- лпичЕСКАЯ

С. М. Ашавский и А. Н. Филиппова

Заявитель

УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛИРУЕМОГО СТРУЙНОГО

ЭЛЕКТРОЛИТИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ ТУННЕЛЬНЫХ

И ОБРАЩЕННЫХ ДИОДОВ ПО ЭТАЛОНУ

Известно устройство для контролируемого струй ного электролитического травления туннельных диодов, содержащее задающий генератор, генераторы тока т ра вления и тока питания заготовок, коммутирующее и сигнальное устройства. В этом устройстве величина тока питания при работе травящейся заготовки на диффузионной ветви характеристики задается отдельным генератором и практически не меняется по мере уменьшения тока максимума заготовки при травлении.

Цредложенное устройство отличается тем, что генератор тока питания заготовки |выполнен в виде релаксацианного генератора, активным элементом, которого являегся сама травящаяся заготовка.

Это обеспечивает уменьшение тока минимума.

На чертеже приведена блок-схема устройства.

Оно состоит из задающего генератора 1 с эталонным диодом 2, которым определяется величина тока:макстомума заготовки 8 после окончания процесса травления; сигнального устройства 4, сравнивающего ток на выходе задающего генератора 1 с величиной тока максимума заготовки 8 .после отмывки последней в течение цикла измерения; источник 5 тока травления; электромагнитных клапанов б и 7, обеспечивающих требуемое чередование подачи электролита и,воды, поступающих соответственно через сопла 8 и 9; коммутатора 10 и генератора 11 тока питания заготовки,.выполненного в виде релаксационного генератора, активным элементом, которого является травящаяся заготовка.

Устройство работает следующим образом.

После запрузки заготовки и пуска устройства начинается цикл измерения. Ток на выходе

10 задающего тенератора 1, проходящий через затотовку 8, возрастает до величины така ма,ксимума эталонного диода 2, установленного в |генераторе. При этом затотовка отмывается водой, так как клапан 7 открыт, и .вода посту15 пает через сопло 9. В конце цикла измерения происходит переключение эталонного диода на диффузионную ветвь характер истики, и если ток максимума заготовки больше тока максимума эталонного диода 2, сигнальное устрой20 ство не срабатывает, и цикл травления повторяется.

В ходе цикла травления включен источник тока травления, обеспечивающий требуемый ток в струе электролита, подаваемого через

25 сапло 8, так как .клапан б открыт. При этом травящаяся заготовка 8, подключенная,к генератору тока питания заготавки, работает при токе на диффузионной ветви, не превышающем ток максимума. Величина тока, проходящего

30 через заготовку, отсределяется величиной на

252803

Составитель Ю. Иосилевич

Редактор Н. Л. Корченко Техред А. А. Камышникова Корректор Л. В. Анисимова

Заказ 21211 Тираж 480 Подписное

Цг1ИИПИ Комигета по делам изобретений и открыгий при Совете Министров СССР

Москва Ж-35, Раушская наб,, д. 4г5

Типография, пр, Сапунова, 2 пряжен ия, до,которого зарядится накопительная емкость 12 генератора. Процесс заряда этой емкости, прекращается, после переключения заготовки на диффузионную ветвь. Это может быть осуществлено до начала подачи электролита через свило 8.

По Окончании цикла травления ток на выходе генератора 1 падает до величины тока миминума эталонного диода, и рабочая точка эталонного диода смещается на туннельную ветвь характеристики, что приводит к огклюгению источника 5 тока травления и генератора 11, првкращению подачи электролита при помощи электромагнIITHQII клапана б и подключению сигнального устройсгва 4, Затем цикл измерения повторяется. Если ток максимума заготовки, сравниваемый с током максимума эталонного диода 2 в конце цикла измеренин, больше Тра максиму i%3 QIIQp3, To IIHKJI травления, повторяется, а если равен или меньше, то травление п рекращаегся, и при помощи коммутатора 10 включается сигнал об

5 окончании, процесса.

Предмет изобретения

Устройство для контролируемого струйного электролигического травления туннельных и

10 обращенных диодов по эталону, содержащее задающий генератор, генераторы тока травления и тока |IIèòàíèÿ заготовок, коммутирующее и сигнальное устройства, отличаюи ееся тем, что, с целью уменьшения тока минимума, re1s нератор тока питания заготовки выполнен в вкде релаксационного генератора, активным элементом которого являегся сама травящаяся заготовка.