Способ обработки материалов
Союз Советских
Социвлистичвских
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Зависимое от авт. свидетсльства . й
Кл. 21g, 53 00
Заявлено 18Х1.1966 (№ 1069898 26-25) с присоединением заявки ¹
Приоритет
Опубликовано 04.Х1.1969. Бюллетень ¹ 34
Дата опубликования описания З.IV.1970
МПК Н 01s
УДК 621.375.8(088.8) Комитет по лелем изобретений и открытий при Совете Министров
СССР
Автор изобретения
Г. А. Соаолев
Заявитель
СПОСОБ ОБРАБОТКИ МАТЕРИАЛОВ
Изобретение относится к способам обработки материалов с помощью оптического квантовото генератора и может быть применено, например, при производстве деталей микроэлектроники.
Известен способ обработки материалов с помощью оптического квантового генератора, при когором в качестве элемента, фокусирующего излучение мощного лазера,на обрабатываемом материале, используют голограмму. Наличие излучения, прошедшего через голограмму и не испытавшего дифракции, приводит к потерям энергии при фокусировании излучения.
Потери энергии при фокусировании можно уменьшить, используя фазовые голограммы и их металлические копии, для чего предлагается помещать голограмму. в резонатор лазера. Оба зеркала резонатора могут быть глухими или же в качестве одного из зеркал можно использовать металлизированную голограмму. Вывод энергии из резонатора осуществляется за счет дифракции на апертуре голограммы.
Предложенный способ иллюстрируется фиг. 1 и 2.
В случае амплитудных голограмм (см. фиг. 1) зеркала 1 и 2 образуют резонатор.
Активное вещество 8 приводит при соответствующей накачке к отрицательному коэффициенту т1оглощения. Иногда желательно использовать Оптическу 1О систем i. Наприме» телескопи ескую из линз 4 и 5, расширяющую пучок до размеров голограммы. Плотность энергии I*,à голограмме б при этом уменьшается. При многократном прохождении 113.1у 1ения лазера через ГолОГрамм1 повышается концентрация энергии в действительны; изобра «eII»sl 7 11 8, которые проек10 т;1руюг:я на обрабатываемую поверхность детали.
Голограмма может быть как амплитудной (при гакой малой плотности, чтобы потери в ней Hå ограничива,1и усиления Iàзера), помс15 щенной в ячейку 9 с иммерсионной жидкостью, так и фазовой. Фазовая голограмм l
6bITb та1 .же помещена 13 я 1еЙ » иммерсионной н пдкостью с показателем преломления, несколько отличающимся от пока20 зателя преломления эмульсии. Иногда целесообразно регулировать показатель преломления жидкости (например, разбавлением илп нагреванием) для выбора оптимального режима работы лазера.
25 Можно также использовать и зеркальную голограмму, например мегалл1гческую копию (см. фиг. 2), при этом голограмму помещают на место одного глухo,"0 зеркала резонатора.
Используя предложенный способ обработ30 ки, материал может быть удален во многих точках, размеп1енных па большой площади Il
256122
9ьиа 7
РиГ 2
Составитель А, А. Мандругина
Редактор Л. В. Калашникова Тскред A. А. Камышникова Корректор С. М. Сигал
Заказ 557, 10 Тираж 480 Подписное
ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР
Москва К-35, Раушская наб., д. 475
Типография, пр. Сапунова, 2 составляющих деталь сложной конфигурации, в том числе и неплоскую.
Предмет изобретения
Способ обработки материалов, излучением оптического квантового генератора с испольФ зованием для формирования изображения голограммы, отличающийся тем, что, с целью повышения эффективности обработки, голограмму или ее металлическую копию помещают внутрь резонатора.
